Làm cách nào để tích hợp rô-bốt xử lý tấm bán dẫn vào quá trình xác minh luồng không khí?

Robot xử lý tấm bán dẫn có nhiệm vụ nhặt, vận chuyển và đặt các tấm bán dẫn vào bên trong thiết bị. Khi nó di chuyển, cánh tay, bộ kẹp và tấm bán dẫn đều thay đổi luồng không khí cục bộ. Điều kiện luồng không khí đo ở trạng thái tĩnh không thể mô tả đầy đủ tác dụng bảo vệ trong khi tập luyện.

Việc đưa robot vào quá trình xác minh luồng không khí đòi hỏi phải thiết kế kế hoạch thử nghiệm dựa trên quỹ đạo, tốc độ, vị trí dừng và trạng thái kẹp thực tế. Phần sau đây sẽ bắt đầu từ các liên kết sau: chương trình chuyển động, các tư thế chính, sắp xếp lấy mẫu và liên kết dữ liệu.

Xác định chương trình chuyển động của robot

Trước khi xác minh, chương trình chuyển động của robot cần được làm rõ:

• Quỹ đạo và đường đi của chuyển động;

• Tốc độ di chuyển của từng đoạn;

• Ở lại địa điểm và thời gian;

• Trình tự các thao tác lấy và phát hành phim;

• Hợp tác với các cơ quan khác.

Các chương trình khác nhau có thể tạo ra điều kiện luồng khí khác nhau. Việc xác minh phải bao gồm phiên bản sản xuất thực tế của chương trình, thay vì chỉ kiểm tra một cử chỉ thuận tiện. Sau khi thay đổi chương trình, kết quả xác minh ban đầu có thể không còn áp dụng được nữa và cần được xác nhận lại.

Chú ý đến sự cản trở việc cung cấp không khí bởi cánh tay cơ khí

Khi cánh tay robot mở rộng, quay và quay trở lại, nó có thể chặn bề mặt cấp khí hoặc thay đổi hướng của luồng khí. Tấm bán dẫn có thể nằm trong vùng bảo vệ yếu khi nó đi qua những vị trí này.

Các tư thế cần theo dõi bao gồm:

• Mở rộng cánh tay của bạn đến vị trí xa nhất;

• Cánh tay đưa qua hoặc sang một bên của tấm bán dẫn;

• Cánh tay trở lại nhanh chóng;

• Trạng thái kẹp gắp và thả màng;

• Cử chỉ chờ đợi và ở lại.

Để biết trạng thái tắc và hoạt động của cánh tay robot, vui lòng tham khảo Việc vận hành cánh tay sẽ ảnh hưởng như thế nào đến việc cung cấp không khí cho bàn làm việc? , mặc dù các vật thể khác nhau nhưng cơ chế cản trở luồng không khí là tương tự nhau.

Rối loạn thức giấc và thoáng qua

Khi robot di chuyển nhanh, nó sẽ điều khiển không khí xung quanh tạo thành dạng thức. Wakes có thể hút không khí nền vào đường đi của tấm bán dẫn hoặc mang các hạt đến các vị trí nhạy cảm.

Khi xác minh, bạn nên quan sát:

• Luồng khí thay đổi khi di chuyển nhanh;

• Liệu vị trí đi qua tấm bán dẫn có bị ảnh hưởng bởi dòng nhiễu hay không;

• Liệu luồng không khí có được phục hồi sau khi ngừng tập luyện hay không;

• Cho dù có sự xáo trộn lặp đi lặp lại.

Hiệu ứng của dòng thức rõ ràng hơn ở các khu vực mở hoặc bán mở. Để biết phương pháp đánh giá xoáy cung cấp không khí và nhiễu loạn tức thời, vui lòng tham khảo Vòng xoáy cung cấp không khí ảnh hưởng đến các trạm làm việc mở như thế nào?。

Việc bố trí lấy mẫu không được cản trở chuyển động của robot

Khi xác minh việc lấy mẫu, vị trí đầu dò không được cản trở chuyển động của robot hoặc gây ra các rủi ro va chạm hoặc rò rỉ mới.

Bố trí lấy mẫu cần xem xét:

• Vị trí đầu dò có nằm trong đường chuyển động của robot hay không;

• Phương pháp sửa chữa có an toàn không?

• Ống lấy mẫu có ảnh hưởng đến chuyển động của cánh tay robot hay không;

• Việc lấy mẫu có làm thay đổi luồng không khí cục bộ hay không.

Vị trí của điểm lấy mẫu phải bao phủ vị trí thực tế nơi tấm bán dẫn đi qua, thay vì chỉ ở dưới cổng cấp khí. Các phương pháp liên quan có thể được tìm thấy trong Tại sao điểm lấy mẫu không thể được đặt ngay bên dưới cửa cấp khí? , vui lòng tham khảo lựa chọn chiều cao Sự thay đổi chiều cao làm việc ảnh hưởng như thế nào đến vị trí phát hiện?。

Dữ liệu phải được liên kết với thời gian tập thể dục

Dữ liệu xác minh phải tương ứng với trạng thái chuyển động của robot. Hồ sơ nên bao gồm:

• phiên bản chương trình tập thể dục;

• Thời gian của mỗi hành động;

• Điểm thời gian tương ứng với dữ liệu hạt;

• Ghi đồng thời các quan sát luồng không khí;

• Vị trí cụ thể nơi xảy ra ngoại lệ.

Bằng cách tương quan dữ liệu với các chu kỳ chuyển động, có thể xác định độ cao của hạt xảy ra ở giai đoạn chuyển động nào. Để biết phương pháp quan sát thiết bị xử lý theo từng công đoạn, vui lòng tham khảo Tôi nên làm gì nếu độ sạch của thiết bị xử lý giảm xuống sau khi khởi động?。

Ghi đè các trạng thái ngoại lệ bình thường và được phép

Việc xác thực không chỉ bao gồm hoạt động bình thường mà còn bao gồm các trạng thái ngoại lệ được phép:

• Tạm dừng và chờ đợi;

• sự can thiệp của con người;

• Chuyển đổi chương trình;

• Tiếp tục sau một thời gian ngừng hoạt động ngắn.

Luồng khí và khả năng bảo vệ trong những điều kiện này có thể khác với hoạt động bình thường. Cần có những yêu cầu rõ ràng đối với quy trình xử lý trong điều kiện bất thường, thay vì các quyết định tạm thời tại chỗ.

Phối hợp với luồng không khí bên trong thiết bị

Chuyển động của robot là một phần của luồng không khí bên trong thiết bị. Nguồn cung cấp không khí cục bộ và luồng không khí tổng thể của máy cần được phối hợp:

• Khu vực di chuyển của robot có nằm trong phạm vi phủ sóng cung cấp không khí hay không;

• Liệu nguồn cung cấp không khí cục bộ có bị ảnh hưởng bởi chuyển động của robot hay không;

• Đường dẫn khí quay trở lại có hỗ trợ xả khí hay không;

• Có cần thiết phải điều chỉnh nguồn cung cấp không khí theo trạng thái chuyển động hay không.

Việc tổ chức luồng không khí bên trong của thiết bị có thể được tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào? , hiểu tác động của đường đi và lối mở. Khi nói đến truyền nội bộ EFEM, vui lòng tham khảo Cơ chế bảo vệ sạch bên trong của EFEM bao phủ đường dẫn truyền wafer như thế nào? , tìm hiểu về các phương pháp bảo vệ đường dẫn.

Ví dụ về đánh giá dự án

Luồng không khí của một robot thiết bị nhất định có thể chấp nhận được khi nó đứng yên, nhưng thỉnh thoảng có các hạt xuất hiện trên tấm bán dẫn khi nó di chuyển. Cuộc điều tra cho thấy nguồn cung cấp không khí bị chặn khi cánh tay được mở rộng và tấm wafer nằm trong vùng bảo vệ yếu khi đi qua vị trí chính giữa. Phương pháp điều chỉnh: Điều chỉnh hướng cấp khí sao cho đường dẫn khí luôn được che chắn trong quá trình di chuyển. Điều chỉnh giảm hạt động.

Một dự án khác tạo ra tiếng vang khi robot nhanh chóng quay trở lại. Phương pháp điều chỉnh: điều chỉnh tốc độ và thời gian di chuyển, thêm cấu trúc chuyển hướng cục bộ và xác minh lại. Sau khi điều chỉnh, ảnh hưởng của dòng nhiễu bị suy yếu.

Hai tình huống này minh họa rằng việc xác minh luồng không khí của robot xử lý tấm bán dẫn cần bao gồm quá trình chuyển động thực tế và không thể chỉ đo trạng thái tĩnh.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Việc xác minh luồng không khí của robot xử lý tấm bán dẫn cần bao gồm quỹ đạo chuyển động thực tế, những thay đổi về tắc nghẽn và hiệu ứng đánh thức. Aili Industrial có khả năng hợp tác về quạt, động cơ, bộ lọc, hệ thống điều khiển và các liên kết lắp ráp máy hoàn chỉnh. Nó có thể kiểm tra hướng cung cấp không khí, phạm vi bảo vệ cục bộ và cài đặt vận hành dựa trên chương trình chuyển động của robot, đường đi của tấm bán dẫn và không gian thiết bị, giúp mở rộng việc xác minh luồng không khí từ trạng thái tĩnh đến quá trình chuyển động thực tế, thay vì chỉ đo tư thế thuận tiện.