Wie deckt der interne FEM-Reinigungsschutz den Wafertransferweg ab?

EFEM (Equipment Front End Module) ist der Übergangsbereich, in dem Wafer von der Ladeschnittstelle in das Innere der Prozessausrüstung gelangen. Hier werden die Waffeln ausgepackt, kommissioniert, transportiert und übergeben. Die Belichtungszeit ist lang und der Weg umfasst mehrere Orte. Der interne Clean-Schutz sollte diesen tatsächlichen Übertragungsweg abdecken und nicht nur einen bestimmten festen Punkt überprüfen.

Es misst nur den statischen Zustand der Kavität oder des Manipulators und kann nicht den sauberen Zustand während der Bewegung anzeigen. Im Folgenden werden der Übertragungsweg, die Roboterabschirmung, die Ladeschnittstelle, das Cache-Bit und die Überprüfungsmethode erläutert.

Schutzbereiche nach tatsächlichen Übertragungswegen aufteilen

Der Waferpfad innerhalb des EFEM umfasst typischerweise:

• Ladeschnittstelle und Boxöffnungsposition;

• Aufnahmeposition des Roboterarms;

• Der Zwischenstandort, über den die Übertragung erfolgt;

• Cache-Bit oder temporärer Speicherort;

• Schnittstelle zur Prozessausrüstung.

Jeder Standort hat unterschiedliche Expositionszeiten und umliegende Institutionen sowie unterschiedliche Schutzbedürfnisse. Sie sollten überprüfen, ob der Luftstrom die Waferoberfläche Schritt für Schritt entlang des Pfads bedeckt, anstatt sich nur auf eine Stelle zu konzentrieren.

Die Bewegung des Roboters kann die Luftzufuhr blockieren

Wenn der Manipulator ausfährt, zurückfährt und rotiert, ändert er den Luftstrompfad im EFEM. Die Arme können die Luftzufuhroberfläche blockieren und örtliche Wellen oder Schattenbereiche erzeugen.

Die Überprüfung sollte Folgendes umfassen:

• Der Manipulator befindet sich in einer statischen Warteposition;

• Aktionen zur Filmabholung und -veröffentlichung;

• Zwischenposition während der Übertragung;

• Wake-Effekte bei schneller Rückkehr.

Informationen zum Einfluss des Manipulators auf den Luftstrom finden Sie unter Wie können Wafer-Handling-Roboter in die Luftstromprüfung integriert werden? , Verstehen Sie die Überprüfungsmethode unter Bewegung. Informationen zur Beeinträchtigung der Luftversorgung der Werkbank durch den Betätigungsarm finden Sie unter Wie beeinträchtigt die Betätigung des Arms die Luftzufuhr zur Werkbank? Obwohl die Objekte unterschiedlich sind, sind die Mechanismen der Luftstrombehinderung ähnlich.

Die Ladeschnittstelle ist der Schwachpunkt der Grenze

Die Ladeschnittstelle verbindet das EFEM mit der Außenumgebung und stellt eine Schwachstelle in der Luftstromgrenze dar. Wenn das FOUP die Tür öffnet, kann der Luftstrom an der Schnittstelle seine Richtung ändern und Außenluft eindringen.

Muss bestätigt werden:

• Ob der Luftstrom beim Öffnen der Tür in das EFEM zurückfließt;

• Gibt es einen lokalen schützenden Luftstrom um die Schnittstelle herum?

• Ist die Grenzflächendruckdifferenz stabil?

• Ob die Bewegung des Türkörpers den internen Luftstrom beeinflusst.

Informationen zur Schutzanordnung des FOUP-Türöffnungsbereichs finden Sie unter Wie sorgt man für einen lokalen Schutzluftstrom im Öffnungsbereich der FOUP-Tür? , verstehen Sie die lokalen Schutzmethoden an der Schnittstelle.

Schutz von Cache-Bits und Staging-Speicherorten

Der Wafer kann für einen bestimmten Zeitraum in einem Cache oder einem Bereitstellungsort verbleiben. Ob der Luftstrom während der Verweildauer die Waferoberfläche bedeckt, bestimmt, ob sich die Partikel wahrscheinlich absetzen.

Muss bestätigt werden:

• Ob sich der Cache-Standort innerhalb des Luftversorgungsabdeckungsbereichs befindet;

• Ist der Luftstrom während des Aufenthalts stabil?

• Ob sich die Stoppposition in der Nähe des stauberzeugenden Mechanismus befindet;

• Ob ein lokaler verstärkter Schutz erforderlich ist.

Die kontinuierlichen Schutzanforderungen des Wafer-Pufferbereichs finden Sie unter Benötigt der Wafer-Pufferbereich eine kontinuierliche Versorgung mit sauberer Luft? , Naturschutzaspekte im Aufenthaltsstaat verstehen.

Luftstromorganisation an Öffnungen und Grenzen

Das Innere und Äußere von EFEM sind durch Ladeschnittstellen und andere Öffnungen verbunden. Die Lage und Größe der Öffnungen wirkt sich auf die Organisation des internen Luftstroms aus.

Sollte prüfen:

• Ob die Öffnungsposition stromabwärts des Schutzluftstroms liegt;

• Ob Leitbleche oder Luftschleier an der Öffnung;

• Ob der interne Luftstrom stabil ist, wenn sich die Öffnung ändert;

• Wird der Innendruckunterschied aufrechterhalten?

Informationen zur Öffnung und Luftstrombegrenzungsbehandlung geschlossener Gerätehohlräume finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? , um den Einfluss von Öffnungen auf den Luftstrom zu verstehen.

Konfiguration der Luftzufuhr und Filterstufe

Die geräteseitige EFU wird üblicherweise innerhalb von EFEM zur lokalen Luftversorgung eingesetzt. Der Filtergrad und die Luftzufuhrmethode sollten auf der Grundlage der Waferempfindlichkeit und der Hintergrundbedingungen bestimmt werden.

Informationen zum lokalen Schutz auf der Geräteseite finden Sie unter Die geräteseitige EFU-Lüfterfiltereinheit wählt eine Struktur basierend auf dem Geräteraum und den Luftversorgungsanforderungen. Die Auswahl der Filterebene ist verständlich HEPA- oder ULPA-Filter : Überprüfen Sie Effizienz, Größe und Installationsdichtung. Bitte beachten Sie die Raum-Hintergrundluftversorgung FFU saubere Luftversorgungsprodukte , die Logik der Arbeitsteilung zwischen den beiden ist Die Arbeitsteilung zwischen geräteseitiger EFU und raumseitiger FFU wird ausführlich erläutert.

Die Verifizierung sollte den Bewegungsvorgang abdecken

Die Überprüfung der internen Schutzwirkung von EFEM sollte während des tatsächlichen Transferprozesses des Wafers erfolgen und nicht nur durch statische Messung. Der Überprüfungsinhalt sollte Folgendes umfassen:

• Der Kornzustand des Wafers an jeder exponierten Stelle;

• Luftströmungsänderungen während der Bewegung des Manipulators;

• Der Grenzzustand, wenn die Ladeschnittstelle die Tür öffnet;

• Der Schutzeffekt während des Cache-Bit-Aufenthalts;

• Erholungszeit unter dynamischen Bedingungen.

Der Ort der Probenahmestelle sollte den tatsächlichen Ort abdecken, an dem der Wafer vorbeiläuft, und nicht direkt unter der Luftzufuhröffnung. Es kann auf das Prinzip der Probenahmepunktauswahl verwiesen werden Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen? Bitte beachten Sie die Höhenauswahl Wie wirkt sich eine Änderung der Arbeitshöhe auf die Erfassungsposition aus?。

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Der interne Hohlraumtest eines EFEM bestand den Test, es traten jedoch gelegentlich Partikel während des Wafertransferprozesses auf. Die Untersuchung ergab, dass der Manipulator beim Ausfahren einen Teil der Luftzufuhroberfläche blockierte und sich der Wafer in der Mitte in einer schwachen Schutzzone befand. Anpassungsmethode: Passen Sie die EFU-Position und die Luftzufuhrrichtung so an, dass der Waferpfad immer innerhalb der effektiven Abdeckung liegt. Dynamische Körnungsreduzierung angepasst.

Bei einer anderen Ladeöffnung für Gegenstände steigen beim Öffnen der Tür interne Partikel auf. Die Untersuchung ergab, dass der Luftstrom an der Grenzfläche rückwärts floss. Anpassungsmethode: Erhöhen Sie den lokalen Schutzluftstrom an der Schnittstelle und optimieren Sie den Türaktionsablauf. Nach der Einstellung sinkt der Partikelspitzenwert beim Öffnen der Tür.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass der interne EFEM-Schutz den tatsächlichen Übertragungsweg des Wafers abdecken muss und nicht nur den Hohlraum oder feste Punkte überprüfen kann.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Der Wafertransferpfad innerhalb von EFEM umfasst mehrere Orte für Roboterbewegungen, Öffnungsgrenzen und Pufferstopps. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und kompletten Maschinenmontageverbindungen. Es kann die EFU-Konfiguration, die Luftzufuhrrichtung, den Filtergrad und die Schnittstellenbedingungen auf der Grundlage des tatsächlichen Wafer-Übertragungspfads und des Geräteraums überprüfen und dabei helfen, den lokalen Schutz an Schlüsselpositionen während der Bewegung abzudecken, anstatt nur den Hohlraumstatus zu überprüfen. Das Ausstattungspaket können Sie einsehen EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , siehe Filterpaket. HEPA- und ULPA-Filter entnehmen Sie bitte der Raumluftversorgung FFU-Produkte für saubere Luftversorgung。