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フラットプリーツマイクロプリーツ AMC ケミカルフィルターは、主に空気中のガス状分子汚染物質の制御に使用されます。
折り畳まれたマイクロプリーツ構造を採用しており、ケミカルフィルター材の有効接触面積が大きくなります。空気がフィルター材を通過する際に、目的の汚染物質と活性吸着材が接触し、物理吸着または化学吸着により汚染物質を抑制します。
主に空気粒子を処理する HEPA フィルターとは異なり、AMC ケミカルフィルターは主に空気中のガス状分子汚染物質を対象とします。
粒子状物質管理→一次効率ろ過→中効率ろ過→HEPA/ULPAろ過
ガス状汚染物質管理→化学ろ過→VOC管理→酸性ガス管理→アルカリ性ガス管理
MAU エア ハンドリング ユニットでは、ケミカル フィルターを一次効果、中間効果、その他の空気処理セクションと組み合わせて使用できます。
AMC は大気分子汚染物質を指し、主に酸性ガス、アルカリ性ガス、VOC、オゾン、および一部のプロセス関連の分子汚染物質が含まれます。
半導体、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクスなどのクリーンな生産環境では、空気中の一部の分子汚染物質は、屋外の空気、建材、洗浄剤、溶剤、生産プロセスに由来する可能性があります。
フラットプリーツマイクロプリーツAMCケミカルフィルターは、実際の汚染物質の種類に応じてさまざまなケミカルフィルター素材を選択できます。
汚染物質のカテゴリー |
代表的な汚染物質 |
適用ろ材 |
|---|---|---|
VOC |
トルエン、揮発性有機化合物など |
853(2750) |
酸性ガス |
HCl、HF、H2SO4、SO2、NO2など |
875(2751) |
アルカリ性ガス |
NH₃、アミン、NMPなど |
147(2752) |
オゾン |
○₃ |
汚染物質の組成に基づいて選択する |
硫化物 |
H₂S、SO₂など |
875(2751) または複合フィルター材 |
ホウ素およびその他の汚染物質 |
ホウ素および一部のプロセス関連汚染物質 |
853(2750) またはカスタマイズされたフィルター素材 |
Aili Industrial フラットプリーツマイクロプリーツ AMC ケミカルフィルターは、空気中の汚染物質の種類に応じてさまざまなフィルター素材を選択できます。
853 (2750) は、主に VOC 方向の大気分子汚染物質の制御に使用されます。 SO2、NO2、オゾン、硫黄酸化物、ホウ素などの汚染物質にも使用できます。
主な用途 → VOC → トルエン → SO₂ → NO₂ → オゾン → 硫黄酸化物 → ホウ素
147(2752) は主にアルカリ性ガス状汚染物質に使用されます。アンモニア、アミン、NMPなどの汚染物質の吸着処理に使用でき、一部のVOCにも使用できます。
主な用途 → NH₃ → アンモニア → アミン → NMP → 一部の VOC
875 (2751) は主に酸性ガス汚染物質の制御に使用されます。塩化水素、フッ化水素、硫酸などの酸性汚染物質に使用できます。また、SO2、NO2、オゾン、H2Sにも使用できます。
主な用途 → HCl → HF → H₂SO₄ → SO₂ → NO₂ → オゾン → H₂S
さまざまなフィルター素材の実際の耐用年数は、汚染物質の濃度、空気の流れ、温度と湿度、フィルター素材の充填量、および動作時間に関係します。
平坦折り構造は本製品の重要な構造形態です。
ケミカルフィルター材を連続的に折り畳んで複数のフィルタープリーツを形成することで、限られた設置スペース内でフィルター材の膨張面積を増大させ、空気を吸着材に十分に接触させることができます。
平面構造 → マイクロプリーツの折り畳み → フィルター面積の増加 → 空気の流れ → 分子状汚染物質の吸着
この製品は、10 ~ 12 プリーツ/リニア フットのプリーツ ピッチで設計されており、製品の深さや用途のニーズに基づいて構成できます。
構造プロジェクト |
構成 |
|---|---|
製品構成 |
平らに折りたためるマイクロプリーツ構造 |
フィルター材 |
853(2750)、147(2752)、875(2751) |
フレーム |
陽極酸化アルミニウムプロファイル |
保護ネット |
両面アルミ保護ネット |
シール材 |
低化学物質放出EPDM |
フィルター材の厚さ |
2.2mm |
濾材の目付 |
600g/m² |
プリーツピッチ |
10~12プリーツ/リニアフィート |
製品形態 |
フラットケミカルフィルター |
カスタマイズされた方法 |
サイズ、フィルター材質、構造をカスタマイズ可能 |
製品フレームは、実際の用途に応じてアルミニウム、亜鉛メッキ鋼、ステンレス鋼で作ることもできます。
ケミカルフィルターの核心はケミカルフィルター素材にあります。
Aili工業用化学フィルターは活性炭と複合化学吸着材を使用しており、汚染物質の種類に応じて異なる吸着システムを構成しています。
製品に使用される微粒子活性炭はヤシガラ活性炭であり、活性炭パラメータには60〜80 CTC、30〜60メッシュおよびその他の構成が含まれます。
活性炭は、大きな比表面積を通じて一部のガス分子を吸着し、さまざまな化学処理材料を組み合わせて、特定の汚染物質を対象とした処理を実行します。
特徴 |
製品説明 |
|---|---|
マイクロプリーツ構造 |
平坦折り構造により濾材の膨張面積が増加 |
AMC制御 |
空気中のガス状分子汚染物質をターゲットにする |
各種濾材 |
VOC、酸性ガス、アルカリ性ガスの方向を設定可能 |
活性炭素材 |
活性炭と複合吸着材を使用 |
低発塵 |
ケミカルフィルター材はコーティング構造を採用し、運転時の発塵を低減します。 |
密閉構造 |
低化学放出EPDMシール材を使用 |
保護構造 |
両面アルミニウム保護メッシュが内部濾材を保護 |
MAUパッケージ |
MAU エアハンドリングユニットに取り付け可能 |
サイズのカスタマイズ |
装置のフィルター部のサイズに合わせてカスタマイズ |
フィルター材質のカスタマイズ |
汚染物質の種類に応じて適切なフィルター材質を選択してください |
平らに折りたたまれたマイクロプリーツ AMC ケミカル フィルターは、主に MAU 空気処理ユニットの外気処理セクションで使用されます。
一般的な空気処理プロセス:
屋外外気→一次効率ろ過→中効率ろ過→AMC化学ろ過→表面冷却・加熱→加湿・除湿→クリーンルーム
実際のプロジェクトでは、MAUの装置構造に合わせてケミカルフィルターの設置位置やフィルターの深さを調整できます。
化学フィルターと微粒子フィルターはさまざまな空気処理タスクを実行し、クリーン ルームの空気品質要件に応じて組み合わせて構成できます。
アプリケーション産業 |
応用分野 |
汚染物質の主な方向性 |
|---|---|---|
半導体 |
クリーンなワークショップとプロセスエリア |
酸性ガス、アルカリ性ガス、VOC、ホウ素など |
電子製造業 |
電子クリーンルーム |
VOC、酸性およびアルカリ性汚染物質 |
光電子ディスプレイ |
クリーンな生産現場 |
VOC、酸性ガス、アルカリ性ガス |
精密製造 |
精密な生産環境 |
VOC、オゾン、その他のガス状汚染物質 |
製薬 |
クリーンな生産現場 |
VOC および特定のガス状汚染物質 |
生物医学 |
実験エリアと生産エリア |
汚染源に基づいてフィルター媒体を選択する |
研究室 |
化学実験とクリーンラボ |
酸性、アルカリ性、VOC |
クリーンルーム |
MAUフレッシュエアシステム |
AMC 分子状汚染物質 |
半導体製造プロセスでは、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、拡散などのプロセス領域でさまざまな種類の化学物質が使用されることがあります。したがって、大気分子汚染物質の制御は実際のプロセスに基づいて設計する必要があります。
平らに折りたためるマイクロプリーツ AMC ケミカルフィルターは、MAU の外気側で使用でき、汚染物質の種類に応じて対応するフィルター素材が選択されます。
外気→MAU前濾過→化学濾過→温湿度処理→クリーンルーム
半導体プロジェクトの場合、汚染物質検出データに基づいて、853、147、875 または複合化学フィルター材料をさらに選択できます。
VOC は、MAU 化学濾過用途における一般的な汚染物質の 1 つです。
VOC は以下から発生する可能性があります。
外気→建材→塗料→洗浄剤→有機溶剤→技術資材
853 (2750) フィルター材は主に VOC 方向に使用され、トルエンなどの揮発性有機汚染物質にも使用できます。また、SO₂、NO₂、オゾン、硫黄酸化物、ホウ素に対する特定の処理能力も備えています。
酸性ガスには、HCl、HF、H2SO4、SO2、NO2 などが含まれます。
875 (2751) フィルター材は主に酸性汚染物質に使用されますが、SO2、NO2、オゾン、H2S などのガス状汚染物質にも使用できます。
酸性ガス → 875(2751) → 化学吸着 → MAU外気処理
アルカリ性ガス状汚染物質には、主にアンモニア、アミン、NMP が含まれます。
147(2752) フィルター材は主に BASE アルカリ性ガスの方向に使用され、一部の VOC 汚染物質にも使用できます。
アルカリガス → 147(2752) → MAU化学濾過 → クリーンルーム外気処理
寸法W×H×D |
処理風量 |
空気抵抗 |
風速 |
|---|---|---|---|
592×592×90mm |
3400CMH / 2000CFM |
190Pa |
2.5m/秒 |
287×592×90mm |
1700CMH / 1000CFM |
190Pa |
2.5m/秒 |
490×490×90mm |
2370CMH / 1400CFM |
190Pa |
2.5m/秒 |
490×592×90mm |
2800CMH / 1650CFM |
190Pa |
2.5m/秒 |
592×592×150mm |
3400CMH / 2000CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
287×592×150mm |
1700CMH / 1000CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
490×490×150mm |
2370CMH / 1400CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
490×592×150mm |
2800CMH / 1650CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
485×800×150mm |
3500CMH / 2060CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
800×890×150mm |
6400CMH / 3770CFM |
150Pa |
2.5m/秒 |
上記の寸法は標準以外のカスタマイズをサポートしており、MAU 空気量、設置サイズ、システムの許容抵抗に応じて調整できます。
ケミカルフィルターの選択では、汚染物質と空気処理システムの両方を考慮する必要があります。
MAU風量 → 設置サイズ → フィルター深さ → 汚染物質の種類 → 汚染物質濃度 → 温度 → 湿度 → 許容抵抗 → 使用サイクル
お客様は以下を提供できます。
MAU風量 → フィルタサイズ → 設置深さ → 対象汚染物質 → 汚染物質濃度 → 温度 → 相対湿度 → 交換サイクル → 設置方法
これらのパラメータに基づいて、化学フィルターの種類、フィルターの厚さ、フィルターのサイズ、システム抵抗を決定できます。
ケミカルフィルターの耐用年数は、実際の汚染負荷と密接に関係しています。
影響を与える要因には次のようなものがあります。
汚染物質濃度 → 風量 → 温度 → 湿度 → 濾材種類 → 濾材充填量 → 連続運転時間
同じフィルター材でもプロジェクトによって実際の耐用年数は異なる場合があるため、交換サイクルは現場の空気の質と運転条件に基づいて判断する必要があります。
アイリ工業は約30,000平方メートルの生産拠点を有し、ファン、モーター、制御システム、板金からフィルター、浄化装置に至るまでの生産システムを形成しています。
ケミカルフィルタ製品は、MAU、FFUなどの空気処理装置の設置条件に合わせた製品設計が可能で、汚染物質の種類に応じて対応するケミカルフィルタの材質を選択できます。
Aili Industrial は、FFU、EFU、BFU、HEPA フィルター、ULPA フィルター、ケミカル フィルター、空気浄化装置も製造しており、クリーン ルーム プロジェクトの空気処理ニーズに応じて適合する装置を提供できます。
汚染物質の種類 → ケミカルフィルター材質 → フィルター構造 → MAUシステム → FFUエンド → クリーンルーム空気処理
フラットプリーツマイクロプリーツAMCケミカルフィルターは、カスタマイズされた生産をサポートします。
サイズカスタマイズ → 深さカスタマイズ → フィルター材質カスタマイズ → フレームカスタマイズ → シールカスタマイズ → 保護ネットカスタマイズ → 風量マッチング
カスタマイズ可能な項目は次のとおりです。
フィルター長さ → フィルター幅 → フィルター深さ → ケミカルフィルター材質 → 活性炭目付 → 枠材質 → シール材 → 保護ネット → 設置方法
半導体、エレクトロニクス、その他のクリーンルーム プロジェクトの場合、特定の汚染物質と MAU システム パラメータに基づいて構成を構成できます。
平板型プリーツマイクロプリーツケミカルフィルターは、プリーツ状のケミカルフィルター材構造を用いた空気分子汚染物質フィルターです。主にVOC、酸性ガス、アルカリ性ガス、オゾン、その他のガス状汚染物質の制御に使用されます。
主にMAU空気処理ユニット、外気システム、クリーンルーム空気処理装置で使用されます。システム構成に応じて他の空調セクションにも設置可能です。
HEPA は主に空気中の粒子状物質をターゲットとするのに対し、ケミカル フィルターは主にガス状の分子汚染物質をターゲットとします。
HEPA→粒子状物質
ケミカルフィルター → ガス状分子汚染物質
853 (2750) は主に VOC に使用されますが、SO2、NO2、オゾン、硫黄酸化物、ホウ素などの汚染物質にも使用できます。
147(2752) は主にアンモニア、アミン、NMP、その他のアルカリ性ガス状汚染物質に使用されますが、一部の VOC にも使用できます。
875 (2751) は主に HCl、HF、H2SO4 などの酸性汚染物質に使用されますが、SO2、NO2、オゾン、H2S にも使用できます。
できる。本製品は半導体クリーンルームにおけるMAU外気処理に使用でき、実際の汚染物質の種類に応じて対応するケミカルフィルター材質を構成できます。
できる。フィルターのサイズ、深さ、フィルター媒体、フレーム、シーリング方法はすべて、MAU 機器とプロジェクトの要件に応じてカスタマイズできます。
寿命は汚染物質濃度、処理風量、温度、湿度、ろ過材の種類、充填量などに関係し、実際の使用条件に基づいて評価する必要があります。
まずMAU風量と設置サイズを決定し、次に汚染物質の種類と濃度を確認し、853(2750)、147(2752)、875(2751)または複合フィルター材を選択し、フィルター抵抗と寿命を計算します。
できる。 Aili Industrial 製品は、FFU、EFU、BFU、HEPA、ULPA、ケミカルフィルターおよびさまざまな浄化装置をカバーしており、クリーンルームプロジェクトに応じて空気処理装置と組み合わせることができます。
MAU風量 → フィルターサイズ → フィルター深さ → 汚染物質の種類 → 汚染物質濃度 → 温度と湿度 → 許容抵抗
上記のパラメータを指定した後、実際の作業条件に応じて平板プリーツマイクロプリーツ AMC ケミカルフィルターを選択し、カスタマイズできます。
Aili Industryはを提供できます。 、MAUケミカルフィルター、AMCケミカルフィルター、VOCケミカルフィルター、酸性ガスフィルター、アルカリ性ガスフィルター、FFU対応ケミカルフィルター。