ウェーハハンドリングロボットを気流検証にどのように組み込むことができますか?

ウェーハハンドリングロボットは、ウェーハを拾い上げ、搬送し、装置内に配置する役割を果たします。移動すると、アーム、グリッパー、ウェーハ自体がすべて局所的な空気の流れを変化させます。静止状態で測定された気流状態では、運動中の保護効果を完全に説明することはできません。

ロボットを気流検証に組み込むには、実際の軌道、速度、滞留位置、クランプ状態に基づいてテスト計画を設計する必要があります。以下はモーションプログラムから始まり、主要な姿勢、サンプリングの配置、データの関連付けを行います。

ロボットの動作プログラムを定義する

検証の前に、ロボットの動作プログラムを明確にする必要があります。

• 移動の軌跡と経路。

• 各セグメントの移動速度。

• 滞在場所と時間。

• フィルムを撮影してリリースするための一連のアクション。

• 他機関との連携。

プログラムが異なれば、気流状態も異なる場合があります。検証では、便利なジェスチャをテストするだけでなく、プログラムの実際の製品バージョンもカバーする必要があります。プログラム変更後は、元の検証結果が適用できなくなる可能性があるため、再確認する必要があります。

メカニカルアームによるエア供給の阻害に注意

ロボットアームが伸びたり、回転したり、戻ったりする際に、給気面を塞いだり、空気の流れの方向が変わったりする可能性があります。ウェーハがこれらの場所を通過するとき、ウェーハは弱い保護ゾーンにある可能性があります。

注意すべき姿勢には次のようなものがあります。

• 腕を一番遠い位置まで伸ばします。

• アームはウエハの上または側面を通過します。

• 腕はすぐに戻ります。

• フィルムを持ち上げて解放するクランプ状態。

• 待って留まるしぐさ。

ロボットアームのオクルージョンとウェイクについては、こちらをご参照ください。 アームを操作すると、作業台への空気供給がどのように妨げられますか? , 対象物は異なりますが、気流障害のメカニズムは似ています。

覚醒および一時的な障害

ロボットが急速に動くと、周囲の空気を動かして後流を形成します。後流により、背景の空気がウェーハの経路に引き込まれたり、粒子が敏感な場所に運ばれたりする可能性があります。

検証するときは、次の点に注意する必要があります。

• 急速な移動中に気流が変化します。

• ウェーハ通過位置が後流の影響を受けるかどうか。

• 運動の停止後に気流が回復するかどうか。

• 度重なる妨害があるかどうか。

後流の影響は、オープンエリアまたは半オープンエリアでより顕著になります。供給空気の渦と瞬間的な外乱を決定するには、を参照してください。 供給空気の渦はオープンワークステーションにどのような影響を与えますか?。

サンプリング配置はロボットの動きを妨げてはなりません

サンプリングを検証する場合、プローブの位置はロボットの動きを妨げたり、衝突や漏れの新たなリスクを引き起こしたりしてはなりません。

サンプリング レイアウトでは次のことを考慮する必要があります。

• プローブの位置がロボットの動作パス内にあるかどうか。

• 固定方法は安全ですか？

• サンプリングチューブがロボットアームの動きに影響を与えるかどうか。

• サンプリングによって局所的な空気の流れが変化するかどうか。

サンプリングポイントの位置は、空気供給ポートの真下ではなく、ウェーハが通過する実際の位置をカバーする必要があります。関連するメソッドは次の場所にあります。 サンプリングポイントを空気供給出口の真下に配置できないのはなぜですか? 、高さの選択を参照してください。 作業高さの変化は検出位置にどのような影響を与えますか?。

データは運動期間に関連付けられる必要があります

検証データはロボットの動作状態に対応している必要があります。記録には以下を含める必要があります。

• 運動プログラムのバージョン。

• 各アクションの時間。

• 粒子データに対応する時点。

• 気流観測の同時記録。

• 例外が発生する特定の場所。

データを移動期間と関連付けることにより、粒子の上昇がどの移動フェーズで発生したかを判断することができます。プロセス装置を段階的に観察する方法については、こちらをご覧ください。 プロセス装置の稼働後にクリーン度が低下した場合はどうすればよいですか?。

通常および許可された例外状態をオーバーライドする

検証では、通常の動作だけでなく、許容される例外状態もカバーする必要があります。

• 立ち止まって待ちます。

• 人間の介入。

• プログラム切り替え;

• 短いダウンタイムの後に再開します。

このような状況でのエアフローと保護は、通常の動作とは異なる場合があります。異常な状況下での処理手順については、現場での一時的な決定ではなく、明確な要件が必要です。

装置内の空気の流れとの連携

ロボットの動きはデバイス内の空気の流れの一部です。局所的な空気供給と機械全体の空気の流れを調整する必要があります。

• ロボットの移動範囲が給気範囲内にあるかどうか。

• 局所的な空気供給がロボットの動きの影響を受けるかどうか。

• 戻り空気経路が空気排出をサポートしているかどうか。

• 動作状況に応じてエア供給量を調整する必要があるかどうか。

装置の内部エアフロー構成を参照できます。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、パスと開口部の影響を理解します。 EFEM内部送信については、こちらをご参照ください。 EFEM の内部クリーン保護はウェーハ搬送経路をどのようにカバーしますか? 、パスの保護方法について学びます。

プロジェクトの判断例

ある装置ロボットは静止しているときの気流は許容範囲内ですが、移動しているときはウエハ上にパーティクルが発生することがあります。調査の結果、アームを伸ばしたときに空気の供給が遮断され、ウェーハが中間位置を通過するときに弱い保護ゾーンにあったことが判明しました。調整方法：移動中は常にウエハの経路をカバーするようにエアの供給方向を調整してください。ダイナミックグレインリダクションを調整しました。

別のプロジェクトでは、ロボットが素早く戻ってきたときに航跡が発生しました。調整方法：移動速度とタイミングを調整し、ローカル迂回構造を追加し、再検証します。調整後は後流の影響が弱まります。

これら 2 つの状況は、ウェーハ ハンドリング ロボットの気流検証では実際の移動プロセスをカバーする必要があり、静的な状態を測定するだけでは不十分であることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

ウェーハハンドリングロボットの気流検証では、実際の移動軌跡、オクルージョンの変化、および後流効果をカバーする必要があります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組立リンクにおける連携機能を備えています。ロボットの動作プログラム、ウエハ経路、装置スペースに基づいて、エアの供給方向、局所的な保護範囲、動作設定を確認することができ、単に都合の良い姿勢を測定するだけでなく、静止状態から実際の動作プロセスまで気流検証を拡張するのに役立ちます。