Wie sorgt man für einen lokalen Schutzluftstrom im Öffnungsbereich der FOUP-Tür?

Der FOUP-Türöffnungsbereich ist die wichtigste Schnittstelle für Wafer, um aus dem geschlossenen Behälter in die Ausrüstung zu gelangen. Wenn die Tür geöffnet wird, ist das Innere des Behälters mit der Geräteumgebung verbunden, und Außenluft, Partikel auf der Außenfläche des Behälters und Türbewegungen können den Wafer beeinflussen. Der lokale Schutzluftstrom muss Öffnungen, Waferaufnahme und -platzierung sowie angrenzende Transferstellen abdecken, um zu verhindern, dass Hintergrundluft direkt in empfindliche Pfade gelangt.

Schutzmethoden können sich nicht ausschließlich auf das Gütesiegel einer bestimmten Austrittsfläche stützen. Die Öffnungsstruktur, die Türbewegung, der Waferweg und die angrenzenden Positionen müssen gemeinsam überprüft werden.

Durch das Öffnen der Tür ändert sich die Luftstromgrenze

Wenn FOUP die Tür öffnet, verändern die Bewegung des Türkörpers, Schnittstellenspalte und interne Mechanismusaktionen die lokale Luftstromgrenze. Nachdem der ursprünglich geschlossene Behälter geöffnet wurde, wird die Innenumgebung mit der Geräteumgebung verbunden und ein Luftstrom kann durch die Öffnung ein- oder austreten.

Muss bestätigt werden:

• Ist die Luftstromrichtung beim Öffnen der Tür stabil?

• Ob es an der Schnittstelle einen Rückfluss gibt;

• Ob die Bewegung der Tür den schützenden Luftstrom stört;

• Gibt es eine Ansammlung von Partikeln um die Öffnung herum?

Informationen zu Änderungen des Luftstroms im geöffneten Zustand finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? , um den Einfluss von Öffnungen auf Luftströmungswege zu verstehen. Informationen zum Belichtungsprozess von Wafern vom Behälter bis zur Ausrüstung finden Sie unter Wie können Wafer-Handlingstationen den Staub während der Belichtung reduzieren? Kalibrieren Sie zunächst die Belichtungsdauer.

Der schützende Luftstrom sollte Öffnungen und Zugangswege abdecken

Das Ziel des lokalen Schutzes besteht darin, sicherzustellen, dass saubere Luft Öffnungen, Wafer-Entnahmestellen und Transferstartpunkte abdeckt. Wenn die Schutzreichweite nicht ausreicht, kann es passieren, dass der Wafer nach dem Verlassen des Behälters eine schwache Schutzzone durchläuft.

Muss bestätigt werden:

• Ob sich die Öffnung innerhalb des Luftversorgungsabdeckungsbereichs befindet;

• ob an dem Ort, an dem der Film aufgenommen wird, eine schützende Luftzirkulation vorhanden ist;

• Ob der erste Weg des Wafers vom Behälter zum Inneren des Geräts abgedeckt ist;

• Ob eine Schutzunterbrechung vorliegt.

Informationen zur Abdeckungsmethode des internen EFEM-Übertragungspfads finden Sie unter Wie deckt der interne Reinigungsschutz von EFEM den Wafertransferweg ab? , Verstehen Sie die Idee des Pfadschutzes.

Verhindern Sie, dass Hintergrundluft durch die Seitennähte eindringt

Zwischen dem FOUP und der Geräteschnittstelle gibt es in der Regel Seitennähte und Verbindungsteile. Diese Lücken können als Eintrittswege für Hintergrundluft dienen.

Bei der Inspektion sollten Sie auf Folgendes achten:

• Versiegelungsstatus rund um die Schnittstelle;

• Ob Luft durch die Seitennähte eindringt;

• Ist die Druckdifferenz an der Grenzfläche stabil?

• Erweitert sich der Spalt beim Öffnen der Tür?

Wenn Hintergrundluft durch Seitennähte eindringt, kann der lokale Schutzluftstrom verdünnt oder abgelenkt werden. Informationen zu Prüfmethoden zur Schnittstellenabdichtung finden Sie unter Was ist bei der Annahme von Reinigungsgeräten zu beachten? , um die Ideen zur Überprüfung des Installationsstatus zu verstehen.

Die Beziehung zwischen der Bewegung des Türkörpers und der Richtung des Luftstroms

Die Richtung und Geschwindigkeit des Türöffnens beeinflusst den lokalen Luftstrom. Eine schnelle Bewegung der Tür kann zu sofortigen Störungen des Luftstroms führen und Partikel in den Waferweg bringen.

Folgendes muss berücksichtigt werden:

• Ob die Türöffnungsrichtung zum Waferweg zeigt;

• Ob die Türöffnungsgeschwindigkeit zu Luftstromschwankungen führt;

• Ob die Tür die Luftzufuhr blockiert;

• Ob der Türöffnungszeitpunkt mit der Wafer-Entnahmeaktion koordiniert ist.

Informationen zur Koordination der Türkörperbewegung und des Luftstroms finden Sie unter Wie können Wafer-Handling-Roboter in die Luftstromprüfung integriert werden? , Verstehen Sie die Überprüfungsmethode unter Bewegung.

Bestätigen Sie die Schutzmethode basierend auf der tatsächlichen Struktur von FOUP

Verschiedene FOUP-Strukturen und Schnittstellenformen sind unterschiedlich, und die Schutzmethode muss basierend auf der tatsächlichen Situation bestätigt werden. Nur gemäß Standardschnittstellenabmessungen konzipiert, Unterschiede in der Türstruktur, den Dichtungsmethoden und den Anschlussorten können ignoriert werden.

Der Bestätigungsinhalt sollte Folgendes umfassen:

• FOUP-Modell und Schnittstellengröße;

• Türstruktur und Öffnungsmethode;

• Schnittstellenabdichtung und Verbindungsform;

• Die Anordnungsposition der Wafer im Behälter;

• Die Zusammenarbeit zwischen dem Filmaufnahmemechanismus und der Schnittstelle.

Die Beziehung zwischen der lokalen Luftzufuhr und dem Gesamtluftstrom der Maschine

Der lokale Schutz des FOUP-Türöffnungsbereichs ist Teil des gesamten Luftstroms des Geräts. Die örtliche Luftzufuhr darf weder mit der internen Luftströmung des EFEM in Konflikt geraten, noch kann sie das Druckdifferenzverhältnis der Ladeschnittstelle beeinflussen.

Muss bestätigt werden:

• Ist die lokale Luftzufuhrrichtung mit der EFEM-internen Luftzufuhrrichtung abgestimmt?

• Ob lokaler Schutz die Grenzflächendruckdifferenz beeinflusst;

• Ob der Rückluftweg die lokale Luftstromableitung unterstützt;

• Ob unabhängige Steuerung oder Verknüpfung erforderlich ist.

EFU wird üblicherweise für den teilweisen Schutz auf der Geräteseite verwendet, und die Struktur kann basierend auf dem Laderaum und den Anforderungen an die Luftversorgung ausgewählt werden. Informationen zum gesamten Luftstrom im Inneren des Geräts finden Sie unter Wie teilen sich die geräteseitige EFU und die raumseitige FFU ihre Arbeit auf ? Verstehen Sie die Kontrollarbeitsteilung zwischen der Geräteseite und der Raumseite.

Die dynamische Verifizierung umfasst die Türöffnungs- und Pick-and-Place-Prozesse

Die Überprüfung des FOUP-Türöffnungsbereichs sollte während des eigentlichen Türöffnungs- und Aufnahme- und Platzierungsprozesses und nicht nur bei statischen Tests durchgeführt werden. Der Überprüfungsinhalt sollte Folgendes umfassen:

• Veränderungen des Luftstroms und der Partikel beim Öffnen der Tür;

• Luftstromabdeckung am Ort der Filmentfernung;

• Der Pfadkornzustand des Wafers, nachdem er den Behälter verlassen hat;

• Die Wiederherstellungssituation nach dem Schließen des Türkörpers;

• Wiederholbarkeit unter dynamischen Bedingungen.

Der Ort der Probenahmestelle sollte den tatsächlichen Ort abdecken, an dem der Wafer vorbeiläuft, und nicht direkt unter der Luftzufuhröffnung. Es kann auf Probenahmemethoden verwiesen werden Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen? Bitte beachten Sie die Höhenauswahl Wie wirkt sich eine Änderung der Arbeitshöhe auf die Erfassungsposition aus?。

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Beim Öffnen des FOUP in einem bestimmten Projekt traten gelegentlich Partikel auf der Oberfläche des Wafers auf. Die Untersuchung ergab, dass Hintergrundluft in die Seitennaht der Schnittstelle eindrang und beim Öffnen der Tür Partikel in den Filmtransportweg gelangten. Anpassungsmethode: Verbessern Sie die Schnittstellendichtung, passen Sie die Richtung des lokalen Schutzluftstroms an, decken Sie die Öffnung und die Position zum Entfernen der Folie ab. Nach der Einstellung nehmen die Partikel beim Öffnen der Tür ab.

Bei einem anderen Projekt schwankte der Luftstrom erheblich, wenn sich der Türkörper bewegte. Anpassungsmethode: Passen Sie die Türöffnungsgeschwindigkeit und den Zeitpunkt an, um die Türbewegung mit der Wafer-Entnahme zu koordinieren, und überprüfen Sie die lokale Luftzufuhrrichtung. Die Luftstromstabilität wird nach der Anpassung verbessert.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass der teilweise Schutz des FOUP-Türöffnungsbereichs die Öffnung, den Pick-and-Place-Pfad und die Schnittstellenlücke abdecken und die Türbewegung und Wafer-Pfadbestätigung kombinieren muss.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Der lokale Schutz des FOUP-Türöffnungsbereichs umfasst die Koordination der Öffnungsstruktur, der Türkörperbewegung, des Waferwegs und des gesamten Maschinenluftstroms. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und kompletten Maschinenmontageverbindungen. Es kann die lokale Luftzufuhrrichtung, die Filterkonfiguration und die Steuerungsmethode anhand der Ladeendstruktur, des Wafer-Pick-and-Place-Pfads und des Geräteraums überprüfen und dabei helfen, den schützenden Luftstrom zu den Schlüsselpositionen beim Öffnen der Tür und beim Aufnehmen von Wafern abzudecken, anstatt nur anhand der Höhe der Luftauslassoberfläche zu urteilen. Das Ausstattungspaket können Sie einsehen EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , siehe Filterpaket. HEPA- und ULPA-Filter entnehmen Sie bitte der Raumluftversorgung FFU-Produkte für saubere Luftversorgung。