密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか?

密閉型の装置には、キャビティのスペースが小さく、多くの機構があり、開口部が限られています。内部発塵、熱源、マニピュレーターのブロック、排気の切り替え、ドア開閉のメンテナンスなどの変数が同時に存在することがよくあります。このような状況での部分的な洗浄は、キャビティ上部にファンや高効率フィルタを設置するだけでは解決できません。

きれいな空気がどこから入ってきて、何を通って、誰を守り、どこから出てきて、どのような状態で検証されるのかが計画の根幹です。いくつかの実践的な側面から始めましょう。

まずキャビティの境界と保護オブジェクトを定義します

計画を立てる前に、製品、組織、またはデバイス全体を保護するかどうかを決定してください。ウェーハ、精密部品、光学部品、あるいはロボットの動作領域を保護するためですか?キャビティ全体を制御するためですか、それともローカルのワークステーションのみを保護するためですか?

境界が異なると、給気方向、フィルターの位置、風速、サンプリングポイントも異なります。製品がキャビティ内で継続的に露出される場合、保護範囲は実際の伝送経路をカバーする必要があります。特定の作業場で短時間だけ曝露される場合、局所的な空気供給を評価できます。キャビティ全体を行うか、その一部だけを行うかわからない場合は、まず次のことを確認してください。 部屋全体を浄化するか、部分的に浄化するかを選択するにはどうすればよいですか？プログラムレベルで選定ロジックを明確にし、キャビティに実装します。

有害な粉塵、蒸気、またはバイオエアロゾルが含まれる場合、きれいな空気の供給は専用の排気装置、隔離装置、または安全保護装置に代わることはできません。この場合、まず安全要件に従って保護計画を決定し、次にクリーンエア供給パッケージを検討する必要があります。

内部発塵と外部入力を特定する

密閉チャンバー内の汚染源には、通常、機械的磨耗、ケーブルの摩擦、治具の動き、材料の導入、人によるドアの開閉、残留粉塵の蓄積、熱プルーム、プロセス排気などが含まれます。フィルター効率を向上させるだけでは、下流側の発塵やシールバイパスの問題を解決することはできません。

上流の汚染と下流の汚染を区別するために、空洞図上に汚染源をマークすることをお勧めします。きれいな空気は、最初に敏感な製品を通過し、次に汚染源を通過し、最後に排出される必要があります。空気が最初に粉塵発生機構を通過してから製品に向かって吹き込まれないようにしてください。

制御可能な空気流路を設計する

空気取り入れ口のみで合理的な出口がない場合、空気の流れは滞留するか、隙間から規則正しく排出されます。囲まれた空洞は明確なパスを形成する必要があります。

• 空気入口： 濾過された空気がどこに入るのか、通過するのかを確認 HEPA および ULPA フィルター、入口がバックグラウンド汚染の影響を受けるかどうか。

• 適用範囲: きれいな空気が最初に製品、ウェーハ、または傷つきやすい表面に到達するようにし、ロボット、設備、パイプラインによってブロックされないようにします。

• 排気: 給気とプロセス排気の空気量の競合を避けるために、排気、圧力逃がしベント、戻り空気チャネルおよび隙間を確認してください。

• 圧力差: バックグラウンド空気の逆流を防ぐために圧力差の方向を使用しますが、圧力差の目標はプロセス、安全性、および装置の要件に従って決定する必要があり、固定値を適用することは適切ではありません。

EFU、FFU、フィルター、グループ制御をどのように一致させるか?

一般的に使用される装置側の密閉キャビティ EFU 機器側ファン フィルター ユニットは、機器への組み込みが容易なため、スペースが限られており、局所的な保護が必要な場所に適しています。室内のバックグラウンド空気供給は、多くの場合、 FFUのクリーンエア供給製品 がこれを担当します。この 2 つは協力できますが、保護境界、風力源、および制御の連携をそれぞれ明確に定義する必要があります。この分業の論理は次のとおりです。 デバイス側 EFU とルーム FFU の間の役割分担 については、より詳細な説明があります。

公称風量だけを見て選択するべきではありません。フィルタとの作動点、機外静圧、フィルタ抵抗、取付寸法、シール方法、メンテナンス方向の確認が必要です。キャビティに複数の EFU セットがある場合、または稼働中、分割、警報、省エネが必要な場合は、組み合わせることができます。 FFUグループ管理システム により一元管理が可能です。

フィルターの選択は、ターゲットの粒子サイズと清浄度レベルに対応する必要があります。HEPA および ULPA フィルター ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターがあります。選定の際は、対象機種の目標風量における効率をご確認ください。スペース定格とフィルター効率の違いがまだ不明な場合は、以下を参照してください。 清浄度レベルとろ過効率の違いは何ですか?選択する際には、2 つの概念を混同しないようにしてください。

設置場所は障害物から離れ、フィルターエレメントの交換やメンテナンスに便利な場所である必要があります。設置位置が高すぎたり、奥に入りすぎたりするとメンテナンスが大変になります。この点は、 メンテナンスチャネルが不十分なために将来どのような費用が増加するか について、より具体的なコスト分析があります。

圧力差と扉の開き具合と内部機構

装置のドアの開閉、メンテナンス、排気の切り替え、マニピュレーターの動作により、キャビティの圧力差と空気の流れの方向が変化します。計画を立てるときは、通常の操作中に誰が最初に開始および停止するか、ドアを開けるときに速度を落とすか警報を発するか、メンテナンス後にどのように復旧するかを明確にする必要があります。リンクロジックがないと、ドアが開いた瞬間に背景の空気が敏感なエリアに持ち込まれる可能性があります。

マニピュレータが伸びたり、戻ったり、待機したりすると、空気供給面が塞がれ、後流や局所的な逆流が発生する場合があります。熱源は空気を持ち上げ、排気は保護気流を取り除きます。検証では、キャビティの静的な状態を測定するだけでなく、実際の動きもカバーする必要があります。

検証とよくある誤解

閉じたキャビティを段階的に検証することをお勧めします。

• 取り付け後にフィルターのシールとバイパスの漏れを確認してください。

• 風量、風速、圧力差、空気の流れの方向を測定します。

• マニピュレータの動作、ドアの開閉、排気の切り替えなどの際の空気の流れを観察します。

• 合意された粒子サイズ、サンプリング場所、運転状況に従って粒子検出を実施します。

• 回復時間を記録し、例外後に保護状態に戻れるかどうかを確認します。

よくある誤解には次のようなものがあります。空気流出口を設計せずにフィルターのみを設置する。フィルターを使用して動作点を確認せずに、EFU の公称空気量のみを確認します。静的状態のみを測定し、ドアの開閉や機構の動きは測定しません。密閉シェルを清潔さの保証として扱う。現場での清浄度レベル検証の代わりにフィルター効率を使用します。

プロジェクトの判断例

ある装置の空洞の中にロボットが入っています。当初の計画ではEFUを上部に1基だけ設置していました。静的な風速は正常でしたが、製造中に製品の場所に粒子が発生することがありました。調査の結果、マニピュレーターが伸びて給気面の一部をふさぎ、当該製品はふさぎの背後の弱い保護ゾーンに位置していたことが判明した。

調整方法: EFU の位置をわずかに移動して、きれいな空気が最初に製品を通過し、次にマニピュレータの動作領域を通過できるようにします。ドア開きの連動を増やし、ドアを開けるときに減速して警報を出し、ドアを閉めた後に再開します。調整後、再度風速を測定したところ、保護エリア内の空気の流れは安定した状態に戻りました。

別のプロジェクトでは、キャビティのスペースが不足したため、EFUを装置の側面に設置し、空気の供給方向を動作位置に合わせました。設置後、風速と適用範囲をチェックして、要件が満たされていることを確認します。

これら 2 つの状況は、閉じたキャビティの局所的なクリーニング、機器の選択、位置調整を同時に考慮する必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

Aili Industry は、モーターの製造、ファンの独立した研究開発と生産、制御システムの開発、板金加工、エアフィルターの製造、および完全な機械の組み立てをカバーしています。クローズド機器キャビティ プロジェクトの場合、EFU、FFU、HEPA/ULPA フィルター、グループ制御システム、風量、静圧、および設置インターフェイスを均一にチェックして、機器構成をオンサイト評価境界と結び付け、コンポーネント パラメーターと完全な機械動作条件の間の乖離を減らすことができます。

学ぶ EFU装置側ファンフィルターユニット；FFUクリーンエア供給製品；HEPAおよびULPAフィルター；FFUグループ制御システムは、設置スペース、動作条件、ろ過空気供給構成をチェックします。

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