Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume?

Geschlossene Geräte haben einen kleinen Hohlraum, viele Mechanismen und begrenzte Öffnungen. Variablen wie interne Staubentwicklung, Wärmequellen, Manipulatorblockierung, Abluftumschaltung und Türöffnungswartung treten häufig gleichzeitig auf. Eine teilweise Reinigung unter solchen Bedingungen kann nicht durch die einfache Installation eines Ventilators oder eines Hochleistungsfilters über dem Hohlraum gelöst werden.

Wo die saubere Luft einströmt, was sie durchströmt, wen sie schützt, wo sie austritt und in welchem ​​Zustand sie überprüft wird, sind der Kern der Planung. Beginnen wir mit einigen praktischen Aspekten.

Definieren Sie zunächst die Hohlraumgrenzen und Schutzobjekte

Entscheiden Sie vor der Planung, ob Sie das Produkt, die Einrichtung oder das gesamte Gerät schützen möchten. Sollen Wafer, Präzisionsteile, optische Komponenten oder der Bewegungsbereich des Roboters geschützt werden? Soll der gesamte Hohlraum kontrolliert werden oder nur eine lokale Workstation geschützt werden?

Unterschiedliche Grenzen führen zu unterschiedlichen Luftzufuhrrichtungen, Filterstandorten, Windgeschwindigkeiten und Probenahmepunkten. Wenn das Produkt ständig im Hohlraum freiliegt, sollte der Schutzumfang den tatsächlichen Übertragungsweg abdecken; Wenn es an einem bestimmten Arbeitsplatz nur für kurze Zeit exponiert ist, kann die örtliche Luftversorgung beurteilt werden. Wenn Sie sich nicht sicher sind, ob Sie die gesamte Kavität oder nur einen Teil davon bearbeiten sollen, können Sie zunächst einen Blick darauf werfen Wie kann man zwischen der Reinigung des gesamten Raums und der teilweisen Reinigung wählen ? Klären Sie die Auswahllogik auf Programmebene und implementieren Sie sie dann im Hohlraum.

Wenn gefährliche Stäube, Dämpfe oder Bioaerosole im Spiel sind, kann die Versorgung mit sauberer Luft keine spezielle Absaug-, Isolations- oder Sicherheitsausrüstung ersetzen. In diesem Fall ist es notwendig, zunächst den Schutzplan entsprechend den Sicherheitsanforderungen festzulegen und dann das Paket für die Reinluftversorgung zu berücksichtigen.

Identifizieren Sie die interne Staubentwicklung und externe Einträge

Zu den Kontaminationsquellen in geschlossenen Kammern zählen in der Regel: mechanischer Verschleiß, Kabelreibung, Vorrichtungsbewegungen, Materialeinführung, das Öffnen von Türen durch Personal, Reststaubansammlung, thermische Schwaden und Prozessabgase. Eine bloße Verbesserung der Filtereffizienz kann das Problem der nachgeschalteten Staubentwicklung oder des Dichtungsbypasses nicht lösen.

Es wird empfohlen, die Verschmutzungsquellen im Hohlraumdiagramm zu markieren, um zwischen stromaufwärtiger und stromabwärtiger Verschmutzung zu unterscheiden. Saubere Luft sollte zuerst durch empfindliche Produkte strömen, dann durch die Verschmutzungsquelle strömen und schließlich abgeführt werden; Die Luft darf nicht zuerst durch den Stauberzeugungsmechanismus strömen und dann in Richtung des Produkts blasen.

Entwerfen Sie kontrollierbare Luftstrompfade

Wenn nur Luft angesaugt wird, aber kein vernünftiger Auslass vorhanden ist, wird der Luftstrom stagnieren oder in geordneter Weise aus den Lücken austreten. Geschlossene Hohlräume sollten freie Wege bilden:

• Lufteinlass: Bestätigen Sie, wo die gefilterte Luft eintritt und ob sie durchströmt HEPA- und ULPA-Filter , ob der Einlass durch Hintergrundverschmutzung beeinträchtigt ist.

• Abdeckung: Lassen Sie die saubere Luft zuerst das Produkt, den Wafer oder die empfindliche Oberfläche erreichen und vermeiden Sie eine Blockierung durch Roboter, Vorrichtungen und Rohrleitungen.

• Abluft: Überprüfen Sie die Abluft, Druckentlastungsöffnungen, Rückluftkanäle und Lücken, um zu verhindern, dass Zuluft und Prozessabluft um Luftvolumen konkurrieren.

• Druckdifferenz: Verwenden Sie die Richtung der Druckdifferenz, um zu verhindern, dass Hintergrundluft zurückfließt. Der Druckdifferenzzielwert sollte jedoch entsprechend den Prozess-, Sicherheits- und Geräteanforderungen bestimmt werden und es ist nicht angemessen, einen festen Wert anzuwenden.

Wie passen EFU, FFU, Filter und Gruppensteuerung zusammen?

Häufig genutzt werden geräteseitig geschlossene Hohlräume Die geräteseitige Lüfterfiltereinheit von EFU eignet sich aufgrund ihrer einfacheren Integration in das Gerät für Standorte, an denen der Platz begrenzt ist und ein lokaler Schutz erforderlich ist. Die Hintergrundluftversorgung im Raum erfolgt häufig durch die FFU-Produkte zur Luftreinhaltung verantwortlich. Dafür sind Beide können zusammenarbeiten, allerdings müssen die Schutzgrenzen, die Windquellen und die Steuerungsverknüpfung jeweils klar definiert sein. Die Logik dieser Arbeitsteilung liegt darin Zur Arbeitsteilung zwischen geräteseitiger EFU und raumseitiger FFU gibt es eine ausführlichere Erläuterung .

Bei der Auswahl sollte nicht nur auf die Nennluftmenge geachtet werden. Es ist notwendig, den Arbeitspunkt mit Filter, externen statischen Druck, Filterwiderstand, Installationsabmessungen, Dichtungsmethode und Wartungsrichtung zu überprüfen. Wenn der Hohlraum über mehrere EFU-Sätze verfügt oder ein betriebsbereiter, unterteilter, alarmierter und energiesparender Betrieb erforderlich ist, kann er kombiniert werden Das FFU-Gruppenkontrollsystem sorgt für eine einheitliche Verwaltung.

Die Filterauswahl sollte der Zielpartikelgröße und dem Reinheitsgrad entsprechen.Die HEPA- und ULPA-Filterseiten verfügen über Parameter für verschiedene Produktstufen. Überprüfen Sie bei der Auswahl die Effizienz des jeweiligen Modells bei der Zielluftmenge. Wenn Sie sich über den Unterschied zwischen Platzbedarf und Filtereffizienz noch nicht im Klaren sind, können Sie hier nachlesen Was ist der Unterschied zwischen Reinheitsgrad und Filtrationseffizienz ? Vermeiden Sie es, die beiden Konzepte bei der Auswahl zu vermischen.

Der Installationsort sollte frei von Hindernissen sein und für den Austausch und die Wartung des Filterelements geeignet sein. Wenn das Gerät zu hoch oder zu weit im Inneren installiert ist, wird die Wartung problematisch. Dieser Punkt ist welche späteren Kosten aufgrund unzureichender Wartungskanäle steigen . Es erfolgt eine genauere Kostenanalyse,

Druckdifferenz, Türöffnungsstatus und interner Mechanismus

Das Öffnen der Gerätetür, die Wartung, das Umschalten der Abgase und Manipulatorbewegungen verändern die Druckdifferenz im Hohlraum und die Richtung des Luftstroms. Bei der Planung sollte klar sein, wer im Normalbetrieb zuerst startet und stoppt, ob beim Öffnen der Tür abgebremst oder ein Alarm ausgelöst werden soll und wie nach der Wartung wiederhergestellt werden soll. Ohne Verknüpfungslogik kann bereits beim Öffnen der Tür Hintergrundluft in den sensiblen Bereich gelangen.

Wenn der Manipulator ausfährt, zurückkehrt und wartet, kann er die Luftzufuhroberfläche blockieren und so eine Nachströmung oder einen lokalen Rückfluss verursachen. Die Wärmequelle hebt die Luft an und der Auslass entfernt den schützenden Luftstrom. Die Überprüfung sollte reale Bewegungen abdecken und nicht nur den statischen Zustand der Kavität messen.

Überprüfung und häufige Missverständnisse

Es wird empfohlen, den geschlossenen Hohlraum schrittweise zu überprüfen:

• Filterdichtungen und Bypass-Lecks nach der Installation prüfen;

• Luftmenge, Windgeschwindigkeit, Druckdifferenz und Luftströmungsrichtung messen;

• Beobachten Sie den Luftstrom während der Bewegung des Manipulators, beim Öffnen der Tür, beim Umschalten der Abluft usw.;

• Führen Sie die Partikelerkennung entsprechend der vereinbarten Partikelgröße, dem Probenahmeort und dem Betriebsstatus durch;

• Notieren Sie die Wiederherstellungszeit und bestätigen Sie, ob nach der Ausnahme der Schutzstatus wiederhergestellt werden kann.

Zu den häufigen Missverständnissen gehört: Nur Filter installieren, ohne Luftauslässe zu entwerfen; nur Betrachtung des Nennluftvolumens der EFU ohne Betrachtung des Arbeitspunktes mit Filter; Es werden nur die statischen Bedingungen gemessen, nicht jedoch die Türöffnung und die Bewegung des Mechanismus. eine geschlossene Hülle als Garantie für Sauberkeit betrachten; Verwendung der Filtereffizienz anstelle der Überprüfung des Sauberkeitsgrads vor Ort.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Im Hohlraum einer bestimmten Ausrüstung befindet sich ein Roboter. Der ursprüngliche Plan sah nur eine EFU auf der Oberseite vor. Die statische Windgeschwindigkeit war normal, jedoch traten während der Produktion gelegentlich Partikel am Produktstandort auf. Die Untersuchung ergab, dass der Manipulator herausragte und einen Teil der Luftzufuhroberfläche blockierte und sich das Produkt in der schwachen Schutzzone hinter der Blockade befand.

Einstellmethode: Verschieben Sie die EFU-Position leicht, damit saubere Luft zuerst durch das Produkt und dann durch den Bewegungsbereich des Manipulators strömen kann. Erhöhen Sie die Türöffnungsverbindung, verlangsamen Sie die Geschwindigkeit und geben Sie beim Öffnen der Tür einen Alarm aus, und fahren Sie nach dem Schließen der Tür wieder fort. Nach der Anpassung wurde die Windgeschwindigkeit erneut gemessen und die Luftströmung im Schutzgebiet stabilisierte sich wieder.

Bei einem anderen Projekt reichte der Hohlraum nicht aus, sodass die EFU an der Seite des Geräts installiert wurde, wobei die Luftzufuhrrichtung auf die Betriebsposition ausgerichtet war. Überprüfen Sie nach der Installation die Windgeschwindigkeit und die Abdeckung, um sicherzustellen, dass die Anforderungen erfüllt sind.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass die lokale Reinigung des geschlossenen Hohlraums, die Auswahl der Ausrüstung und die Positionsanpassung gemeinsam betrachtet werden müssen.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Aili Industry umfasst die Motorenherstellung, die unabhängige Forschung und Entwicklung sowie die Produktion von Ventilatoren, die Entwicklung von Steuerungssystemen, die Blechverarbeitung, die Luftfilterherstellung und die komplette Maschinenmontage. Bei Projekten mit geschlossenen Gerätehohlräumen können EFU-, FFU-, HEPA/ULPA-Filter, Gruppensteuerungssysteme, Luftvolumen, statischer Druck und Installationsschnittstellen einheitlich überprüft werden, um die Gerätekonfiguration mit den Bewertungsgrenzen vor Ort zu verbinden und die Diskrepanz zwischen Komponentenparametern und den Betriebsbedingungen der gesamten Maschine zu verringern.

lernen EFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit；FFU-Produkte für saubere Luftversorgung；HEPA- und ULPA-Filter；Das FFU-Gruppensteuerungssystem überprüft den Installationsraum, die Betriebsbedingungen und die Konfiguration der gefilterten Luftzufuhr.

→ Verstehen Sie relevante Produktparameter. → Bestätigen Sie die Bedingungen für die Geräteanpassung