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FFU化学过滤器

艾立工业FFU配套化学过滤器是一种安装于FFU内部或FFU进风侧的化学空气过滤产品,主要用于控制洁净室空气中的AMC空气分子污染物。

产品根据不同污染物类型配置相应的化学吸附材料,可针对酸性气体、碱性气体、VOC、可凝结有机物以及部分工艺相关分子污染物进行空气处理。

产品采用适配FFU结构的模块化设计,可根据FFU尺寸、安装空间、风量、污染物类型及使用条件进行定制,适用于半导体、电子制造、制药、生物技术、实验室等洁净环境。

FFU → 化学过滤 → AMC控制 → HEPA/ULPA → 洁净空气

状态:
数量:
艾立工业FFU配套化学过滤器.jpeg

艾立工业FFU化学过滤器

FFU主要通过风机推动空气循环,并通过过滤器对空气中的颗粒物进行控制。在部分对空气分子污染物有要求的洁净环境中,还需要针对空气中的酸性气体、碱性气体、VOC及其他分子污染物进行处理。

艾立工业FFU配套化学过滤器针对FFU的结构和安装空间进行设计,可以安装在FFU内部或进风侧,通过化学吸附等方式对特定气态污染物进行控制。

相比单纯针对颗粒物的过滤器,化学过滤器的选型需要关注污染物种类、浓度、风量、温湿度以及目标使用周期。

颗粒物 → HEPA/ULPA过滤

气态污染物 → 化学过滤

颗粒物+气态污染物 → FFU+HEPA/ULPA+化学过滤

AMC空气分子污染物控制

AMC即空气分子污染物,主要指空气中以分子状态存在、可能影响洁净环境和生产工艺的污染物。

在半导体、电子制造、精密制造等环境中,AMC控制通常需要结合具体生产工艺和环境检测结果进行设计。

艾立工业FFU配套化学过滤器可以根据目标污染物选择相应化学过滤材料,并根据FFU结构进行产品配置。

目标污染物

污染物类别

典型污染物

过滤材料方向

酸性气体

HF、HCl、H₂SO₄、HNO₃、SO₂、NO₂等

酸性气体化学吸附材料

碱性气体

NH₃、胺类、NMP等

碱性气体化学吸附材料

VOC

甲苯、丙酮及其他挥发性有机物

VOC吸附材料

可凝结污染物

硅氧烷、增塑剂等

针对性吸附材料

工艺相关污染物

硼、磷、砷等相关化合物

针对性化学吸附材料

不同污染物需要匹配不同化学吸附材料,产品配置应根据实际污染物类型和浓度确定。

酸性气体过滤

酸性气体是洁净室AMC控制中的重要污染物类别。

FFU化学过滤器可根据实际污染物选择针对性的酸性气体吸附材料,用于处理HF、HCl、H₂SO₄、SO₂、NO₂等气态污染物。

适用于半导体、电子制造及其他需要进行AMC控制的洁净环境。

酸性气体检测 → 材料选择 → FFU尺寸匹配 → 化学过滤

碱性气体过滤

氨气、胺类等碱性污染物可以采用针对性的化学吸附材料进行处理。

艾立工业FFU化学过滤器可以根据污染物类型、浓度、空气流量和FFU安装空间进行配置。

对于半导体和电子制造环境,可根据具体工艺区域和空气质量要求选择相应过滤材料。

VOC化学过滤

VOC包括多种挥发性有机化合物,不同VOC的吸附特性存在差异。

艾立工业可根据目标VOC类型选择相应吸附材料,用于FFU循环空气或洁净室局部空气处理。

产品可用于电子制造、半导体、制药、实验室及其他对空气中有机污染物进行控制的环境。

活性炭及复合化学吸附材料

化学过滤器可以采用活性炭、化学吸附材料、离子交换材料及复合型吸附材料,根据目标污染物进行组合。

针对不同气体,需要选择不同的材料配方,而不是所有污染物都使用同一种活性炭。

艾立工业可根据污染物类型和项目要求配置相应的化学过滤材料。

艾立工业FFU化学过滤器结构

FFU配套化学过滤器采用模块化过滤结构,可以根据FFU内部安装空间设计过滤器尺寸和厚度。

结构组成

配置方向

主要作用

可定制内容

化学过滤材料

活性炭、化学吸附材料等

吸附特定气态污染物

材料类型、配方

滤料结构

折叠式等

增加有效过滤面积

褶距、过滤面积

框架

铝材、镀锌钢、不锈钢

支撑过滤器结构

材质、尺寸

密封结构

EPDM等

减少安装旁路

密封材料、结构

防护结构

金属网等

保护过滤材料

材质、网孔

安装结构

FFU配套结构

与FFU匹配安装

尺寸、固定方式

艾立工业FFU化学过滤器特点

产品特点

产品说明

产品特点

产品说明

FFU配套设计

根据FFU结构进行尺寸匹配

AMC控制

针对气态分子污染物进行处理

多种吸附材料

根据污染物选择材料

VOC处理

可配置VOC吸附材料

酸性气体

支持酸性气体过滤材料

碱性气体

支持碱性气体过滤材料

模块化结构

便于FFU内部安装

尺寸定制

支持非标尺寸

压损设计

根据FFU风量进行匹配

密封设计

根据安装结构配置

OEM/ODM

支持设备配套定制

多行业应用

半导体、电子、制药、实验室等

产品参数

参数项目

参数内容

参数项目

参数内容

产品名称

FFU配套化学过滤器

品牌

艾立工业 / DSX

产品类型

FFU化学过滤器

过滤对象

AMC空气分子污染物

化学材料

活性炭、化学吸附材料等

材料选择

根据污染物定制

过滤结构

折叠式等

框架

铝材、镀锌钢、不锈钢等

密封材料

EPDM等

安装方式

FFU内部或进风侧

过滤厚度

50mm、70mm等

尺寸

支持非标定制

典型风速

0.5m/s

风量

根据FFU规格确定

参考阻力

30Pa、45Pa等

定制方式

OEM / ODM

常用规格

尺寸规格

厚度

参考风速

参考阻力

287×592mm

50mm

0.5m/s

45Pa

508×508mm

50mm

0.5m/s

45Pa

592×592mm

50mm

0.5m/s

45Pa

610×610mm

50mm

0.5m/s

45Pa

610×915mm

50mm

0.5m/s

45Pa

531×1131mm

50mm

0.5m/s

45Pa

570×1170mm

50mm

0.5m/s

45Pa

600×1200mm

50mm

0.5m/s

45Pa

810×1010mm

50mm

0.5m/s

45Pa

915×1200mm

50mm

0.5m/s

45Pa

1165×1165mm

50mm

0.5m/s

45Pa

1175×1175mm

50mm

0.5m/s

45Pa

1200×1200mm

50mm

0.5m/s

45Pa

287×592mm

70mm

0.5m/s

30Pa

508×508mm

70mm

0.5m/s

30Pa

592×592mm

70mm

0.5m/s

30Pa

610×610mm

70mm

0.5m/s

30Pa

610×915mm

70mm

0.5m/s

30Pa

531×1131mm

70mm

0.5m/s

30Pa

570×1170mm

70mm

0.5m/s

30Pa

600×1200mm

70mm

0.5m/s

30Pa

810×1010mm

70mm

0.5m/s

30Pa

915×1200mm

70mm

0.5m/s

30Pa

1165×1165mm

70mm

0.5m/s

30Pa

1175×1175mm

70mm

0.5m/s

30Pa

1200×1200mm

70mm

0.5m/s

30Pa

FFU化学过滤器与HEPA过滤器的区别

HEPA过滤器主要用于过滤空气中的颗粒物,而化学过滤器主要用于处理特定气态污染物。

在需要同时控制颗粒物和AMC的洁净室中,可以根据系统结构配置HEPA/ULPA过滤器与化学过滤器。

颗粒物 → HEPA/ULPA

AMC → 化学过滤器

颗粒物+AMC → FFU+化学过滤器+HEPA/ULPA

FFU化学过滤器如何选型

化学过滤器选型需要先确定目标污染物,再结合FFU结构和空气流量进行设计。

目标污染物 → 污染物浓度 → FFU风量 → 安装尺寸 → 过滤厚度 → 化学材料 → 允许阻力 → 使用周期

客户可以提供:

FFU型号 → FFU尺寸 → 安装空间 → 风量 → 目标污染物 → 污染物浓度 → 温度 → 湿度 → 使用时间 → 更换周期

不同污染物如何选择化学过滤材料

污染物类型

材料方向

应用场景

VOC

VOC吸附材料

半导体、电子、精密制造

HF、HCl

酸性气体吸附材料

半导体、电子洁净室

H₂SO₄

酸性气体吸附材料

工艺洁净区域

NH₃

碱性气体吸附材料

半导体、电子制造

胺类

碱性气体吸附材料

工艺环境

丙酮、甲苯

VOC/有机物吸附材料

电子制造、实验室

硅氧烷

针对性吸附材料

电子、精密制造

臭氧

相应化学吸附材料

新风及洁净环境

艾立工业FFU化学过滤器行业应用

半导体行业应用

半导体生产环境对空气中的颗粒物和分子污染物都有相应的控制要求。

FFU化学过滤器可以安装在FFU内部或相应空气处理位置,根据不同工艺区域的污染物类型选择相应吸附材料。

在光刻、蚀刻、扩散等相关区域,可以结合MAU、FFU、HEPA/ULPA及化学过滤器构建洁净空气处理系统。

MAU新风 → 化学过滤 → FFU循环 → HEPA/ULPA过滤 → 洁净工艺区域

电子制造应用

电子制造洁净室中的VOC、酸性气体、碱性气体等分子污染物,需要根据实际生产环境进行控制。

艾立工业FFU配套化学过滤器可根据不同污染物选择相应材料,并按照FFU安装尺寸进行定制。

制药及生物技术应用

制药和生物技术洁净室可根据生产区域的空气质量要求配置化学过滤器。

FFU化学过滤器可以作为洁净室空气处理系统中的分子污染物控制组件,并与HEPA过滤器、MAU和FFU进行配套。

实验室应用

实验室空气环境可能涉及不同类型的化学物质,因此化学过滤器需要根据具体实验环境选择吸附材料。

艾立工业可根据实验室空气处理系统的风量、污染物类型和安装空间提供FFU配套化学过滤器。

艾立工业FFU+化学过滤整体配套

艾立工业同时生产FFU、EFU、BFU、HEPA、ULPA、化学过滤器、风机、电机及控制系统。

对于需要进行AMC控制的洁净室,可以根据空气处理系统配置:

MAU → 化学过滤器 → FFU → HEPA/ULPA → 洁净室

也可以根据具体洁净室结构,将化学过滤器直接集成到FFU系统中。

从过滤器到FFU,再到风机、电机和控制系统,艾立工业具备相关产品的自主生产和配套能力,方便设备制造商及洁净工程项目进行系统化选型。

艾立工业化学过滤器定制

艾立工业支持FFU化学过滤器OEM/ODM定制,可根据FFU型号、安装空间、风量和污染物类型进行产品设计。

客户可以提供:

FFU型号 → FFU尺寸 → 安装尺寸 → 过滤器厚度 → 风量 → 目标污染物 → 污染物浓度 → 运行温度 → 相对湿度 → 更换周期 → 安装方式

艾立工业根据实际工况选择相应化学过滤材料,并完成过滤器尺寸、结构及密封方式配置。

艾立工业生产能力

艾立工业拥有约3万平方米生产基地,产品覆盖风机、电机、控制系统、过滤器及净化设备。

在化学过滤领域,可提供FFU配套化学过滤器、V型化学过滤器及其他化学空气过滤产品;在洁净设备领域,可提供FFU、EFU、BFU、HEPA BOX、风淋室等产品。

这种产品组合可以满足从单个化学过滤器,到FFU空气净化单元,再到洁净室空气处理系统的不同项目需求。

产品应用

行业

应用区域

主要污染物方向

配套产品

半导体

光刻、蚀刻、扩散区域

酸性气体、碱性气体、VOC

MAU、FFU、HEPA、ULPA

电子制造

洁净生产区

VOC、AMC

FFU、化学过滤器

制药

洁净室

VOC及特定气体

MAU、FFU、HEPA

生物技术

洁净区域

特定气态污染物

FFU、化学过滤器

实验室

空气处理系统

VOC及化学气体

FFU、MAU

精密制造

局部洁净区域

AMC

FFU、EFU、化学过滤器

FFU化学过滤器FAQ

什么是FFU配套化学过滤器?

FFU配套化学过滤器是安装在FFU内部或相应进风位置,用于处理空气中气态污染物和AMC空气分子污染物的化学过滤器。

FFU化学过滤器主要过滤什么?

主要针对酸性气体、碱性气体、VOC、可凝结有机物及部分工艺相关分子污染物进行处理。

FFU化学过滤器可以处理HF吗?

可以根据HF浓度、风量及运行条件配置相应的酸性气体化学吸附材料。

FFU化学过滤器可以处理HCl吗?

可以,可以针对HCl选择相应的酸性气体吸附材料。

FFU化学过滤器可以处理氨气吗?

可以,根据氨气浓度和FFU风量选择碱性气体化学吸附材料。

FFU化学过滤器可以过滤VOC吗?

可以,可根据具体VOC类型选择相应吸附材料。

FFU化学过滤器可以和HEPA一起使用吗?

可以。化学过滤器主要处理气态污染物,HEPA/ULPA主要控制颗粒物,两者可以根据洁净室系统设计进行组合。

FFU化学过滤器可以定制尺寸吗?

可以。艾立工业支持根据FFU尺寸、安装空间和过滤厚度进行非标定制。

FFU化学过滤器厚度有哪些?

常见配置包括50mm、70mm等,也可以根据FFU内部空间和系统要求进行定制。

FFU化学过滤器的风量怎么确定?

需要结合FFU风量、过滤器尺寸、过滤面积、材料和允许阻力进行综合选型。

FFU化学过滤器使用多久需要更换?

使用周期与污染物浓度、空气流量、化学材料、运行时间和环境条件有关,应结合实际运行状态进行维护和更换。

艾立工业可以根据污染物检测结果定制吗?

可以。可以根据目标污染物、污染物浓度、风量及使用条件选择相应化学吸附材料和产品结构。

FFU化学过滤器可以用于半导体洁净室吗?

可以,半导体及电子制造是FFU化学过滤器的重要应用方向。

艾立工业可以同时提供FFU和化学过滤器吗?

可以。艾立工业同时提供FFU及其配套化学过滤器,并可根据FFU尺寸和系统要求进行配套设计。

获取艾立工业FFU配套化学过滤器方案

如果您正在选择FFU化学过滤器,可以提供:

FFU型号 → FFU尺寸 → 安装尺寸 → 过滤器厚度 → 风量 → 目标污染物 → 污染物浓度 → 运行温度 → 相对湿度 → 更换周期 → 安装方式

艾立工业可根据具体污染物和FFU结构,提供化学过滤材料选择、过滤器尺寸设计及OEM/ODM定制服务。

艾立工业|FFU、化学过滤器、HEPA/ULPA及洁净空气处理设备制造商

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