¿Cómo se pueden incorporar los robots de manipulación de obleas a la verificación del flujo de aire?

El robot manipulador de obleas se encarga de recoger, transportar y colocar las obleas dentro del equipo. A medida que se mueve, los brazos, la pinza y la propia oblea cambian el flujo de aire local. Las condiciones del flujo de aire medidas en un estado estacionario no pueden describir completamente el efecto protector durante el ejercicio.

Incluir el robot en la verificación del flujo de aire requiere diseñar un plan de prueba basado en la trayectoria, velocidad, posición de permanencia y estado de sujeción reales. Lo siguiente comenzará desde los siguientes enlaces: programa de movimiento, posturas clave, disposición de muestreo y asociación de datos.

Definir el programa de movimiento del robot.

Antes de la verificación, se debe aclarar el programa de movimiento del robot:

• Trayectorias y caminos de movimiento;

• Velocidad de movimiento de cada segmento;

• Ubicación y hora de estancia;

• La secuencia de acciones para la toma y estreno de películas;

• Cooperación con otras agencias.

Diferentes programas pueden crear diferentes condiciones de flujo de aire. La verificación debe cubrir la versión de producción real del programa, en lugar de simplemente probar un gesto conveniente. Después de los cambios en el programa, es posible que los resultados de la verificación original ya no sean aplicables y se deben volver a confirmar.

Preste atención a la obstrucción del suministro de aire por el brazo mecánico.

Cuando el brazo robótico se extiende, gira y regresa, puede bloquear la superficie de suministro de aire o cambiar la dirección del flujo de aire. La oblea puede encontrarse en una zona de protección débil al pasar por estos lugares.

Las posturas a tener en cuenta incluyen:

• Extiende tus brazos hasta su posición más alejada;

• El brazo pasa por encima o hacia un lado de la oblea;

• El brazo regresa rápidamente;

• El estado de sujeción al recoger y soltar la película;

• El gesto de esperar y quedarse.

Para la oclusión y activación del brazo robótico, consulte ¿Cómo interferirá el funcionamiento del brazo con el suministro de aire al banco de trabajo? , aunque los objetos son diferentes, los mecanismos de obstrucción del flujo de aire son similares.

Estela y perturbaciones transitorias.

Cuando el robot se mueve rápidamente, impulsará el aire circundante para formar una estela. Las estelas pueden atraer aire de fondo hacia el camino de la oblea o transportar partículas a lugares sensibles.

Observe al verificar:

• El flujo de aire cambia durante el movimiento rápido;

• Si la posición de paso de la oblea se ve afectada por el flujo de estela;

• Si se restablece el flujo de aire después de que se detiene el ejercicio;

• Si hay disturbios repetidos.

El efecto de la estela es más evidente en zonas abiertas o semiabiertas. Para conocer el método de evaluación del vórtice de suministro de aire y la perturbación instantánea, consulte ¿Cómo afecta el vórtice del suministro de aire a las estaciones de trabajo abiertas?。

La disposición de muestreo no debe obstaculizar los movimientos del robot.

Al verificar el muestreo, la posición de la sonda no debe impedir el movimiento del robot ni introducir nuevos riesgos de colisión o fuga.

El diseño de muestreo debe considerar:

• Si la posición de la sonda está dentro de la trayectoria de movimiento del robot;

• ¿Es seguro el método de fijación?

• Si el tubo de muestreo afecta el movimiento del brazo robótico;

• Si el muestreo cambia el flujo de aire local.

La ubicación del punto de muestreo debe cubrir la ubicación real por donde pasa la oblea, en lugar de justo debajo del puerto de suministro de aire. Los métodos relacionados se pueden encontrar en ¿Por qué no se puede ubicar el punto de muestreo justo debajo de la salida del suministro de aire? , consulte la selección de altura ¿Cómo afecta un cambio en la altura de trabajo a la posición de detección?。

Los datos deben asociarse con los períodos de ejercicio.

Los datos de verificación deben corresponder al estado de movimiento del robot. El registro debe incluir:

• versión del programa de ejercicios;

• El tiempo de cada acción;

• El punto de tiempo correspondiente a los datos de partículas;

• Registro simultáneo de observaciones del flujo de aire;

• La ubicación específica donde ocurrió la excepción.

Al correlacionar los datos con los períodos de movimiento, es posible determinar en qué fase de movimiento se produjo la elevación de las partículas. Para conocer el método de observación del equipo de proceso en etapas, consulte ¿Qué debo hacer si la limpieza del equipo de proceso disminuye después de su inicio?。

Anular los estados de excepción normales y permitidos

La validación no sólo debe cubrir el funcionamiento normal, sino también los estados de excepción permitidos:

• Haga una pausa y espere;

• intervención humana;

• Cambio de programa;

• Se reanuda después de un breve tiempo de inactividad.

El flujo de aire y la protección durante estas condiciones pueden diferir del funcionamiento normal. Deben existir requisitos claros para los procedimientos de procesamiento en condiciones anormales, en lugar de decisiones temporales en el sitio.

Coordinación con el flujo de aire dentro del equipo.

El movimiento del robot es parte del flujo de aire dentro del dispositivo. Es necesario coordinar el suministro de aire local y el flujo de aire general de la máquina:

• Si el área de movimiento del robot está dentro de la cobertura del suministro de aire;

• Si el suministro de aire local se ve afectado por los movimientos del robot;

• Si la ruta del aire de retorno admite la descarga de aire;

• Si es necesario ajustar el suministro de aire según el estado del movimiento.

La organización del flujo de aire interno del equipo puede consultarse ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , comprender el impacto de los caminos y las aperturas. Cuando se trata de transmisión interna EFEM, consulte ¿Cómo cubre la protección de limpieza interna de EFEM la ruta de transferencia de las obleas? , obtenga información sobre los métodos de protección de rutas.

Ejemplo de juicio de proyecto

El flujo de aire de un determinado equipo robot es aceptable cuando está estacionario, pero ocasionalmente se producen partículas en la oblea cuando está en movimiento. La investigación encontró que el suministro de aire estaba bloqueado cuando los brazos estaban extendidos y la oblea se encontraba en una zona de protección débil al pasar por la posición media. Método de ajuste: Ajuste la dirección del suministro de aire para que la ruta de la oblea esté siempre cubierta durante el movimiento. Reducción de grano dinámica ajustada.

Otro proyecto creó una estela cuando un robot regresó rápidamente. Método de ajuste: ajuste la velocidad y el tiempo del movimiento, agregue una estructura de desvío local y vuelva a verificar. Después del ajuste, la influencia del flujo de estela se debilita.

Estas dos situaciones ilustran que la verificación del flujo de aire del robot manipulador de obleas debe cubrir el proceso de movimiento real y no solo puede medir el estado estático.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

La verificación del flujo de aire del robot manipulador de obleas debe cubrir la trayectoria real del movimiento, los cambios de oclusión y los efectos de estela. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la dirección del suministro de aire, el rango de protección local y la configuración de operación según el programa de movimiento del robot, la ruta de la oblea y el espacio del equipo, lo que ayuda a extender la verificación del flujo de aire desde un estado estático al proceso de movimiento real, en lugar de simplemente medir una postura conveniente.