폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까?

폐쇄형 장비는 캐비티 공간이 작고 메커니즘이 많으며 개구부가 제한되어 있습니다. 내부 먼지 발생, 열원, 조작기 차단, 배기 전환, 문 열림 유지 관리 등의 변수가 동시에 존재하는 경우가 많습니다. 이러한 상황에서의 부분적인 청소는 단순히 캐비티 위에 팬이나 고효율 필터를 설치하는 것만으로는 해결될 수 없습니다.

깨끗한 공기가 어디서 들어오는지, 무엇을 통과하는지, 누구를 보호하는지, 어디서 나오는지, 어떤 상태에서 검증되는지 등이 기획의 핵심이다. 몇 가지 실용적인 측면부터 시작해 보겠습니다.

먼저 캐비티 경계와 보호 개체를 정의합니다.

계획을 세우기 전에 제품, 기관 또는 전체 장치를 보호할지 여부를 결정하십시오. 웨이퍼, 정밀 부품, 광학 부품, 로봇 이동 영역을 보호하기 위한 것입니까? 전체 캐비티를 제어하는 ​​것인가요, 아니면 로컬 워크스테이션만 보호하는 것인가요?

경계가 다르면 공기 공급 방향, 필터 위치, 풍속 및 샘플링 지점이 달라집니다. 제품이 공동에 지속적으로 노출되는 경우 보호 범위는 실제 전송 경로를 포함해야 합니다. 특정 작업장에서 짧은 시간 동안만 노출되는 경우 국소 공기 공급을 평가할 수 있습니다. 전체 캐비티를 수행할지 아니면 일부만 수행할지 확실하지 않은 경우 먼저 볼 수 있습니다. 방 전체 정화와 부분 정화 중에서 선택하는 방법은 무엇입니까 ? 프로그램 수준에서 선택 논리를 명확히 한 다음 캐비티에 구현합니다.

위험한 먼지, 증기 또는 바이오에어로졸이 포함된 경우 깨끗한 공기 공급은 전용 배기, 격리 또는 안전 보호 장비를 대체할 수 없습니다. 이 경우 먼저 안전 요구 사항에 따라 보호 계획을 결정한 다음 청정 공기 공급 패키지를 고려해야 합니다.

내부 먼지 발생 및 외부 입력 식별

폐쇄된 챔버의 오염원에는 일반적으로 기계적 마모, 케이블 마찰, 고정 장치 이동, 자재 도입, 직원 개방 도어, 잔류 먼지 축적, 열 기둥 및 공정 배기가 포함됩니다. 단순히 필터 효율을 향상시키는 것만으로는 하류 먼지 발생이나 씰 바이패스 문제를 해결할 수 없습니다.

상류 오염과 하류 오염을 구별하기 위해 캐비티 다이어그램에 오염원을 표시하는 것이 좋습니다. 깨끗한 공기는 먼저 민감한 제품을 통과한 다음 오염원을 통과하고 최종적으로 배출되어야 합니다. 공기가 먼지 발생 장치를 먼저 통과한 다음 제품 쪽으로 불어서는 안 됩니다.

제어 가능한 공기 흐름 경로 설계

공기 흡입구만 있고 적절한 배출구가 없으면 공기 흐름이 질서정연하게 틈새에서 좌초되거나 배출됩니다. 닫힌 공동은 명확한 경로를 형성해야 합니다.

• 공기 흡입구: 필터링된 공기가 유입되는 위치와 통과 여부를 확인합니다. HEPA 및 ULPA 필터 , 입구가 배경 오염의 영향을 받는지 여부.

• 적용 범위: 깨끗한 공기가 제품, 웨이퍼 또는 민감한 표면에 먼저 도달하도록 하고 로봇, 고정 장치 및 파이프라인에 의해 막히지 않도록 하십시오.

• 배기: 배기, 압력 ​​완화 통풍구, 복귀 공기 채널 및 틈새를 점검하여 공급 공기와 공정 배기가 공기량과 경쟁하지 않도록 하십시오.

• 압력차: 배경 공기가 역류하는 것을 방지하기 위해 압력차 방향을 사용하지만, 프로세스, 안전 및 장비 요구 사항에 따라 압력차 목표를 결정해야 하며 고정된 값을 적용하는 것은 적절하지 않습니다.

EFU, FFU, 필터 및 그룹 제어를 일치시키는 방법은 무엇입니까?

일반적으로 사용되는 장비측 폐쇄 캐비티 EFU 장비측 팬 필터 장치는 장비에 통합하기가 더 쉽기 때문에 공간이 제한되고 국부적인 보호가 필요한 위치에 적합합니다. 실내의 배경 공기 공급은 종종 다음과 같이 제공됩니다. FFU 청정 공기 공급 제품이 이를 담당합니다. 두 가지가 협력할 수 있지만 보호 경계, 풍력 소스 및 제어 연결이 각각 명확하게 정의되어야 합니다. 이러한 분업의 논리는 다음과 같다. 장치측 EFU와 룸 FFU 간의 업무 분담 에 대한 자세한 설명이 있습니다 .

단지 공칭 공기량만을 보고 선택해서는 안 됩니다. 필터의 작동점, 외부정압, 필터저항, 설치치수, 씰링방법, 유지관리 방향 등을 확인해야 합니다. 캐비티에 여러 개의 EFU 세트가 있거나 작업, 분할, 경보 및 에너지 절약 작동이 필요한 경우 결합할 수 있습니다. FFU 그룹 제어 시스템은 통합 관리를 제공합니다.

필터 선택은 목표 입자 크기 및 청정도 수준에 부합해야 합니다.HEPA 및 ULPA 필터 페이지에는 다양한 수준의 제품에 대한 매개변수가 있습니다. 선정시에는 목표 풍량에서 특정 모델의 효율을 확인하시기 바랍니다. 공간 등급과 필터 효율성의 차이가 여전히 불분명하다면 다음을 읽어보세요. 청정도와 여과효율의 차이는 무엇입니까 ? 선택할 때 두 개념을 함께 혼합하지 마십시오.

설치 위치는 장애물이 없는 곳이어야 하며, 필터 엘리먼트 교체 및 유지 관리가 편리한 곳이어야 합니다. 장비를 너무 높거나 안쪽으로 너무 멀리 설치하면 유지 관리가 번거로워집니다. 이 점은 유지 관리 채널이 부족하여 나중에 비용이 증가할 것인지에 대한 보다 구체적인 비용 분석이 있습니다 .

압력차, 도어 열림 상태 및 내부 메커니즘

장비 도어 열기, 유지 관리, 배기 전환 및 조작기 움직임으로 인해 캐비티 압력 차이와 공기 흐름 방향이 변경됩니다. 계획할 때 정상 작동 중에 누가 먼저 시작하고 정지하는지, 도어를 열 때 속도를 늦추거나 경보를 울리는지, 유지보수 후 복원 방법을 명확하게 해야 합니다. 연결 논리가 없으면 문이 열리는 순간 배경 공기가 민감한 영역으로 유입될 수 있습니다.

매니퓰레이터가 신장, 복귀 및 대기할 때 공기 공급 표면을 막아 후류 흐름 또는 국부적 역류를 유발할 수 있습니다. 열원은 공기를 들어 올리고 배기 장치는 보호 공기 흐름을 제거합니다. 검증은 단지 캐비티의 정적 상태를 측정하는 것이 아니라 실제 움직임을 포괄해야 합니다.

확인 및 일반적인 오해

닫힌 캐비티를 단계별로 확인하는 것이 좋습니다.

• 설치 후 필터 씰과 바이패스 누출을 점검하십시오.

• 풍량, 풍속, 압력차 및 공기 흐름 방향을 측정합니다.

• 매니퓰레이터 이동, 도어 열림, 배기 전환 등의 공기 흐름을 관찰하십시오.

• 합의된 입자 크기, 샘플링 위치 및 작동 상태에 따라 입자 탐지를 수행합니다.

• 복구 시간을 기록하고 예외 발생 후 보호 상태로 복귀할 수 있는지 확인합니다.

일반적인 오해는 다음과 같습니다: 공기 흐름 배출구를 설계하지 않고 필터만 설치합니다. 필터를 사용하여 작업 지점을 확인하지 않고 EFU의 공칭 공기량만 확인합니다. 정적 조건만 측정하고 도어 열림 및 메커니즘 움직임은 측정하지 않습니다. 청결을 보장하기 위해 닫힌 껍질을 취급합니다. 현장 청정도 검증 대신 필터 효율성을 활용합니다.

프로젝트 판단 예

특정 장비의 공동 내부에는 로봇이 있습니다. 원래 계획에서는 상단에 EFU 1개만 설치했습니다. 정풍속은 정상이었으나, 생산 중 제품 위치에 파티클이 간헐적으로 나타났습니다. 조사 결과, 매니퓰레이터가 확장되어 공기 공급 표면의 일부를 막았으며 제품은 막힌 부분 뒤의 취약한 보호 구역에 위치한 것으로 나타났습니다.

조정 방법: 깨끗한 공기가 먼저 제품을 통과한 다음 매니퓰레이터 이동 영역을 통과할 수 있도록 EFU 위치를 약간 이동합니다. 문 열림 연결을 늘리고, 문을 열 때 속도를 낮추고 경보를 울리고, 문을 닫은 후 다시 시작하세요. 조정 후 풍속을 다시 측정한 결과, 보호 구역의 공기 흐름이 다시 안정되었습니다.

또 다른 프로젝트에서는 캐비티 공간이 부족해 EFU를 장비 측면에 설치하고 공기 공급 방향을 작동 위치와 일치시켰다. 설치 후 풍속과 적용 범위를 확인하여 요구 사항이 충족되는지 확인하십시오.

이 두 가지 상황은 폐쇄된 공동의 국부적인 청소, 장비 선택 및 위치 조정을 함께 고려해야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

Aili Industry는 모터 제조, 독자적인 연구 개발 및 팬 생산, 제어 시스템 개발, 판금 가공, 공기 필터 제조 및 전체 기계 조립을 다루고 있습니다. 폐쇄형 장비 캐비티 프로젝트의 경우 EFU, FFU, HEPA/ULPA 필터, 그룹 제어 시스템, 공기량, 정압 및 설치 인터페이스를 균일하게 확인하여 장비 구성을 현장 평가 경계와 연결하고 구성 요소 매개변수와 전체 기계 작동 조건 간의 단절을 줄일 수 있습니다.

배우다 EFU 장비 측 팬 필터 장치；FFU 청정 공기 공급 제품；HEPA 및 ULPA 필터；FFU 그룹 제어 시스템은 설치 공간, 작동 조건 및 필터링된 공기 공급 구성을 확인합니다.

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