Wie können Wafer-Handling-Roboter in die Luftstromprüfung integriert werden?

Der Wafer-Handling-Roboter ist für das Aufnehmen, Transportieren und Platzieren der Wafer in der Anlage verantwortlich. Während es sich bewegt, verändern die Arme, der Greifer und der Wafer selbst den lokalen Luftstrom. Die im stationären Zustand gemessenen Luftströmungsbedingungen können die Schutzwirkung während der Belastung nicht vollständig beschreiben.

Um den Roboter in die Luftstromüberprüfung einzubeziehen, muss ein Testplan erstellt werden, der auf der tatsächlichen Flugbahn, Geschwindigkeit, Verweilposition und dem Klemmzustand basiert. Das Folgende beginnt mit den folgenden Links: Bewegungsprogramm, Schlüsselhaltungen, Abtastanordnung und Datenzuordnung.

Definieren Sie das Bewegungsprogramm des Roboters

Vor der Verifizierung sollte das Bewegungsprogramm des Roboters geklärt werden:

• Bewegungsbahnen und -pfade;

• Bewegungsgeschwindigkeit jedes Segments;

• Aufenthaltsort und -zeit;

• Die Reihenfolge der Aktionen zur Aufnahme und Veröffentlichung von Filmen;

• Zusammenarbeit mit anderen Agenturen.

Verschiedene Programme können unterschiedliche Luftstrombedingungen erzeugen. Die Überprüfung sollte die tatsächliche Produktionsversion des Programms abdecken und nicht nur das Testen einer praktischen Geste. Nachdem das Programm geändert wurde, sind die ursprünglichen Verifizierungsergebnisse möglicherweise nicht mehr anwendbar und sollten erneut bestätigt werden.

Achten Sie auf die Behinderung der Luftzufuhr durch den mechanischen Arm

Wenn der Roboterarm ausfährt, sich dreht und zurückfährt, kann er die Luftzufuhroberfläche blockieren oder die Richtung des Luftstroms ändern. Beim Durchlaufen dieser Stellen befindet sich der Wafer möglicherweise in einer schwachen Schutzzone.

Zu den Haltungen, auf die Sie achten sollten, gehören:

• Strecken Sie Ihre Arme bis zur äußersten Position aus;

• Der Arm bewegt sich über oder neben dem Wafer;

• Der Arm kehrt schnell zurück;

• Der Klemmzustand beim Aufnehmen und Freigeben des Films;

• Die Geste des Wartens und Bleibens.

Informationen zur Okklusion und zum Nachlauf des Roboterarms finden Sie unter Wie beeinträchtigt die Betätigung des Arms die Luftzufuhr zur Werkbank? Obwohl die Objekte unterschiedlich sind, sind die Mechanismen der Luftstrombehinderung ähnlich.

Wach- und vorübergehende Störungen

Wenn sich der Roboter schnell bewegt, treibt er die Umgebungsluft an und erzeugt so eine Wirbelschleppe. Wirbelströme können Hintergrundluft in den Waferweg ziehen oder Partikel an empfindliche Stellen befördern.

Bei der Überprüfung sollten Sie Folgendes beachten:

• Luftstromveränderungen bei schneller Bewegung;

• Ob die Wafer-Durchgangsposition durch den Nachlauf beeinflusst wird;

• Ob der Luftstrom nach Beendigung des Trainings wiederhergestellt wird;

• Ob es wiederholt zu Störungen kommt.

Der Effekt des Kielwassers ist in offenen oder halboffenen Bereichen deutlicher. Informationen zur Beurteilungsmethode des Luftzufuhrwirbels und der momentanen Störung finden Sie unter Wie wirken sich Zuluftwirbel auf offene Arbeitsplätze aus?。

Die Probenahmeanordnung darf die Bewegungen des Roboters nicht behindern

Bei der Überprüfung der Probenahme sollte die Sondenposition die Bewegung des Roboters nicht behindern oder neue Kollisions- oder Leckagerisiken mit sich bringen.

Das Probenahmelayout sollte Folgendes berücksichtigen:

• Ob sich die Sondenposition innerhalb des Bewegungspfads des Roboters befindet;

• Ist die Befestigungsmethode sicher?

• Ob das Probenahmerohr die Bewegung des Roboterarms beeinflusst;

• Ob die Probenahme den lokalen Luftstrom verändert.

Der Ort der Probenahmestelle sollte den tatsächlichen Ort abdecken, an dem der Wafer vorbeiläuft, und nicht direkt unter der Luftzufuhröffnung. Verwandte Methoden finden Sie in Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen? Bitte beachten Sie die Höhenauswahl Wie wirkt sich eine Änderung der Arbeitshöhe auf die Erfassungsposition aus?。

Die Daten sollten den Trainingsperioden zugeordnet werden

Die Verifizierungsdaten sollten dem Bewegungszustand des Roboters entsprechen. Die Aufzeichnung sollte Folgendes enthalten:

• Übungsprogrammversion;

• Die Zeit jeder Aktion;

• Der Zeitpunkt, der den Partikeldaten entspricht;

• Gleichzeitige Aufzeichnung von Luftströmungsbeobachtungen;

• Der spezifische Ort, an dem die Ausnahme aufgetreten ist.

Durch die Korrelation der Daten mit Bewegungsperioden lässt sich ermitteln, in welcher Bewegungsphase die Partikelerhöhung stattgefunden hat. Informationen zur Methode zur stufenweisen Beobachtung von Prozessgeräten finden Sie unter Was soll ich tun, wenn die Sauberkeit der Prozessausrüstung nach dem Start nachlässt?。

Überschreiben Sie normale und zulässige Ausnahmezustände

Die Validierung sollte nicht nur den Normalbetrieb abdecken, sondern auch zulässige Ausnahmezustände:

• Halten Sie inne und warten Sie;

• menschliches Eingreifen;

• Programmumschaltung;

• Wird nach einer kurzen Ausfallzeit wieder aufgenommen.

Luftstrom und Schutz können unter diesen Bedingungen vom normalen Betrieb abweichen. Es sollte klare Anforderungen an die Verarbeitungsverfahren unter außergewöhnlichen Bedingungen geben und nicht vorläufige Entscheidungen vor Ort.

Koordination mit der Luftströmung innerhalb der Ausrüstung

Die Bewegung des Roboters ist Teil des Luftstroms im Inneren des Geräts. Lokale Luftversorgung und Gesamtluftstrom der Maschine müssen koordiniert werden:

• Ob sich der Bewegungsbereich des Roboters innerhalb der Luftversorgungsabdeckung befindet;

• Ob die lokale Luftversorgung durch die Bewegungen des Roboters beeinflusst wird;

• Ob der Rückluftweg die Luftableitung unterstützt;

• Ob es notwendig ist, die Luftzufuhr entsprechend dem Bewegungsstatus anzupassen.

Auf die interne Luftströmungsorganisation des Geräts kann Bezug genommen werden Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? , die Auswirkungen von Wegen und Öffnungen verstehen. Informationen zur internen Übertragung von EFEM finden Sie unter Wie deckt der interne Reinigungsschutz von EFEM den Wafertransferweg ab? Erfahren Sie mehr über Pfadschutzmethoden.

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Der Luftstrom eines bestimmten Geräteroboters ist im Stillstand akzeptabel, bei der Bewegung treten jedoch gelegentlich Partikel auf dem Wafer auf. Die Untersuchung ergab, dass die Luftzufuhr beim Ausfahren der Arme blockiert war und sich der Wafer beim Passieren der Mittelposition in einer schwachen Schutzzone befand. Einstellmethode: Passen Sie die Luftzufuhrrichtung so an, dass der Waferweg während der Bewegung immer abgedeckt ist. Dynamische Körnungsreduzierung angepasst.

Ein anderes Projekt erzeugte eine Spur, als ein Roboter schnell zurückkehrte. Anpassungsmethode: Bewegungsgeschwindigkeit und Timing anpassen, lokale Ablenkungsstruktur hinzufügen und erneut überprüfen. Nach der Anpassung wird der Einfluss der Nachlaufströmung abgeschwächt.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass die Luftstromüberprüfung des Wafer-Handhabungsroboters den tatsächlichen Bewegungsprozess abdecken muss und nicht nur den statischen Zustand messen kann.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Die Luftstromüberprüfung des Wafer-Handhabungsroboters muss die tatsächliche Bewegungsbahn, Okklusionsänderungen und Nachlaufeffekte abdecken. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und kompletten Maschinenmontageverbindungen. Es kann die Luftzufuhrrichtung, den lokalen Schutzbereich und die Betriebseinstellungen auf der Grundlage des Roboterbewegungsprogramms, des Waferpfads und des Geräteraums überprüfen und dabei helfen, die Überprüfung des Luftstroms vom statischen Zustand auf den tatsächlichen Bewegungsprozess auszudehnen, anstatt nur eine bequeme Körperhaltung zu messen.