| Số lượng: | |
|---|---|
Cung cấp không khí sạch một phần cho thiết bị｜Kích thước nhỏ và độ dày phù hợp｜Giao diện cài đặt tùy chỉnh
Aili Industrial EFU hỗ trợ bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA được lắp đặt tại vị trí lọc của bộ lọc quạt của thiết bị để cung cấp không khí được lọc dạng hạt đến khu vực xử lý được chỉ định của thiết bị.
Sản phẩm được cấu hình xung quanh không gian bên trong của thiết bị, phạm vi cửa thoát khí và giao diện lắp đặt. Các loại U15, U16 hoặc U17, cũng như vật liệu lọc sợi thủy tinh hoặc PTFE, có thể được xác nhận theo yêu cầu của dự án. Bộ lọc được kết hợp với quạt EFU, hộp và cấu trúc cố định, hỗ trợ phát triển thiết bị và thay thế các bộ lọc gốc.
Nhận thông số kỹ thuật hỗ trợ→ Gửi sơ đồ giao diện và không gian thiết bị→
tên |
nội dung |
tên |
nội dung |
|---|---|---|---|
Thiết bị hỗ trợ |
Bộ lọc quạt thiết bị EFU |
cấp độ lọc |
U15, U16, U17, xác nhận theo mẫu |
Cấu hình ngoại hình |
Kích thước nhỏ, tiêu chuẩn hoặc không chuẩn |
Cấu hình độ dày |
Đánh giá theo yêu cầu về không gian và hiệu suất |
Lựa chọn vật liệu lọc |
sợi thủy tinh hoặc PTFE |
Lắp đặt con dấu |
Xác nhận theo cấu trúc hộp và giao diện |
Yêu cầu cung cấp không khí |
Thể tích không khí, tốc độ gió mặt và phạm vi thoát khí |
Biểu mẫu phù hợp |
Kết hợp máy mới, sửa đổi, thay thế và tùy chỉnh thiết bị |
Theo chiều dài, chiều rộng, độ dày có sẵn và cấu trúc xung quanh của thiết bị, xác nhận khung bộ lọc và vị trí lắp đặt. Khi lựa chọn mô hình, hãy dành không gian để cố định, niêm phong, tháo rời và lắp ráp, đồng thời tránh xác định kích thước chỉ dựa trên các lỗ hở có thể nhìn thấy được.
Xác định phạm vi cửa thoát khí hiệu quả dựa trên các khu vực cần được bảo vệ, kiểm tra mối quan hệ giữa bề mặt cửa thoát khí và các lỗ hở của thiết bị, cấu trúc chuyển hướng và các bộ phận xử lý, đồng thời giảm sự tắc nghẽn của bề mặt cửa thoát khí bởi các khung hoặc bộ phận lắp đặt.
Các định dạng nhỏ, dài hoặc hình chữ nhật khác có thể được đánh giá dựa trên bản vẽ thiết bị. Khi giảm kích thước, diện tích lọc, thể tích không khí mục tiêu và lực cản tương ứng được xác nhận đồng thời.
Cấu hình bộ lọc có thể được xác nhận cùng với quạt, hộp, không gian hút gió và các điều kiện điều khiển để đáp ứng nhu cầu cung cấp không khí sạch cục bộ của thiết bị.
Mục tham số |
Cấu hình sản phẩm hoặc nội dung xác nhận |
|---|---|
Tên sản phẩm |
EFU được trang bị bộ lọc hiệu suất cực cao ULPA |
Thiết bị hỗ trợ |
Aili Industrial EFU hoặc bộ lọc quạt thiết bị khác được xác nhận bởi giao diện |
cấp độ lọc |
U15, U16, U17, xác nhận theo kết quả kiểm nghiệm thành phẩm |
vật liệu lọc |
Sợi thủy tinh hoặc PTFE, được xác nhận theo yêu cầu của quy trình |
Cấu trúc phần tử lọc |
Cấu hình theo kích thước, thể tích không khí và sức cản |
kích thước tổng thể |
Chiều rộng W × Chiều cao H × Độ dày D, hỗ trợ tùy chỉnh không chuẩn |
Kích thước cửa thoát khí hiệu quả |
Xác nhận bằng khung, seal và mở thiết bị |
Khối lượng không khí hoạt động |
Xác nhận theo yêu cầu cung cấp không khí cục bộ của thiết bị |
sức đề kháng ban đầu |
Cung cấp dữ liệu mô hình tương ứng theo thể tích không khí được chỉ định |
Yêu cầu về độ dày |
Đồng thời kiểm tra tổng độ dày, diện tích bộ lọc và độ giảm áp suất cho phép |
Phương pháp niêm phong |
Đệm hoặc bình chứa chất lỏng, xác nhận theo cấu trúc thiết bị |
Phương pháp cố định |
Hợp tác với các bộ phận ép, khóa hoặc kết cấu cố định khác của thiết bị |
Cấu hình bảo vệ |
Bảo vệ lưới và phụ kiện được xác nhận theo yêu cầu |
Hướng lắp đặt |
Xác nhận theo hướng luồng khí của sản phẩm và cách bố trí thiết bị |
Dữ liệu thử nghiệm |
Hiệu quả, quét phát hiện rò rỉ và thông tin thỏa thuận đơn hàng |
Kích thước cụ thể, thể tích không khí, lực cản và điều kiện sử dụng phải tuân theo thông số kỹ thuật của mẫu tương ứng và bản vẽ đã được xác nhận.
Khi không gian thiết bị có hạn, bạn cũng cần xác nhận xem bộ lọc có thể được lắp đặt hay không và liệu nó có đáp ứng các yêu cầu cung cấp không khí sau khi lắp đặt hay không.
điều kiện không gian |
Trọng tâm cấu hình sản phẩm |
|---|---|
Chiều cao lắp đặt bị giới hạn |
Kiểm tra tổng độ dày của bộ lọc, không gian bị chiếm bởi các vật cố định và vòng đệm |
Mở hẹp |
Xác nhận diện tích cửa thoát khí hiệu quả và lượng không khí cần thiết |
Vị trí cấp khí dải dài |
Kiểm tra sự phân bổ không khí dựa trên cách bố trí hộp và quạt |
Các thành phần ngoại vi được đóng gói dày đặc |
Dành không gian để lắp đặt khung và niêm phong liên lạc |
Quyền truy cập bảo trì bị hạn chế |
Xác nhận rằng bộ lọc có thể được gỡ bỏ dọc theo đường dẫn đã chỉ định |
Nhiều kết hợp bộ lọc |
Kiểm tra kích thước đơn, độ kín mối nối và phân bổ thể tích không khí |
Cấu hình mỏng cần được đánh giá dựa trên vật liệu lọc, cấu trúc phần tử lọc và thể tích không khí vận hành. Chiều cao của máy EFU và độ dày của bộ lọc là những thông số khác nhau và cần được lưu ý riêng.
Kích thước khung bên ngoài của bộ lọc được sử dụng để lắp đặt và kích thước cửa thoát khí hiệu quả được sử dụng để xác nhận khu vực cấp khí thực tế. Khung, bộ phận ép, kết cấu bảo vệ hoặc vỏ thiết bị có thể chặn một phần bề mặt cửa thoát khí.
các mặt hàng phù hợp |
Xác nhận nội dung |
|---|---|
khu vực được bảo vệ |
Vị trí xử lý nào yêu cầu không khí được lọc |
lỗ thông hơi |
Kích thước lỗ có tương ứng với bề mặt thoát khí hiệu quả không? |
Tắc nghẽn ngoại vi |
Các vật cố định, vỏ bọc và kết cấu thiết bị có được che chắn khỏi gió không? |
Hướng luồng khí |
Đường cấp khí có đáp ứng yêu cầu của thiết bị hay không |
cấu trúc chuyển hướng |
Có cần thiết phải kết hợp cơ cấu thiết bị để chuyển hướng không? |
Xác minh vị trí |
Hiệu suất được đo ở phía đầu ra của bộ lọc hay trong khu vực xử lý? |
Hiệu suất của bề mặt đầu ra của bộ lọc và trạng thái luồng không khí thực tế trong khu vực xử lý phải được xác minh theo các yêu cầu tương ứng.
Không gian bên trong của EFU thường nhỏ gọn và điện trở của bộ lọc cần được xem xét cùng với các điều kiện khí vào, kênh hộp và lực cản luồng không khí khác.
Lượng không khí vận hành: Xác nhận dựa trên lượng cung cấp không khí cục bộ hoặc diện tích cửa thoát khí hiệu quả theo yêu cầu của thiết bị và tốc độ gió bề mặt mục tiêu.
Điện trở của bộ lọc: Kiểm tra điện trở ban đầu của bộ lọc mới theo thể tích không khí thiết kế và làm rõ các điều kiện tham chiếu cho lần bảo trì tiếp theo.
Điều kiện khí vào: Kiểm tra xem cấu trúc thiết bị có hạn chế khí vào EFU hay không để tránh lượng khí vào không đủ do tắc nghẽn đầu vào của bộ lọc.
Công suất quạt: Xác nhận rằng quạt có thể cung cấp lượng không khí cần thiết dưới sức cản tương ứng của hệ thống và để lại các điều kiện điều chỉnh phù hợp với yêu cầu bảo trì.
Aili Industrial có thể kết hợp các bộ lọc, quạt và không gian thiết bị để giúp xác nhận cấu hình hỗ trợ EFU.
Giữa bộ lọc và hộp EFU phải được hình thành một lớp đệm kín liên tục, đồng thời nó phải được đỡ và cố định bằng một kết cấu quy định.
Dự án lắp đặt |
Xác nhận nội dung |
|---|---|
Bịt kín bề mặt tiếp xúc |
Chiều rộng tiếp xúc, độ phẳng và tính liên tục của chu vi |
Cấu hình miếng đệm |
Điều kiện bề mặt, vật liệu và ép |
Cấu hình bể |
Kích thước khe và lưỡi dao, hướng lắp đặt và không gian phù hợp |
vị trí cố định |
Vị trí của khóa, tấm áp lực hoặc ốc vít khác |
Chế độ bắt buộc |
Lực cố định tác dụng lên khung để tránh nén vật liệu lọc. |
Cấu trúc giới hạn |
Tránh để bộ lọc bị lệch hoặc tiếp xúc với các bộ phận của thiết bị |
Đường tháo, lắp |
Phương pháp loại bỏ mà không làm hỏng vật liệu lọc và các bộ phận bịt kín |
Phương pháp gắn vào và các phương pháp sửa lỗi khác phải dựa trên cấu trúc cài đặt EFU cụ thể. Khả năng tương thích không thể được đánh giá chỉ dựa trên kích thước bộ lọc.
Vị trí ứng dụng |
Điểm hỗ trợ |
Vị trí ứng dụng |
Điểm hỗ trợ |
|---|---|---|---|
Khu vực cung cấp không khí được chỉ định của EFEM |
Phạm vi cửa thoát khí, giao diện và hướng luồng khí |
Thiết bị xử lý wafer |
Khu vực xử lý và yêu cầu vật liệu |
Thiết bị lắp ráp chính xác |
Phạm vi bảo vệ cục bộ và điều kiện cung cấp không khí |
Thiết bị kiểm tra quang học |
Không gian lắp đặt và kiểm soát hạt |
Thiết bị sản xuất tự động |
Điều kiện liên kết cấu trúc và thiết bị cố định |
Thiết bị đóng gói tiên tiến |
Yêu cầu quy trình và đường dẫn bảo trì |
Làm sạch bộ phận phía trên thiết bị |
Độ dày, cửa hút gió và lỗ lắp đặt |
Mô-đun sạch cục bộ tùy chỉnh |
Giao diện vẽ và xác minh máy hoàn chỉnh |
Các ứng dụng cụ thể cần được xác nhận bởi quy trình thiết bị. Mức độ lọc, vật liệu và cấu hình luồng không khí dựa trên yêu cầu tương ứng của dự án.
Khi thay thế bộ lọc, bạn nên kiểm tra tình trạng lắp đặt thiết bị và sản phẩm nguyên bản, đặc biệt là kích thước cửa thoát khí hiệu quả, vị trí bịt kín và kết cấu cố định.
Tình huống thay thế |
Những điều cần kiểm tra |
|---|---|
Bảo trì và thay thế có cùng thông số kỹ thuật |
Khung, độ dày, thể tích không khí, sức cản và độ kín |
HEPA được nâng cấp lên ULPA |
Yêu cầu về quy trình, công suất quạt và xác minh lại toàn bộ máy |
Điều chỉnh độ dày bộ lọc |
Khu vực lọc, giảm áp và cấu trúc cố định |
Thay thế phương tiện lọc |
Yêu cầu vật liệu xử lý và sự phù hợp lắp ráp hoàn chỉnh |
Sản phẩm chính hãng đã ngừng sản xuất |
Bảng tên cũ, bản vẽ, dữ liệu kiểm tra và hình ảnh thiết bị |
Kết hợp EFU từ các nhà sản xuất khác |
Giao diện tủ, phương pháp lắp đặt và thông số vận hành thực tế |
Chỉ cung cấp số kiểu máy EFU hoàn chỉnh có thể không đủ để xác định các bộ phận thay thế. Bạn cũng nên cung cấp kích thước bộ lọc cũ và ảnh lắp đặt.
Mục tham số |
Vui lòng cung cấp thông tin |
|---|---|
Mục đích thiết bị |
Loại thiết bị và khu vực xử lý cần được bảo vệ |
Không gian lắp đặt |
Chiều dài, chiều rộng, độ dày và cấu trúc xung quanh có sẵn |
cấp độ lọc |
Yêu cầu kiểm tra U15, U16, U17 hoặc quy định |
Phạm vi cửa thoát khí |
Kích thước cửa thoát khí hiệu quả và độ mở của thiết bị |
Yêu cầu vận hành |
Thể tích không khí, tốc độ gió mục tiêu và vị trí đo |
giới hạn kháng cự |
Các thông số điện trở ban đầu cho phép, điện trở cuối cùng và quạt |
Giao diện cài đặt |
Cấu trúc niêm phong, cố định, oằn hoặc tấm áp lực |
Môi trường sử dụng |
Nhiệt độ và độ ẩm, phương tiện xử lý và hạn chế về vật liệu |
Phương pháp bảo trì |
Hướng dẫn tháo lắp, không gian vận hành và điều kiện thay thế |
Sắp xếp mua sắm |
Xác minh số lượng, mẫu và lập kế hoạch giao hàng theo lô |
Việc kiểm tra nhà máy bộ lọc xác nhận hiệu quả, quét phát hiện rò rỉ và thông tin tương ứng theo thỏa thuận đặt hàng và liên kết số sản phẩm với thông tin kiểm tra.
Sau khi lắp đặt EFU, hãy kiểm tra độ kín, cố định và hiệu suất cấp khí thực tế của bộ lọc và hộp. Việc chấp nhận thiết bị cần kiểm tra thêm tốc độ gió, trạng thái luồng không khí và các yêu cầu kiểm soát hạt trong khu vực xử lý.
Đối với các dự án mẫu, nên hoàn tất việc xác minh theo điều kiện lắp đặt thực tế của thiết bị trước khi xác nhận cấu hình sản phẩm lô.
Aili Industry bao gồm sản xuất bộ lọc không khí, sản xuất động cơ, nghiên cứu và phát triển độc lập và sản xuất quạt, phát triển hệ thống điều khiển, gia công kim loại tấm và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Nó có thể cùng nhau xác nhận các sản phẩm dựa trên các yêu cầu vận hành và không gian lắp đặt EFU.
Đối với các dự án phát triển thiết bị, cấu hình bộ lọc, hộp và quạt có thể được phối hợp; đối với các dự án bảo trì, hỗ trợ lựa chọn bộ phận thay thế có thể được cung cấp dựa trên giao diện ban đầu và thông số vận hành.
Xem các sản phẩm EFU công nghiệp Aili →
Nó có thể được đánh giá và tùy chỉnh, đồng thời phải xác nhận thể tích không khí, diện tích bộ lọc, điện trở và giao diện lắp đặt.
Không nhất thiết, nó cũng cần phải đáp ứng các yêu cầu về cung cấp và cản trở không khí, đồng thời phù hợp với cấu trúc cố định và kín.
Cấu hình có thể được xác nhận dựa trên vị trí chốt, khung lắp và bề mặt tiếp xúc bịt kín.
Kiểm tra điện trở của bộ lọc, điều kiện khí vào, hoạt động của quạt và cài đặt điều khiển, xác định nguyên nhân và xử lý.
Trước tiên cần kiểm tra công suất quạt và điều kiện lắp đặt, sau đó kiểm tra lại hiệu suất của thiết bị sau khi thay thế.
Vị trí lắp đặt bộ lọc và sơ đồ giao diện được cung cấp để xác nhận dễ dàng hơn và cũng có thể được kết hợp với kích thước và ảnh để xác minh.
Vui lòng gửi không gian lắp đặt thiết bị, mức lọc, phạm vi cửa thoát khí, thể tích không khí và bản vẽ giao diện. Aili Industry sẽ giúp xác nhận cấu hình bộ lọc ULPA dựa trên cấu trúc EFU và các điều kiện quy trình.
Tư vấn về kích thước nhỏ và cấu hình mỏng → Gửi bản vẽ lắp đặt thiết bị →
Xác nhận các yêu cầu về thể tích không khí và giao diện→Tư vấn về các bộ phận thay thế và các bộ phận mẫu→
Aili Industry - Cung cấp EFU hỗ trợ các bộ lọc ULPA và hỗ trợ kỹ thuật để cung cấp thiết bị không khí sạch tại địa phương.
