Aili Industrial FFUマッチングケミカルフィルターは、FFUの内部またはFFUの空気入口側に設置される化学空気濾過製品です。これは主に、クリーンルームの空気中の AMC 大気分子汚染物質を制御するために使用されます。
本製品は汚染物質の種類に応じて対応する化学吸着材を搭載しており、酸性ガス、アルカリ性ガス、VOC、凝縮性有機物、一部のプロセス関連分子汚染物質の空気処理が可能です。
本製品はFFUの構造に合わせたモジュール設計を採用しており、FFUのサイズ、設置スペース、風量、汚染物質の種類、使用条件に応じてカスタマイズが可能です。半導体、電子製造、製薬、バイオテクノロジー、研究室などのクリーンな環境に適しています。
FFU → 化学ろ過 → AMC 制御 → HEPA/ULPA → クリーンエア
| ステータス: | |
|---|---|
| 数量: | |
FFUは主にファンを使用して空気循環を促進し、フィルターを通して空気中の粒子状物質を制御します。空気分子汚染物質に対する要件がある一部のクリーン環境では、空気中の酸性ガス、アルカリガス、VOC、その他の分子汚染物質も処理する必要があります。
Aili Industrial FFUマッチングケミカルフィルターはFFUの構造と設置スペースに合わせて設計されています。 FFUの内部または空気入口側に設置して、化学吸着などの方法で特定のガス状汚染物質を制御します。
ケミカルフィルターの選択には、粒子状物質のみを対象とするフィルターと比較して、汚染物質の種類、濃度、風量、温度と湿度、対象となるライフサイクルに注意する必要があります。
微粒子→HEPA/ULPA濾過
ガス状汚染物質 → 化学濾過
粒子状物質 + ガス状汚染物質 → FFU + HEPA/ULPA + 化学ろ過
AMCとは大気分子汚染物質のことで、主に空気中に分子状態で存在し、クリーンな環境や生産プロセスに影響を与える可能性のある汚染物質を指します。
半導体、電子製造、精密製造、その他の環境では、通常、AMC 制御は特定の製造プロセスと環境試験の結果に基づいて設計する必要があります。
Aili Industrial FFU対応ケミカルフィルターは、対象汚染物質に応じて対応するケミカルフィルター材質を選択し、FFU構造に合わせて製品を構成することができます。
汚染物質のカテゴリー |
代表的な汚染物質 |
濾材方向 |
|---|---|---|
酸性ガス |
HF、HCl、H2SO4、HNO3、SO2、NO2など |
酸性ガス化学吸着材 |
アルカリ性ガス |
NH₃、アミン、NMPなど |
アルカリガス化学吸着材 |
VOC |
トルエン、アセトン、その他の揮発性有機化合物 |
VOC吸着材 |
凝縮性汚染物質 |
シリコーン、可塑剤など |
対象となる吸着材 |
プロセス関連の汚染物質 |
ホウ素、リン、ヒ素およびその他の関連化合物 |
対象となる化学吸着材 |
汚染物質が異なれば、必要な化学吸着材料も異なるため、製品構成は実際の汚染物質の種類と濃度に基づいて決定する必要があります。
酸性ガスは、クリーン ルームの AMC 制御において重要な汚染物質のカテゴリです。
FFU ケミカルフィルターは、実際の汚染物質に基づいて対象となる酸性ガス吸着材を選択でき、HF、HCl、H2SO4、SO2、NO2 などのガス状汚染物質の処理に使用されます。
半導体、電子製造、およびAMC制御が必要なその他のクリーン環境に適しています。
酸性ガスの検出 → 材料の選択 → FFU サイズのマッチング → 化学ろ過
アンモニアやアミンなどのアルカリ性汚染物質は、ターゲットを絞った化学吸着材料で処理できます。
Aili Industrial FFUケミカルフィルターは、汚染物質の種類、濃度、空気流量、FFUの設置スペースに応じて構成できます。
半導体および電子機器の製造環境では、特定のプロセス領域と空気品質要件に基づいてフィルター材料を選択できます。
VOC にはさまざまな揮発性有機化合物が含まれており、VOC ごとに吸着特性が異なります。
アイリ工業では、FFU循環空気やクリーンルームの局所空気処理において、対象となるVOCの種類に応じて対応する吸着材を選択することができます。
製品は、電子製造、半導体、製薬、研究室、および空気中の有機汚染物質が管理されるその他の環境で使用できます。
ケミカルフィルターは活性炭、化学吸着材、イオン交換材、複合吸着材を使用し、対象となる汚染物質に応じて組み合わせます。
すべての汚染物質に対して同じ活性炭を使用するのではなく、ガスごとに異なる材料配合を選択する必要があります。
Aili Industrialは、汚染物質の種類とプロジェクトの要件に応じて、対応する化学フィルター材料を構成できます。
FFU対応ケミカルフィルターはモジュール濾過構造を採用しており、FFU内部の設置スペースに合わせてフィルターサイズや厚みを設計できます。
構造組成 |
構成の方向性 |
主な機能 |
カスタマイズ可能なコンテンツ |
|---|---|---|---|
ケミカルフィルター材 |
活性炭、化学吸着材など |
特定のガス状汚染物質の吸着 |
材料の種類、配合 |
フィルター材の構造 |
折りたたみ式など |
有効ろ過面積の増加 |
プリーツピッチ、フィルター面積 |
フレーム |
アルミニウム、亜鉛メッキ鋼板、ステンレス鋼 |
サポートフィルター構造 |
素材、サイズ |
密閉構造 |
EPDMなど |
インストールのバイパスを減らす |
シール材と構造 |
保護構造 |
金属メッシュなど |
フィルター素材を保護する |
素材、メッシュ |
設置構造 |
FFU支持構造 |
FFU に適合するインストール |
サイズ・固定方法 |
特徴 |
製品説明 |
特徴 |
製品説明 |
|---|---|---|---|
FFUサポート設計 |
FFU構造に基づくサイズマッチング |
AMC制御 |
ガス状分子汚染物質の処理 |
各種吸着材 |
汚染物質に基づいて材料を選択する |
VOC処理 |
設定可能なVOC吸着材 |
酸性ガス |
酸性ガスフィルター材に対応 |
アルカリ性ガス |
アルカリガスフィルター材質に対応 |
モジュール構造 |
FFU内に簡単に取り付け可能 |
サイズのカスタマイズ |
規格外のサイズにも対応 |
圧力損失設計 |
FFU風量に基づくマッチング |
密閉設計 |
設置構造に合わせて設定 |
OEM/ODM |
カスタマイズに合わせたサポート機器 |
複数の業界のアプリケーション |
半導体、エレクトロニクス、製薬、研究所など |
パラメータ項目 |
パラメータの内容 |
パラメータ項目 |
パラメータの内容 |
|---|---|---|---|
製品名 |
FFUマッチングケミカルフィルター |
ブランド |
アイリ工業/DSX |
製品タイプ |
FFUケミカルフィルター |
オブジェクトのフィルタリング |
AMC 大気分子汚染物質 |
化学物質 |
活性炭、化学吸着材など |
材料の選択 |
汚染物質に合わせて調整 |
フィルター構造 |
折りたたみ式など |
フレーム |
アルミニウム、亜鉛メッキ鋼板、ステンレス鋼など |
シール材 |
EPDMなど |
設置方法 |
FFU内部または空気入口側 |
フィルターの厚さ |
50mm、70mmなど |
サイズ |
非標準のカスタマイズをサポート |
典型的な風速 |
0.5m/秒 |
風量 |
FFU仕様に従って決定 |
基準抵抗 |
30Pa、45Paなど |
カスタマイズされた方法 |
OEM/ODM |
寸法 |
厚さ |
基準風速 |
基準抵抗 |
|---|---|---|---|
287×592mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
508×508mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
592×592mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
610×610mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
610×915mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
531×1131mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
570×1170mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
600×1200mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
810×1010mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
915×1200mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
1165×1165mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
1175×1175mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
1200×1200mm |
50mm |
0.5m/秒 |
45Pa |
287×592mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
508×508mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
592×592mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
610×610mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
610×915mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
531×1131mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
570×1170mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
600×1200mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
810×1010mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
915×1200mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
1165×1165mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
1175×1175mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
1200×1200mm |
70mm |
0.5m/秒 |
30Pa |
HEPAフィルターは主に空気中の粒子状物質を濾過するために使用され、ケミカルフィルターは主に特定のガス状汚染物質を処理するために使用されます。
粒子状物質とAMCの同時管理が必要なクリーンルームでは、システム構成に合わせてHEPA/ULPAフィルターやケミカルフィルターを構成できます。
粒子状物質 → HEPA/ULPA
AMC → ケミカルフィルター
粒子状物質+AMC → FFU+ケミカルフィルター+HEPA/ULPA
ケミカルフィルターの選定には、まず対象となる汚染物質を定め、FFUの構造や空気の流れに基づいて設計する必要があります。
対象汚染物質 → 汚染物質濃度 → FFU風量 → 設置寸法 → ろ過厚さ → 化学物質 → 許容抵抗 → 使用サイクル
お客様は以下を提供できます。
FFU型式 → FFUサイズ → 設置スペース → 風量 → 対象汚染物質 → 汚染物質濃度 → 温度 → 湿度 → 使用時間 → 交換周期
汚染物質の種類 |
素材方向 |
アプリケーションシナリオ |
|---|---|---|
VOC |
VOC吸着材 |
半導体、エレクトロニクス、精密製造 |
HF、HCl |
酸性ガス吸着材 |
半導体・電子クリーンルーム |
H₂SO₄ |
酸性ガス吸着材 |
プロセスクリーンエリア |
NH₃ |
アルカリガス吸着材 |
半導体、電子機器製造 |
アミン |
アルカリガス吸着材 |
プロセス環境 |
アセトン、トルエン |
VOC・有機吸着材 |
電子機器製造、研究所 |
シリコーン |
対象となる吸着材 |
エレクトロニクス、精密製造 |
オゾン |
対応化学吸着材 |
新鮮な空気とクリーンな環境 |
半導体製造環境には、空気中の粒子状物質および分子汚染物質に対する対応する管理要件があります。
FFUケミカルフィルターはFFUの内部または対応する空気処理場所に設置でき、対応する吸着材はさまざまなプロセスエリアの汚染物質の種類に応じて選択されます。
フォトリソグラフィー、エッチング、拡散およびその他の関連分野では、MAU、FFU、HEPA/ULPA、ケミカルフィルターを組み合わせてクリーンエア処理システムを構築できます。
MAU外気 → 化学濾過 → FFUサイクル → HEPA/ULPA濾過 → クリーンなプロセスエリア
電子製造クリーンルームにおけるVOC、酸性ガス、アルカリ性ガスなどの分子汚染物質は、実際の生産環境に基づいて管理する必要があります。
Aili Industrial FFU対応ケミカルフィルターは、さまざまな汚染物質に応じて対応する材料を選択し、FFUの設置寸法に応じてカスタマイズできます。
製薬およびバイオテクノロジーのクリーンルームには、生産エリアの空気品質要件に基づいて化学フィルターを装備できます。
FFU ケミカルフィルターは、クリーンルーム空気処理システムの分子汚染物質制御コンポーネントとして使用でき、HEPA フィルター、MAU および FFU と適合します。
実験室の空気環境にはさまざまな種類の化学物質が含まれる場合があるため、ケミカルフィルターは特定の実験環境に基づいて吸着材を選択する必要があります。
Aili Industrial は、実験室用空気処理システムの空気量、汚染物質の種類、設置スペースに基づいて、FFU に適合するケミカルフィルターを提供できます。
Aili Industrial は、FFU、EFU、BFU、HEPA、ULPA、化学フィルター、ファン、モーター、制御システムも製造しています。
AMC 制御が必要なクリーン ルームの場合、空気処理システムに従って構成できます。
MAU → ケミカルフィルター → FFU → HEPA/ULPA → クリーンルーム
特定のクリーンルームの構造に応じて、ケミカルフィルターを FFU システムに直接組み込むこともできます。
Aili Industry は、フィルターから FFU、ファン、モーター、制御システムに至るまで、関連製品の独立した生産とサポート能力を備えているため、機器メーカーやクリーン エンジニアリング プロジェクトによる体系的な選択が容易になります。
Aili IndustryはFFUケミカルフィルターのOEM/ODMカスタマイズをサポートしており、FFUモデル、設置スペース、風量、汚染物質の種類に応じて製品を設計できます。
お客様は以下を提供できます。
FFU型式 → FFUサイズ → 取付寸法 → フィルタ厚さ → 風量 → 対象汚染物質 → 汚染物質濃度 → 使用温度 → 相対湿度 → 交換サイクル → 取付方法
アイリ工業は、実際の作業条件に基づいて対応するケミカルフィルター材料を選択し、フィルターのサイズ、構造、シール構成を完成させます。
Aili Industrial の生産拠点は約 30,000 平方メートルで、その製品はファン、モーター、制御システム、フィルター、浄化装置をカバーしています。
化学ろ過の分野では、FFU対応ケミカルフィルター、V型ケミカルフィルターなどの化学空気ろ過製品を提供できます。クリーン機器の分野では、FFU、EFU、BFU、HEPA BOX、エアシャワーなどの製品を提供できます。
この製品ポートフォリオは、単一のケミカルフィルターからFFU空気浄化ユニット、クリーンルーム空気処理システムまで、さまざまなプロジェクトのニーズを満たすことができます。
業界 |
応用分野 |
汚染物質の主な方向性 |
サポート製品 |
|---|---|---|---|
半導体 |
フォトリソグラフィー、エッチング、拡散領域 |
酸性ガス、アルカリ性ガス、VOC |
MAU、FFU、HEPA、ULPA |
電子製造業 |
クリーンな生産現場 |
VOC、AMC |
FFU、ケミカルフィルター |
医薬品 |
クリーンルーム |
VOCおよび特定ガス |
MAU、FFU、HEPA |
バイオテクノロジー |
クリーンエリア |
特定のガス状汚染物質 |
FFU、ケミカルフィルター |
研究室 |
エアハンドリングシステム |
VOCおよび化学ガス |
FFU、マウ |
精密製造 |
地元のクリーンエリア |
AMC |
FFU、EFU、ケミカルフィルター |
FFUマッチングケミカルフィルターとは何ですか?
FFU マッチングケミカルフィルターは、空気中のガス状汚染物質および AMC 大気分子汚染物質を処理するために、FFU の内部または対応する空気入口位置に設置されるケミカルフィルターです。
FFUケミカルフィルターは主に何をろ過しますか?
主に、酸性ガス、アルカリ性ガス、VOC、凝縮性有機物、および一部のプロセス関連の分子汚染物質を扱います。
FFUケミカルフィルターはHFに対応できますか?
HF濃度、風量、使用条件に応じて、対応する酸性ガス化学吸着材を構成できます。
FFU ケミカルフィルターは HCl を処理できますか?
はい、HClについては対応する酸性ガス吸着材を選択できます。
FFUケミカルフィルターはアンモニアを処理できますか?
はい、アンモニア濃度とFFU風量に応じてアルカリガス化学吸着材を選定できます。
FFU ケミカルフィルターは VOC を濾過できますか?
はい、特定のVOCの種類に応じて、対応する吸着材を選択できます。
FFUケミカルフィルターはHEPAでも使用できますか?
できる。ケミカルフィルターは主にガス状汚染物質を処理し、HEPA/ULPAは主に粒子状物質を制御します。クリーンルームシステムの設計に応じて、これら 2 つを組み合わせることができます。
FFUケミカルフィルターのサイズはカスタマイズできますか?
できる。 Aili Industryは、FFUのサイズ、設置スペース、フィルターの厚さに基づいた非標準のカスタマイズをサポートしています。
FFUケミカルフィルターの厚みはどれくらいですか?
一般的な構成には 50mm、70mm などがあり、FFU の内部スペースやシステム要件に応じてカスタマイズすることもできます。
FFUケミカルフィルターの風量はどうやって決めるのですか?
FFUの風量、フィルターサイズ、フィルター面積、材質、許容抵抗などを考慮して総合的に選定する必要があります。
FFUケミカルフィルターの交換にはどれくらい時間がかかりますか?
耐用年数は、汚染物質の濃度、空気の流れ、化学物質、動作時間、環境条件に関係します。実際の使用状況に応じて保守・交換を行ってください。
Aili Industrial は汚染物質の検出結果に基づいて製品をカスタマイズできますか?
できる。対象となる汚染物質、汚染物質濃度、風量、使用条件に応じて、対応する化学吸着材質と製品構造を選択できます。
FFUケミカルフィルターは半導体クリーンルームでも使用できますか?
はい、半導体および電子製造は、FFU ケミカル フィルターの重要な用途方向です。
Aili Industrial は FFU とケミカルフィルターの両方を提供できますか?
できる。 Aili Industry は FFU とそのサポートケミカルフィルターも提供しており、FFU のサイズとシステム要件に応じて適合する製品を設計できます。
FFU ケミカルフィルターを選択した場合、以下を提供できます。
FFU型式 → FFUサイズ → 取付寸法 → フィルタ厚さ → 風量 → 対象汚染物質 → 汚染物質濃度 → 使用温度 → 相対湿度 → 交換サイクル → 取付方法
Aili Industry は、特定の汚染物質と FFU 構造に基づいて、化学フィルター材料の選択、フィルター サイズ設計、OEM/ODM カスタマイズ サービスを提供できます。
アイリ産業 | FFU、ケミカルフィルター、HEPA/ULPA 、クリーンエア処理装置メーカー