Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào?

Thiết bị kín có không gian khoang nhỏ, nhiều cơ chế và độ hở hạn chế. Các biến số như phát sinh bụi bên trong, nguồn nhiệt, chặn bộ điều khiển, chuyển mạch khí thải và bảo trì mở cửa thường tồn tại cùng một lúc. Việc làm sạch một phần trong những điều kiện như vậy không thể giải quyết được bằng cách lắp đặt quạt hoặc bộ lọc hiệu suất cao phía trên khoang.

Không khí sạch đi vào đâu, nó đi qua những gì, nó bảo vệ ai, thoát ra ở đâu và nó được xác minh ở trạng thái nào là cốt lõi của việc lập kế hoạch. Hãy bắt đầu với một số khía cạnh thực tế.

Đầu tiên xác định ranh giới khoang và đối tượng bảo vệ

Trước khi lập kế hoạch, hãy quyết định xem nên bảo vệ sản phẩm, tổ chức hay toàn bộ thiết bị. Nó có phải để bảo vệ các tấm bán dẫn, các bộ phận chính xác, các bộ phận quang học hay khu vực chuyển động của robot không? Là để kiểm soát toàn bộ khoang hay chỉ bảo vệ một máy trạm cục bộ?

Các ranh giới khác nhau sẽ dẫn đến các hướng cấp không khí, vị trí bộ lọc, tốc độ gió và điểm lấy mẫu khác nhau. Nếu sản phẩm liên tục tiếp xúc trong khoang, phạm vi bảo vệ phải bao trùm đường truyền thực tế; nếu nó chỉ được phơi bày trong thời gian ngắn tại một trạm làm việc nhất định thì có thể đánh giá được nguồn cung cấp không khí cục bộ. Nếu bạn không chắc nên làm toàn bộ khoang hay chỉ một phần, trước tiên bạn có thể xem Làm thế nào để lựa chọn giữa thanh lọc toàn bộ phòng và thanh lọc một phần ? Làm rõ logic lựa chọn ở cấp độ chương trình và sau đó triển khai nó trong khoang.

Nếu có bụi, hơi hoặc khí dung sinh học nguy hiểm, nguồn cung cấp không khí sạch không thể thay thế thiết bị xả, cách ly hoặc bảo vệ an toàn chuyên dụng. Trong trường hợp này, trước tiên cần xác định phương án bảo vệ theo yêu cầu an toàn, sau đó xem xét gói cung cấp không khí sạch.

Xác định bụi phát sinh bên trong và đầu vào bên ngoài

Các nguồn ô nhiễm trong buồng kín thường bao gồm: hao mòn cơ học, ma sát cáp, chuyển động của thiết bị cố định, đưa vật liệu vào, cửa mở của nhân viên, tích tụ bụi dư, luồng nhiệt và khí thải của quá trình. Chỉ cải thiện hiệu quả của bộ lọc không thể giải quyết được vấn đề phát sinh bụi ở hạ lưu hoặc bỏ qua vòng đệm.

Nên đánh dấu các nguồn ô nhiễm trên sơ đồ khoang để phân biệt ô nhiễm ở thượng lưu và ô nhiễm ở hạ nguồn. Không khí sạch trước tiên phải đi qua các sản phẩm nhạy cảm, sau đó đi qua nguồn ô nhiễm và cuối cùng được thải ra ngoài; không khí không được phép quét qua cơ chế tạo bụi trước rồi mới thổi vào sản phẩm.

Thiết kế đường dẫn luồng khí có thể kiểm soát

Chỉ có không khí nạp vào nhưng không có lối thoát hợp lý, luồng không khí sẽ bị mắc kẹt hoặc thoát ra khỏi các khe hở một cách có trật tự. Các khoang kín phải tạo thành đường đi rõ ràng:

• Cửa hút gió: Xác nhận nơi không khí được lọc đi vào và liệu nó có đi qua không Bộ lọc HEPA và ULPA , cho dù đầu vào có bị ảnh hưởng bởi ô nhiễm nền hay không.

• Phạm vi phủ sóng: Để không khí sạch tiếp cận sản phẩm, tấm bán dẫn hoặc bề mặt nhạy cảm trước tiên và tránh bị chặn bởi robot, đồ đạc và đường ống.

• Khí thải: Kiểm tra khí thải, lỗ thông hơi giảm áp, kênh dẫn khí trở lại và các khe hở để ngăn không khí cung cấp và khí thải xử lý cạnh tranh về thể tích không khí.

• Chênh lệch áp suất: Sử dụng hướng chênh lệch áp suất để ngăn không khí nền chảy ngược lại, nhưng mục tiêu chênh lệch áp suất phải được xác định theo yêu cầu về quy trình, an toàn và thiết bị và không phù hợp khi áp dụng một giá trị cố định.

Làm cách nào để khớp EFU, FFU, bộ lọc và kiểm soát nhóm?

Khoang kín phía thiết bị thường được sử dụng Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU , do dễ tích hợp vào thiết bị hơn nên phù hợp với những vị trí có không gian hạn chế và cần có sự bảo vệ cục bộ. Nguồn cung cấp không khí nền trong phòng thường được cung cấp bởi Các sản phẩm cung cấp không khí sạch của FFU chịu trách nhiệm cho việc này. Cả hai có thể hợp tác nhưng ranh giới bảo vệ, nguồn gió và liên kết điều khiển phải được xác định rõ ràng tương ứng. Logic của sự phân công lao động này nằm ở chỗ sự phân công lao động giữa EFU phía thiết bị và FFU phòng . Có giải thích chi tiết hơn về

Việc lựa chọn không chỉ nên nhìn vào thể tích không khí danh nghĩa. Cần kiểm tra điểm làm việc của bộ lọc, áp suất tĩnh bên ngoài, điện trở của bộ lọc, kích thước lắp đặt, phương pháp bịt kín và hướng bảo trì. Nếu khoang có nhiều bộ EFU hoặc cần phải làm nhiệm vụ, phân vùng, báo động và tiết kiệm năng lượng thì có thể kết hợp Hệ thống kiểm soát nhóm FFU cung cấp quản lý thống nhất.

Lựa chọn bộ lọc phải tương ứng với kích thước hạt mục tiêu và mức độ sạch.Trang lọc HEPA và ULPA có các thông số dành cho các cấp độ sản phẩm khác nhau. Khi lựa chọn, hãy kiểm tra hiệu quả của mô hình cụ thể ở thể tích không khí mục tiêu. Nếu bạn vẫn chưa rõ về sự khác biệt giữa xếp hạng không gian và hiệu quả lọc, bạn có thể đọc Sự khác biệt giữa mức độ sạch và hiệu quả lọc là gì ? Tránh trộn lẫn hai khái niệm với nhau khi thực hiện lựa chọn.

Vị trí lắp đặt phải tránh xa vật cản và thuận tiện cho việc thay thế và bảo trì phần tử bộ lọc. Nếu thiết bị được lắp đặt quá cao hoặc quá xa bên trong thì việc bảo trì sẽ gặp rắc rối. Điểm này là những chi phí sau này sẽ tăng lên do không có đủ kênh bảo trì . Có một phân tích chi phí cụ thể hơn về

Chênh lệch áp suất, trạng thái mở cửa và cơ chế bên trong

Các chuyển động mở cửa, bảo trì, chuyển đổi ống xả và bộ điều khiển của thiết bị sẽ thay đổi chênh lệch áp suất khoang và hướng luồng khí. Khi lập kế hoạch, cần phải rõ ràng: ai khởi động và dừng trước trong quá trình vận hành bình thường, nên giảm tốc độ hay báo động khi mở cửa và cách khôi phục sau khi bảo trì. Nếu không có logic liên kết, không khí nền có thể được đưa vào khu vực nhạy cảm ngay khi cửa được mở.

Khi bộ điều khiển kéo dài, quay trở lại và chờ, nó có thể chặn bề mặt cấp khí, gây ra dòng nhiễu hoặc dòng chảy ngược cục bộ. Nguồn nhiệt sẽ nâng không khí lên và ống xả sẽ loại bỏ luồng khí bảo vệ. Việc xác minh phải bao gồm các chuyển động thực tế, thay vì chỉ đo trạng thái tĩnh của khoang.

Xác minh và những hiểu lầm phổ biến

Nên kiểm tra khoang kín theo từng giai đoạn:

• Kiểm tra các vòng đệm của bộ lọc và rò rỉ sau khi lắp đặt;

• Đo thể tích không khí, tốc độ gió, chênh lệch áp suất và hướng dòng khí;

• Quan sát luồng không khí trong quá trình chuyển động của bộ điều khiển, mở cửa, chuyển đổi ống xả, v.v.;

• Tiến hành phát hiện hạt theo kích thước hạt đã thỏa thuận, vị trí lấy mẫu và trạng thái vận hành;

• Ghi lại thời gian khôi phục và xác nhận xem nó có thể trở lại trạng thái bảo vệ sau ngoại lệ hay không.

Những hiểu lầm thường gặp bao gồm: chỉ lắp đặt bộ lọc mà không thiết kế cửa thoát khí; chỉ nhìn vào thể tích không khí danh nghĩa của EFU mà không nhìn vào điểm làm việc với bộ lọc; chỉ đo điều kiện tĩnh chứ không đo độ mở cửa và chuyển động của cơ cấu; xử lý vỏ kín như một sự đảm bảo cho sự sạch sẽ; sử dụng hiệu quả của bộ lọc thay vì xác minh mức độ sạch tại chỗ.

Ví dụ về đánh giá dự án

Có một con robot bên trong khoang của một thiết bị nào đó. Kế hoạch ban đầu chỉ cài đặt một EFU ở trên cùng. Tốc độ gió tĩnh ở mức bình thường nhưng thỉnh thoảng các hạt xuất hiện tại vị trí sản phẩm trong quá trình sản xuất. Cuộc điều tra cho thấy bộ điều khiển đã mở rộng và chặn một phần bề mặt cấp không khí, đồng thời sản phẩm nằm trong vùng bảo vệ yếu phía sau chỗ tắc nghẽn.

Phương pháp điều chỉnh: dịch chuyển nhẹ vị trí EFU để cho không khí sạch đi qua sản phẩm trước rồi qua khu vực chuyển động của tay máy; tăng liên kết mở cửa, giảm tốc độ và báo động khi mở cửa và tiếp tục sau khi đóng cửa. Sau khi điều chỉnh, tốc độ gió được đo lại và luồng không khí trong khu vực được bảo vệ trở lại ổn định.

Trong một dự án khác, không gian khoang không đủ nên EFU được lắp đặt ở bên cạnh thiết bị, với hướng cấp khí thẳng hàng với vị trí vận hành. Sau khi lắp đặt, hãy kiểm tra tốc độ gió và phạm vi phủ sóng để xác nhận rằng các yêu cầu đã được đáp ứng.

Hai tình huống này minh họa rằng: việc làm sạch cục bộ khoang kín, việc lựa chọn thiết bị và điều chỉnh vị trí phải được xem xét cùng nhau.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Aili Industry bao gồm sản xuất động cơ, nghiên cứu, phát triển và sản xuất quạt độc lập, phát triển hệ thống điều khiển, gia công kim loại tấm, sản xuất bộ lọc không khí và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Đối với các dự án khoang thiết bị khép kín, bộ lọc EFU, FFU, HEPA/ULPA, hệ thống điều khiển nhóm, thể tích không khí, áp suất tĩnh và giao diện lắp đặt có thể được kiểm tra thống nhất để kết nối cấu hình thiết bị với ranh giới đánh giá tại chỗ và giảm sự mất kết nối giữa các thông số thành phần và điều kiện vận hành máy hoàn chỉnh.

học hỏi Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU；Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU；Bộ lọc HEPA và ULPA；Hệ thống điều khiển nhóm FFU kiểm tra không gian lắp đặt, điều kiện vận hành và cấu hình cung cấp khí đã lọc.

→ Tìm hiểu các thông số sản phẩm liên quan → Xác nhận điều kiện hỗ trợ thiết bị