직접적인 대답: ISO 등급 자체의 정의에 입자 크기가 포함되어 있기 때문입니다. 등급 번호는 입자 크기와 별개로 의미가 없습니다.
ISO 14644의 분류 논리는 입자 크기 임계값을 선택하고, 단위 공기 부피당 이 크기보다 크거나 같은 입자 수를 계산한 다음 이를 표준에서 제공하는 한계 값과 비교하는 것입니다. 등급 번호는 결과이고 입자 크기는 전제입니다. 전제가 쓰여지지 않으면 결과는 공중에 떠있을 것입니다.
입자 크기가 명확하게 명시되지 않아 프로젝트에 예상보다 많은 문제가 있습니다.
0.5μm 이상은 0.5μm 이상의 입자를 모두 합한 것을 의미합니다. 좁은 범위는 아니고 0.5μm부터 시작해서 올라갑니다.
계측기에는 일반적으로 누적 모드와 비닝 모드가 있습니다. 누적 모드는 임계값에 따라 누적하는 모드이고, 비닝 모드는 입자 크기 간격에 따라 별도로 계산하는 모드입니다. 두 모드의 데이터를 혼합할 수 없습니다. 보고서에는 '0.5μm'라고 나와 있습니다. 누적인지 분할인지 명시하지 않으면 해석이 편향될 수 있습니다.
동일한 공기 샘플에 대해 ≥0.5μm를 기반으로 한 통계와 ≥5μm를 기반으로 한 통계 간에 입자 수는 크게 다릅니다. 이 두 숫자를 합치면 비교할 수 없습니다.
공정마다 민감한 입자 크기가 다릅니다.
일부 제품은 서브 마이크론 입자에 민감한 반면, 다른 제품은 몇 마이크론 입자에 더 관심이 있습니다. 프로젝트가 ISO 레벨만 작성하고 민감한 입자 크기를 표시하지 않는 경우 장비 선택 및 승인이 실제 요구 사항에서 벗어날 수 있습니다.
예를 들어, 반도체 포토리소그래피 공정은 더 작은 입자 크기에 초점을 맞추는 반면 일반적인 기계 조립은 더 큰 입자에 더 민감할 수 있습니다. 대상 입자 크기가 다르면 필터 선택, 탐지 장비의 채널 구성 및 샘플링 방법이 달라집니다.
ISO 표준에는 특정 등급 및 입자 크기 조합에 적용 가능한 제한 사항이 있습니다. 혼자서는 표의 공백을 0으로 채울 수 없고, 근거 없는 수식으로 확장할 수도 없습니다. 선정 시에는 먼저 목표 입도를 확인한 후, 해당 Grade가 적합한지 확인하시기 바랍니다.
둘 다 ISO 5라고 적힌 두 개의 보고서를 받으면 둘 다 동일하다고 직접 말할 수 없습니다.
첫 번째 부분은 ≥0.5μm를 측정할 수 있고, 두 번째 부분은 ≥5μm를 측정할 수 있습니다. 같은 방에서 입자 농도는 입자 크기에 따라 크게 다르며 해당 한계도 다릅니다. 두 보고서의 결론을 ISO 5라고 부르지만 실제 통제 수준은 동일한 수준이 아닐 수 있습니다.
따라서 보고서를 읽을 때 먼저 입자 크기 조건을 찾으십시오. 찾을 수 없는 경우 테스트 당사자나 공급업체에 문의하세요. 청정도 등급과 여과 효율성의 차이점은 무엇입니까 ? 에서 언급한 바와 같이 ? 우주 등급은 입자 농도를 평가하고, 필터 효율은 제품 성능을 평가합니다. 둘 다 입자 크기에 따라 다릅니다.
기술 계약서에 ISO 등급을 기재하고 그 뒤에 입자 크기를 기재합니다.
전체 설명에는 최소한 다음이 포함됩니다. ISO 등급 、입자 크기 임계값 、작동 상태 、영역 경계 . 예: 'ISO 7, ≥0.5μm, 동적, 조립 영역'. 그래야만 명확한 판단 근거가 있을 수 있습니다.
'ISO 7' 또는 '클래스 10,000'이라고만 적어도 승인 담당자는 어떤 입자 크기를 측정해야 할지 알 수 없습니다. 양측의 이해가 일치하지 않으면 향후 분쟁이 발생하기 쉽습니다. 클래스 100, 클래스 1,000 및 클래스 10,000이 ISO 등급에 해당하는 방식은 전통적인 이름과 ISO 표현 수준의 차이를 보여줍니다. 입자 크기는 주요 조건 중 하나입니다. 10만 등급 공방의 등급 설명을 업데이트하는 방법 에도 언급되어 있습니다 . 등급 설명을 업데이트할 때 입자 크기가 누출될 수 없습니다.
장비를 선택할 때 입자 크기는 필터 효율성 평가를 위한 벤치마크 중 하나입니다.
HEPA 및 ULPA에 대한 효율성 보고서는 일반적으로 특정 입자 크기에 대한 데이터를 제공합니다. HEPA 및 ULPA 필터 페이지에는 다양한 수준의 제품에 대한 매개변수 설명이 있습니다. 장비를 선택할 때 단순히 등급명만 보는 것이 아닌, 목표 입자 크기에서의 여과 효율을 확인하세요.
공기 공급 장치의 작동점은 필터 저항과도 관련이 있습니다. FFU 청정 공기 공급 제품에는 표준 제품과 맞춤형 솔루션이 포함됩니다. 장비 끝 부분의 부분 정화에 대해서는 다음을 참조하십시오. EFU 장비측 팬 필터 유닛 . 프로젝트에 구역화 제어가 필요한 경우, FFU 그룹 제어 시스템은 지역별 운영 전략을 구성할 수 있습니다.
Aili Industrial은 모터, 팬, 제어 시스템, 판금, 공기 필터 및 전체 기계 조립 분야의 제조 역량을 보유하고 있습니다. Clean Level 프로젝트를 수행할 때 동일한 프로젝트 조건에서 목표 입자 크기, 필터 효율, 팬 작동 지점 및 구조 인터페이스를 확인하여 장비 구성 및 승인 조건을 일치시킬 수 있습니다.
특정 프로젝트에 대한 두 가지 청정도 보고서에는 모두 ISO 5가 명시되어 있습니다. 한 부분은 ≥0.5μm로 측정되었고 다른 부분은 ≥5μm로 측정되었습니다. 프로젝트 팀은 처음에는 두 결과를 직접 비교할 수 있다고 믿었지만 나중에 입자 농도 값이 매우 다르다는 것을 발견했습니다. 확인 결과 입자 크기와 구경이 다르고 데이터도 비교할 수 없는 것으로 확인되었습니다.
또 다른 프로젝트에서는 입자 크기와 상태를 명시하지 않고 기술 계약서에 ISO 7만 작성했습니다. 인수심사 과정에서 양측의 테스트 조건에 대한 이해가 일관되지 않았고, 이후 기술협약을 보완해 문제를 해결했다.
이 두 가지 상황은 입자 크기가 선택 사항이 아니라 등급 표현의 일부임을 보여줍니다.
확인항목 |
핵심사항 확인 |
|---|---|
입자 크기 임계값 |
다음보다 작지 않은 입자 크기를 나타냅니다. |
데이터 스키마 |
누적 또는 일괄 처리 확인 |
적용 범위 |
표준 유효한 조합 확인 |
장비 성능 |
필수 채널 일치 |