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| 数量: | |
装置の部分的なクリーンエア供給|小型サイズと厚さのマッチング|カスタマイズされた設置インターフェース
ULPA超高性能フィルターをサポートするAili Industrial EFUは、装置のファンフィルターユニットの濾過位置に設置され、粒子が濾過された空気を装置の指定されたプロセスエリアに提供します。
製品は、機器の内部空間、排気範囲、設置インターフェースを中心に構成されています。プロジェクト要件に応じて、U15、U16、または U17 グレード、およびガラス繊維または PTFE フィルター媒体を確認できます。フィルターはEFUファン、ボックス、固定構造に適合しており、機器の開発や純正フィルターの交換をサポートします。
サポート仕様の取得→ 機器スペースとインターフェース図の提出→
名前 |
コンテンツ |
名前 |
コンテンツ |
|---|---|---|---|
補助装置 |
EFU装置ファンフィルターユニット |
フィルターレベル |
U15、U16、U17、型式で確認 |
外観構成 |
小さい、標準または非標準サイズ |
厚み構成 |
スペースと性能の要件によって評価 |
フィルター材質の選択 |
グラスファイバーまたは PTFE |
シールを取り付ける |
ボックスとインターフェイスの構造に従って確認してください |
空気供給要件 |
風量、正面風速、吹出口範囲 |
マッチングフォーム |
新台マッチング、設備改造、交換、カスタマイズ |
使用可能な装置の長さ、幅、厚さおよび周囲の構造に応じて、フィルター枠と取り付け位置を確認してください。モデルを選択する際は、固定、シール、分解および組み立てのためのスペースを確保し、目に見える開口部のみに基づいて寸法を決定することは避けてください。
保護すべき領域に基づいて有効な排気範囲を決定し、排気面と装置の開口部、分流構造およびプロセスコンポーネントとの関係を確認し、フレームや取り付け部品による排気面の障害を軽減します。
小型、長尺、またはその他の長方形のフォーマットは、機器の図面に基づいて評価できます。小型化する場合は、濾過面積と目標風量とそれに伴う抵抗値を同時に確認します。
装置の局所的なクリーンエア供給ニーズに合わせて、ファン、ボックス、吸気スペース、制御条件と併せてフィルタ構成を確認できます。
パラメータ項目 |
製品構成または確認内容 |
|---|---|
製品名 |
ULPA超高性能フィルターを搭載したEFU |
補助装置 |
Aili Industrial EFU またはその他の機器のファンフィルターユニットがインターフェースで確認済み |
フィルターレベル |
U15、U16、U17、完成品テスト結果に従って確認 |
フィルター材 |
ガラス繊維または PTFE、プロセス要件に従って確認 |
フィルターエレメントの構造 |
サイズ、風量、抵抗に応じた構成 |
全体の寸法 |
幅W×高さH×厚さD、非標準のカスタマイズをサポート |
有効排気口サイズ |
フレーム、シール、器具開口部で確認 |
使用風量 |
装置の現地の空気供給要件に従って確認してください |
初期抵抗 |
指定風量下で対応するモデルデータを提供します |
厚さの要件 |
総厚さ、フィルター面積、許容圧力損失も確認してください。 |
シール方法 |
ガスケットまたは液タンクは装置構造に応じてご確認ください |
固定方式 |
機器のプレス部品、バックル、またはその他の固定構造と協力する |
保護構成 |
ご要望に応じてネット保護と付属品を確認します |
取付方向 |
製品の風向きや機器の配置に合わせて確認 |
テストデータ |
効率、スキャンリーク検出および注文契約情報 |
具体的な寸法、風量、抵抗、使用条件などは該当機種の仕様書および確認図に準じます。
装置スペースが限られている場合は、フィルタの設置が可能か、設置後のエア供給要件を満たせるかなども確認する必要があります。
空間条件 |
製品構成の焦点 |
|---|---|
設置高さに制限がある |
フィルターの総厚さ、固定具とシールが占めるスペースを確認します。 |
狭い開口部 |
有効排気面積と必要風量の確認 |
ロングストリップエア供給位置 |
ボックスとファンのレイアウトに基づいて空気の分布を確認します。 |
周辺部品が高密度に実装されている |
フレームの取り付けとシール接触のためのスペースを確保 |
メンテナンスアクセスは制限されています |
指定したパスに沿ってフィルタを削除できることを確認します |
複数のフィルターの組み合わせ |
シングルサイズ、接合シール、風量分布を確認してください。 |
薄型形状はフィルタ材質、フィルタエレメント構造、使用風量などから評価する必要があります。 EFU マシンの高さとフィルターの厚さは異なるパラメーターであるため、個別に注意する必要があります。
フィルタの外枠寸法は取り付け時の寸法であり、実際の給気面積は有効排気口寸法で確認します。フレーム、プレス部品、保護構造、または機器のカバーにより、排気口表面の一部が塞がれる可能性があります。
一致するアイテム |
内容を確認する |
|---|---|
保護区 |
濾過された空気が必要なプロセス場所はどれですか |
通気口 |
開口部の大きさは有効排気面と一致していますか? |
周辺閉塞 |
固定具、カバー、機器の構造は風から保護されていますか? |
気流方向 |
エア供給経路が設備要件を満たしているか |
転用構造 |
流用用の機器構成を組み合わせる必要はありますか? |
場所を確認する |
性能はフィルターの出口側で測定されますか? それともプロセスエリアで測定されますか? |
フィルター出口面の性能とプロセスエリアの実際の空気の流れの状態をそれぞれの要件に応じて検証する必要があります。
EFU の内部空間は通常コンパクトであり、吸気条件やボックスチャンネルなどの通気抵抗と合わせてフィルタ抵抗を考慮する必要があります。
使用風量:装置が必要とする局所給気量または有効吹出口面積と目標表面風速よりご確認ください。
フィルタ抵抗:新品フィルタの設計風量下での初期抵抗を確認し、その後のメンテナンスの基準条件を明確にします。
空気入口の状態:フィルターへの入口の閉塞による空気量不足を避けるために、機器の構造が EFU の空気入口を制限していないかどうかを確認します。
ファン容量:ファンが対応するシステム抵抗の下で必要な風量を提供できることを確認し、メンテナンス要件に適した調整条件を残します。
Aili Industrial は、フィルター、ファン、機器スペースを組み合わせて、EFU サポート構成を確認することができます。
フィルタと EFU ボックスの間には連続的なシールを形成する必要があり、同時に所定の構造で支持、固定する必要があります。
設置プロジェクト |
内容を確認する |
|---|---|
シール接触面 |
コンタクトの幅、平坦度、周囲の連続性 |
スペーサー構成 |
表面、材質、プレス条件 |
タンク構成 |
スロットとブレードのサイズ、取り付け方向と一致スペース |
固定位置 |
バックル、プレッシャープレート、その他の留め具の位置 |
強制モード |
固定力はフィルター材の圧縮を避けるためにフレームに作用します。 |
制限構造 |
フィルターの位置ずれや機器部品との接触を避ける |
分解・組立経路 |
フィルター材やシール部分を傷めない取り外し方法 |
スナップオンおよびその他の固定方法は、特定の EFU 設置構造に基づく必要があります。フィルターサイズのみで適合性を判断することはできません。
申請場所 |
サポートポイント |
申請場所 |
サポートポイント |
|---|---|---|---|
EFEM指定給気エリア |
空気出口の範囲、インターフェース、および空気の流れの方向 |
ウエハ処理装置 |
プロセスエリアと材料の要件 |
精密組立設備 |
局所的な保護範囲と給気条件 |
光学検査装置 |
設置スペースとパーティクルコントロール |
自動生産設備 |
固定構造と機器の連携条件 |
高度な包装設備 |
プロセス要件とメンテナンスパス |
装置上部のクリーンユニット |
厚さ、吸気口、取付口 |
カスタマイズされたローカルクリーンモジュール |
描画インターフェイスと完全なマシン検証 |
特定の用途については、装置プロセスによって確認する必要があります。濾過レベル、材質、エアフロー構成は、対応するプロジェクト要件に基づいています。
フィルタを交換する場合は、純正製品および機器の設置状況、特に有効排気口サイズ、シール位置、固定構造を確認してください。
交換状況 |
確認事項 |
|---|---|
同一仕様でのメンテナンス・交換 |
フレーム、厚さ、風量、抵抗、シール |
HEPAがULPAにアップグレードされました |
プロセス要件、ファン容量、完全なマシンの再検証 |
フィルターの厚みを調整する |
ろ過面積、圧力損失、固定構造 |
濾材を交換する |
プロセス材料要件と完全なアセンブリ適合性 |
オリジナル商品は販売終了となりました |
旧銘板、図面、検査資料、設備写真 |
他メーカーのEFUマッチング |
キャビネットインターフェース、設置方法、実際の動作パラメータ |
完全な EFU モデル番号だけを提供しても、交換部品を特定するには不十分な場合があります。古いフィルターの寸法と取り付け写真も提供することをお勧めします。
パラメータ項目 |
情報を提供してください |
|---|---|
設備の目的 |
保護される機器の種類とプロセス領域 |
設置スペース |
利用可能な長さ、幅、厚さおよび周囲の構造 |
フィルターレベル |
U15、U16、U17、または指定されたテスト要件 |
空気出口範囲 |
有効排気口サイズと機器開口部 |
動作要件 |
風量、目標風速、測定場所 |
抵抗限界 |
許容される初期抵抗、最終抵抗およびファンパラメータ |
インストールインターフェース |
シール、固定、座屈または圧力板の構造 |
使用環境 |
温度と湿度、プロセス媒体と材料の制限 |
メンテナンス方法 |
分解・組立方向、作業スペース、交換条件 |
調達手配 |
数量、サンプル検証、バッチ納品計画 |
フィルター工場検査では、効率を確認し、注文契約に従って漏れ検出と対応する情報をスキャンし、製品番号と検査情報を関連付けます。
EFU設置後、フィルタやボックスのシール、固定、実際の給気性能を確認してください。機器の受け入れでは、プロセスエリアの風速、気流状態、および粒子制御要件をさらに確認する必要があります。
サンプルプロジェクトの場合は、バッチ製品の構成を確認する前に、実際の装置の設置条件で検証を完了することをお勧めします。
Aili Industry は、エアフィルターの製造、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムの開発、板金加工、完全な機械の組み立てをカバーしています。 EFUの設置スペースや動作要件に応じた製品を共同で確認できます。
機器開発プロジェクトの場合、フィルター、ボックス、ファンの構成を調整できます。メンテナンスプロジェクトの場合、独自のインターフェイスと動作パラメータに基づいて交換部品の選択サポートを提供できます。
評価とカスタマイズが可能で、風量、フィルター面積、抵抗、取り付けインターフェースも同時に確認する必要があります。
必ずしも必要というわけではありませんが、空気供給と抵抗の要件を満たし、固定および密閉された構造に適合する必要もあります。
スナップ位置、取り付けフレーム、シール接触面に基づいて構成を確認できます。
フィルター抵抗、吸気口の状態、ファンの動作や制御の設定を確認し、原因を特定して対処してください。
ファン容量や設置状況を確認し、交換後に再度装置の性能を確認する必要があります。
フィルターの取り付け位置やインターフェース図をわかりやすく記載し、寸法や写真と組み合わせて確認することもできます。
機器の設置スペース、ろ過レベル、排気範囲、風量、インターフェース図をご提出ください。 Aili Industry は、EFU 構造とプロセス条件に基づいて ULPA フィルター構成を確認するのに役立ちます。
風量やインターフェース要件の確認→交換部品・サンプル部品のご相談→
Aili Industry - ULPA フィルターをサポートする EFU と、機器のローカル クリーン エア供給のための技術サポートを提供します。