整数以外の ISO グレードはどのように理解すべきですか?

プロジェクト内で ISO 6.5 や ISO 7.5 などの注釈が使用されることがあります。初めてこれを見た人はよく驚かれます。ISO グレードは整数ではないのですか?なぜ小数があるのでしょうか?

これは存在しますが、デバイスのモデルや単に追加できる番号ではありません。 非整数レベルは、整数レベル間の粒子濃度制御目標を表します。これを使用するプロジェクトは通常、整数グレードが緩すぎるか狭すぎると感じており、作成のニーズにより正確に対応したいと考えています。

これを理解するには、ISO 14644 自体の評価ロジックに戻る必要があります。

それはどこから来たのですか

ISO 14644-1 分類表では、各整数グレードが一連の濃度限界に対応しています。ただし、これらの制限は連続的ではなく、ISO 5 と ISO 6 の間にはギャップがあります。

一部のプロセスにおける粒子の要件は、まさにこのギャップに当てはまります。たとえば、特定の機器メーカーは、0.1 μm 以上の粒子の濃度が特定の値を超えてはならないことを要求する場合があります。この値は ISO 6.2 や ISO 6.5 などの中間値に相当する ISO 口径に変換されます。

したがって、非整数レベルは本質的に濃度限界を連続的に表現する方法です。これは標準の追加レベルではなく、採点式から推定される中間点です。

これを理解すると、使い方がわかります。

まず、プロジェクトが中間目標を使用する理由を確認します。

すべての非整数等級が十分に根拠があるわけではありません。同僚から数字を聞いたことがある人もいるかもしれませんし、機器サプライヤーから契約に厳しい要件が書き込まれている人もいるかもしれません。

整数以外の評定リクエストを受け取った場合は、次のような質問をしてください。この評定はどこから来たのか?それは機器仕様の元の要件ですか、それとも標準文書への参照ですか?具体的な濃度限界とその背後にある粒子サイズは何ですか?

相手がソースを明確に説明できず、「厳密にしたほうが安全」とだけ考えている場合は、非整数レベルを頭で決めてしまう可能性があります。この場合、プロセス自体に立ち戻り、実際の粒子制御の目的を確認してから、中間グレードが必要かどうかを判断する必要があります。

それが装置の仕様または顧客の合意に基づくものである場合は、対応する粒子サイズ、濃度限界、および試験ステータスを文書化してください。これらは、その後の選択と承認の基礎となります。

検査・検収の方法

非整数レベルの検出方法は整数レベルの場合と本質的に変わりませんが、判定限界が異なります。

粒子サイズを最初に決定する必要があります。非整数グレード自体は粒子サイズを指定するものではなく、特定の粒子サイズに対応する濃度限界です。プロジェクト文書には、次の事項を記載する必要があります: どの粒子サイズでの最大許容濃度はどれくらいか? ISO 6.5 とだけ書くと、検査官はどの粒子サイズを判断すればよいのかわかりません。

ステータスはクリアになっているはずです。静的、動的、それとも空ですか?非整数レベルは通常、正確な粒子制御が必要なシナリオで使用されます。実際の結果は状況により大きく異なる場合があります。

試験方法は規格に準じます。サンプリング ポイントのレイアウト、サンプリング量、および機器の選択は、引き続き ISO 14644-1 の規則に従って実装されます。非整数レベルはテスト方法を変更せず、判定限界のみを変更します。

報告書には、制限値の根拠を示す必要があります。受入報告書には、「ISO 6.5 に達している」ことに加えて、このグレードに対応する濃度限界と粒子サイズも記載する必要があります。これにより、レビュー時に判断根拠を確認することができます。

「清浄度レベルと濾過効率の違いは何ですか?」で述べたように、 スペースレベルとフィルター効率は別のものです。非整数レベルを受け入れるには、製品情報と宇宙テスト結果を個別に記録する必要があります。

機器構成は数値から直接導かれるものではありません

整数以外のレベルを取得した場合、数値の大きさに直接基づいて装備を選択することはできません。

目標濃度は実際の投入量です。非整数レベルに対応する濃度限界は、機器構成の開始点です。許容濃度、面積、汚濁負荷、空気流パターンが分かるだけで、必要な空気供給量と濾過効率を計算できます。

整数レベルは参照として使用できます。非整数レベルが整数レベルに近い場合は、整数レベルの共通構成スキームを参照できます。ただし、最終的な構成は実際の濃度目標に基づいて計算する必要があり、直接適用することはできません。

選択をフィルターして特定のデータを表示する。 HEPA および ULPA フィルターの ページには、さまざまなレベルの製品の効率と抵抗のパラメーターが含まれています。選ぶ際はグレード名だけでなく、目標風量での車種の性能をご確認ください。

空気供給装置は作動点に適合している必要があります。フィルターの抵抗はファンの動作点に影響します。 FFU クリーン エア供給製品 ページには、標準製品およびカスタマイズされたソリューションのインターフェース説明書が記載されています。装置側の局所浄化についてはこちらをご参照ください。 EFU装置側ファンフィルターユニット。

制御システムはゾーンごとに構成されます。異なるエリアのレベル要件が異なる場合、制御システムはゾーンごとに調整できなければなりません。 FFUグループ管理システムは、 地域別・時間帯別の運用戦略を設定できます。

Aili Industrial は、モーター、ファン、制御システム、板金、エアフィルター、および完全な機械アセンブリの製造能力を備えています。非整数レベルのプロジェクトに取り組む場合、同じプロジェクト条件下でターゲット濃度、フィルター抵抗、ファン動作点、構造インターフェースをチェックして、機器構成と制限要件が一貫していることを確認できます。

契約書に何を書くか

非整数レベルをコントラクトに書き込む場合は、いくつか注意すべき点があります。

グレードと対応する制限を記載します。 ISO 6.5 を記述するだけでは十分ではありません。このグレードに対応する粒子サイズと濃度の制限もリストする必要があります。さまざまなソースからの変換はわずかに異なる場合があるため、明確に記述することで論争を避けることができます。

引用元を示します。評価が機器の仕様または業界標準に基づいている場合は、文書番号とバージョンを示します。後で疑問が生じた場合は、十分に文書化されます。

州と地域は個別に記載されています。非整数レベルが測定される条件と、それがどの領域に対応するかを明確に記載する必要があります。

受付方法は双方で取り決めます。試験基準、サンプリング方法、判定ルールは契約書に定められています。 数百、数千、一万のクラスは、 ISO グレードで言及されている完全な表現方法にどのように対応しますか?同じことが非整数グレードにも当てはまります - 標準、粒子サイズ、状態、面積、どれも欠けることはできません。

シーン判定

半導体装置メーカーでは、装置内の0.1μm以上のパーティクル濃度が一定値を超えないことを装置仕様に定めています。 ISO口径に換算すると、おおよそISO 5.5に相当します。

プロジェクトチームは、ISO 5 や ISO 6 に従って装置を直接構成するのではなく、装置仕様書にある独自の濃度制限値を入力として、対象エリアの空気供給量と濾過効率を計算し、装置内の利用可能なスペースを検証しました。最終的に構成された EFU は、目標空気量の下で制限要件を満たします。

別のプロジェクトでは契約書に ISO 6.5 が含まれていましたが、粒子サイズとステータスは記載されていませんでした。受入検査の際、両者の試験条件に関する認識に齟齬が生じたため、後に技術協定を補足して問題を解決した。

これら 2 つの状況は、非整数レベルの理解は特定の濃度限界とテスト条件に当てはまらなければならないことを示しています。

選定と受入検査のポイント