设备局部洁净送风｜小尺寸与厚度匹配｜安装接口定制
艾立工业EFU配套ULPA超高效过滤器安装于设备风机过滤单元的过滤位置，为设备指定工艺区域提供经过颗粒过滤的空气。
产品围绕设备内部空间、出风范围和安装接口进行配置，可按项目要求确认U15、U16或U17等级，以及玻璃纤维或PTFE滤材。过滤器与EFU风机、箱体及固定结构共同匹配，支持设备开发配套和原有过滤器替换。
名称 | 内容 | 名称 | 内容 |
|---|---|---|---|
配套设备 | EFU设备风机过滤单元 | 过滤等级 | U15、U16、U17，按型号确认 |
外形配置 | 小尺寸、标准或非标尺寸 | 厚度配置 | 按空间与性能要求评估 |
滤材选择 | 玻璃纤维或PTFE | 安装密封 | 按箱体与接口结构确认 |
送风要求 | 风量、面风速及出风范围 | 配套形式 | 新机配套、设备改造、替换定制 |
根据设备可用长、宽、厚度及周边结构，确认过滤器外框和安装位置。选型同时预留固定、密封和拆装空间，避免只按可见开口确定尺寸。
结合需要保护的区域确定有效出风范围，核对出风面与设备开口、导流结构及工艺部件的关系，减少边框或安装件对出风面的遮挡。
可根据设备图纸评估小尺寸、长条形或其他矩形规格。尺寸缩小时，同步确认过滤面积、目标风量及对应阻力。
过滤器配置可与风机、箱体、进风空间及控制条件共同确认，适配设备端的局部洁净送风需求。
参数项目 | 产品配置或确认内容 |
|---|---|
产品名称 | EFU配套ULPA超高效过滤器 |
配套设备 | 艾立工业EFU或经接口确认的其他设备风机过滤单元 |
过滤等级 | U15、U16、U17，按成品检测结果确认 |
滤材 | 玻璃纤维或PTFE，按工艺要求确认 |
滤芯结构 | 按尺寸、风量与阻力配置 |
外形尺寸 | 宽W × 高H × 厚D，支持非标定制 |
有效出风尺寸 | 按边框、密封及设备开口确认 |
运行风量 | 按设备局部送风要求确认 |
初阻力 | 提供指定风量下的对应型号数据 |
厚度要求 | 同时核对总厚度、过滤面积及允许压降 |
密封方式 | 垫片或液槽，按设备结构确认 |
固定方式 | 配合设备压紧件、卡扣或其他固定结构 |
防护配置 | 护网及附件按需求确认 |
安装方向 | 按产品气流方向及设备布局确认 |
检测资料 | 效率、扫描检漏及订单约定资料 |
具体尺寸、风量、阻力及使用条件，以对应型号规格书和确认图纸为准。
设备空间受限时，需要同时确认过滤器能否装入，以及装入后能否满足送风要求。
空间条件 | 产品配置重点 |
|---|---|
安装高度有限 | 核对过滤器总厚度、固定件和密封件占用空间 |
开口较窄 | 确认有效出风面积与所需风量 |
长条形送风位置 | 结合箱体与风机布局检查出风分布 |
周边部件较密集 | 预留边框安装和密封接触空间 |
维护通道受限 | 确认过滤器能否沿规定路径取出 |
多只过滤器组合 | 核对单只尺寸、拼接密封及风量分配 |
薄型配置需结合滤材、滤芯结构和运行风量评估。EFU整机高度与过滤器厚度是不同参数，应分别注明。
过滤器外框尺寸用于安装，有效出风尺寸用于确认实际送风区域。边框、压紧件、防护结构或设备盖板，可能遮挡部分出风面。
匹配项目 | 确认内容 |
|---|---|
保护区域 | 哪些工艺位置需要经过过滤的空气 |
出风开口 | 开口尺寸是否与有效出风面对应 |
周边遮挡 | 固定件、盖板及设备结构是否挡风 |
气流方向 | 是否符合设备要求的送风路径 |
导流结构 | 是否需要结合设备结构进行导流 |
验证位置 | 在过滤器出风面还是工艺区域测量性能 |
过滤器出风面性能与工艺区域实际气流状态，应按各自要求验证。
EFU内部空间通常较紧凑，过滤器阻力需要与进风条件、箱体通道和其他气流阻力共同考虑。
运行风量：按设备所需的局部送风量或有效出风面积与目标面风速确认。
过滤器阻力：核对新过滤器在设计风量下的初阻力，并明确后期维护参考条件。
进风条件：检查设备结构是否限制EFU进风，避免将入口受阻造成的风量不足归因于过滤器。
风机能力：确认风机在对应系统阻力下能够提供所需风量，并留有与维护要求相适应的调节条件。
艾立工业可结合过滤器、风机和设备空间，协助确认EFU配套配置。
过滤器与EFU箱体之间需要形成连续密封，同时通过规定结构进行支撑和固定。
安装项目 | 确认内容 |
|---|---|
密封接触面 | 接触宽度、平整度及周边连续性 |
垫片配置 | 所在面、材料及压紧条件 |
液槽配置 | 槽位与刀边尺寸、安装方向及配合空间 |
固定位置 | 卡扣、压板或其他固定件的位置 |
受力方式 | 固定力作用于边框，避免压迫滤材 |
限位结构 | 避免过滤器错位或碰触设备部件 |
拆装路径 | 不损伤滤材和密封部位的取出方式 |
卡扣式与其他固定方式，应以具体EFU安装结构为准，不能仅凭过滤器尺寸判断兼容性。
应用位置 | 配套重点 | 应用位置 | 配套重点 |
|---|---|---|---|
EFEM指定送风区域 | 出风范围、接口与气流方向 | 晶圆处理设备 | 工艺区域及材料要求 |
精密装配设备 | 局部保护范围与送风条件 | 光学检测设备 | 安装空间与颗粒控制 |
自动化生产设备 | 固定结构及设备联动条件 | 先进封装设备 | 工艺要求与维护路径 |
设备顶部洁净单元 | 厚度、进风与安装开口 | 定制局部洁净模块 | 图纸接口及整机验证 |
具体应用应由设备工艺确认。过滤等级、材料和气流配置，以对应项目要求为依据。
替换过滤器时，应核对原产品及设备安装状态，尤其是有效出风尺寸、密封位置和固定结构。
替换情况 | 需要核对的内容 |
|---|---|
同规格维护更换 | 外框、厚度、风量、阻力和密封 |
HEPA升级为ULPA | 工艺需求、风机能力及整机重新验证 |
调整过滤器厚度 | 过滤面积、压降及固定结构 |
更换滤材 | 工艺材料要求和完整组件适用性 |
原产品停产 | 旧铭牌、图纸、检测资料及设备照片 |
其他厂家EFU配套 | 箱体接口、安装方式及实际运行参数 |
仅提供EFU整机型号可能不足以确定替换件，建议同时提供旧过滤器尺寸和安装照片。
参数项目 | 请提供的信息 |
|---|---|
设备用途 | 设备类型及需要保护的工艺区域 |
安装空间 | 可用长、宽、厚度及周边结构 |
过滤等级 | U15、U16、U17或指定检测要求 |
出风范围 | 有效出风尺寸及设备开口 |
运行需求 | 风量、目标风速及测量位置 |
阻力限制 | 允许初阻力、终阻力及风机参数 |
安装接口 | 密封、固定、卡扣或压板结构 |
使用环境 | 温湿度、工艺介质及材料限制 |
维护方式 | 拆装方向、操作空间及更换条件 |
采购安排 | 数量、样件验证与批量交付计划 |
过滤器出厂检测按订单约定确认效率、扫描检漏及对应资料，并将产品编号与检测信息关联。
装入EFU后，检查过滤器与箱体的密封、固定和实际送风性能。设备验收应进一步核对工艺区域的风速、气流状态及颗粒控制要求。
对于样件项目，建议在设备实际安装条件下完成验证，再确认批量产品配置。
艾立工业覆盖空气过滤器制造、电机制造、风机自主研发生产、控制系统开发、钣金加工和整机装配，可围绕EFU安装空间与运行需求共同确认产品。
对于设备开发项目，可协调过滤器、箱体和风机配置；对于维护项目，可根据原接口和运行参数提供替换件选型支持。
可以评估定制，需同时确认风量、过滤面积、阻力和安装接口。
不一定，还需要满足送风与阻力要求，并与固定和密封结构匹配。
可根据卡扣位置、安装框架和密封接触面确认配置。
检查过滤器阻力、进风条件、风机运行及控制设定，定位原因后处理。
需先校核风机能力和安装条件，更换后重新验证设备性能。
提供过滤器安装位置和接口图更便于确认，也可结合尺寸及照片核对。
请提交设备安装空间、过滤等级、出风范围、风量及接口图纸。艾立工业将结合EFU结构和工艺条件，协助确认ULPA过滤器配置。
确认风量与接口要求 → 咨询替换件与样件配套 →
艾立工业——为设备局部洁净送风提供EFU配套ULPA过滤器及技术支持。
