なぜ清浄度グレードに粒子径を表示する必要があるのですか?

直接の答え: ISO グレードの定義自体に粒子サイズが含まれるためです。粒子サイズを除けば、グレード番号は意味がありません。

ISO 14644 の分類ロジックは、粒子サイズのしきい値を選択し、空気の単位体積中のこのサイズ以上の粒子の数を数え、それを規格によって与えられた制限値と比較することです。グレード番号は結果であり、粒子サイズは前提となります。前提が書かれていないと結果は宙に浮いたままになってしまいます。

粒子径が明確にされていないため、プロジェクトでは予想以上に問題が発生しています。

粒子サイズは統計的な粒子範囲を決定します

0.5μm以上とは、0.5μm以上の粒子をすべて合計したものを指します。狭い範囲ではなく、0.5μmから始まり、上がっていきます。

通常、計測器には蓄積モードとビニング モードがあります。蓄積モードは閾値に従って蓄積するモードであり、ビニングモードは粒子サイズ間隔に従って個別にカウントします。 2 つのモードのデータを混合することはできません。報告書には「0.5μm」と書かれています。累積なのか分割なのかを明示しないと解釈に偏りが生じる可能性があります。

同じ大気サンプルでも、0.5μm以上で統計した場合と5μm以上で統計した場合では粒子数が大きく異なります。これら 2 つの数字を合計すると、比較の対象になりません。

プロセスに依存する粒子サイズについては別途合意する必要があります

プロセスが異なれば、敏感な粒子サイズも異なります。

サブミクロンの粒子に敏感な製品もあれば、数ミクロンの粒子をより懸念する製品もあります。プロジェクトが ISO レベルのみを記述し、敏感な粒子サイズを示していない場合、機器の選択と承認は実際の要件から逸脱する可能性があります。

たとえば、半導体フォトリソグラフィープロセスはより小さな粒子サイズに焦点を当てている場合がありますが、一般的な機械アセンブリはより大きな粒子に対してより敏感である可能性があります。ターゲット粒子サイズが異なると、フィルターの選択、検出機器のチャンネル構成、サンプリング方法も異なります。

ISO 規格では、グレードと粒子サイズの特定の組み合わせに適用される制限があります。表の空白を自分でゼロで埋めることはできませんし、根拠のない数式で空白を拡張することもできません。選定の際は対象粒子径を確認し、該当グレードが適しているかご確認ください。

レポートを解釈するときは、まず粒子サイズを確認する必要があります。

両方とも ISO 5 を記述する 2 つのレポートを受け取った場合、それらが同じであるとは直接言えません。

最初の部分の測定値は ≥0.5μm であり、2 番目の部分の測定値は ≥5μm である可能性があります。同じ部屋でも、粒子サイズの違いにより粒子濃度は大きく異なり、対応する限界も異なります。両方の報告書の結論は ISO 5 と呼ばれていますが、実際の管理レベルは同じレベルではない可能性があります。

したがって、レポートを読むときは、まず粒子サイズの条件を確認してください。見つからない場合は、テスト当事者またはサプライヤーに確認してください。 「清浄度グレードとろ過効率の違いは何ですか ?」で述べたとおりです。スペースグレードは粒子濃度を評価し、フィルター効率は製品の性能を評価します。どちらも粒子サイズに依存します。

契約書と承諾書は完全に書かれていなければなりません

技術協定には ISO グレードを記載し、その後に粒子サイズを記載します。

完全なステートメントには、少なくとも以下が含まれます: ISO グレードの、粒度閾値、動作ステータス、領域の境界。たとえば、「ISO 7、≥0.5μm、ダイナミック、アセンブリ領域」などです。このようにしてのみ、明確な判断基準が得られます。

「ISO 7」または「クラス 10,000」と書くだけでは、受け入れ担当者はどの粒子サイズを測定すればよいのかわかりません。両者の認識が一致しないと、将来的に紛争が発生しやすくなります。 クラス 100、クラス 1,000、およびクラス 10,000 が ISO グレードにどのように対応するかは、 従来の名前と ISO 表現キャリバーの違いを示しています。粒子サイズは重要な条件の 1 つです。 100,000 グレード ワークショップのグレード説明を更新する方法にも記載されています 。グレードの説明を更新するときに、粒子サイズを漏らすことはできません。

装置の構成も粒子サイズに基づいて行う必要があります

装置を選択する際、粒子サイズはフィルターの効率評価のベンチマークの 1 つです。

HEPA および ULPA の効率レポートでは、通常、特定の粒子サイズのデータ​​が提供されます。 HEPA および ULPA フィルターの ページには、さまざまなレベルの製品のパラメーターの説明が含まれています。装置を選定する際はグレード名だけでなく、目的の粒子径でのろ過効率をご確認ください。

空気供給装置の動作点はフィルタ抵抗にも関係します。 FFU クリーン エア供給製品には、 標準製品とカスタマイズされたソリューションが含まれます。装置端での部分浄化については、こちらをご参照ください。 EFU機器側ファンフィルターユニット。プロジェクトでゾーニング管理が必要な場合は、 FFU グループ制御システムは、 地域ごとに運用戦略を設定できます。

Aili Industrial は、モーター、ファン、制御システム、板金、エアフィルター、および完全な機械アセンブリの製造能力を備えています。クリーンレベルのプロジェクトを実施する場合、同じプロジェクト条件で対象粒子径、フィルター効率、ファン動作点、構造界面を確認し、装置構成と合格条件が一致しているかを確認できます。

シーン判定

特定のプロジェクトの 2 つの清浄度レポートには両方とも ISO 5 が記載されていました。1 つの部分の測定値は ≥0.5μm、もう 1 つの部分の測定値は ≥5μm でした。プロジェクト チームは当初、2 つの結果を直接比較できると考えていましたが、後に粒子濃度の値が大きく異なることが判明しました。確認したところ、粒子径と口径が異なり、データが比較できないことがわかりました。

別のプロジェクトでは、技術契約に ISO 7 のみを記載し、粒子サイズとステータスを指定していませんでした。受入検査の際、両者の試験条件に関する認識に齟齬が生じたため、後に技術協定を補足して問題を解決した。

これら 2 つの状況は、粒子サイズがオプションではなく、グレード表現の一部であることを示しています。

選定と受入検査のポイント