Comment les robots de manipulation de plaquettes peuvent-ils être intégrés à la vérification du flux d’air ?

Le robot de manipulation des plaquettes est chargé de ramasser, de transporter et de placer les plaquettes à l'intérieur de l'équipement. À mesure qu'il se déplace, les bras, la pince et la plaquette elle-même modifient tous le flux d'air local. Les conditions de débit d'air mesurées dans un état stationnaire ne peuvent pas décrire pleinement l'effet protecteur pendant l'exercice.

L'inclusion du robot dans la vérification du flux d'air nécessite la conception d'un plan de test basé sur la trajectoire, la vitesse, la position de maintien et l'état de serrage réels. Ce qui suit partira des liens suivants : programme de mouvement, postures clés, disposition d'échantillonnage et association de données.

Définir le programme de mouvement du robot

Avant vérification, le programme de mouvement du robot doit être clarifié :

• Trajectoires et chemins de mouvement ;

• Vitesse de déplacement de chaque segment ;

• Lieu et heure du séjour ;

• La séquence d'actions de prise et de sortie des films ;

• Coopération avec d'autres agences.

Différents programmes peuvent créer différentes conditions de circulation d'air. La vérification doit porter sur la version de production réelle du programme, plutôt que de simplement tester un geste pratique. Après des modifications du programme, les résultats de vérification d'origine peuvent ne plus être applicables et doivent être reconfirmés.

Attention à l'obstruction de l'arrivée d'air par le bras mécanique

Lorsque le bras robotique s'étend, tourne et revient, il peut bloquer la surface d'alimentation en air ou changer la direction du flux d'air. La plaquette peut se trouver dans une zone de protection faible lors de son passage par ces emplacements.

Les postures à surveiller comprennent :

• Étendez vos bras jusqu'à leur position la plus éloignée ;

• Le bras passe sur ou sur le côté de la plaquette ;

• Le bras revient rapidement ;

• L'état de serrage consistant à saisir et à libérer le film ;

• Le geste d'attendre et de rester.

Pour l'occlusion et le réveil du bras robotique, veuillez vous référer à Comment le fonctionnement du bras va-t-il interférer avec l’alimentation en air de l’établi ? , bien que les objets soient différents, les mécanismes d’obstruction du flux d’air sont similaires.

Perturbations de sillage et transitoires

Lorsque le robot se déplace rapidement, il entraîne l’air ambiant pour former un sillage. Les sillages peuvent attirer l'air de fond dans le trajet de la plaquette ou transporter des particules vers des endroits sensibles.

Lors de la vérification, vous devez observer :

• Le flux d’air change lors d’un mouvement rapide ;

• Si la position de passage de la tranche est affectée par le flux de sillage ;

• Si le flux d’air est rétabli après l’arrêt de l’exercice ;

• S'il y a des perturbations répétées.

L'effet de sillage est plus évident dans les zones ouvertes ou semi-ouvertes. Pour la méthode d'évaluation du vortex d'alimentation en air et des perturbations instantanées, veuillez vous référer à Comment le vortex d’air soufflé affecte-t-il les postes de travail ouverts ?。

Le dispositif de prélèvement ne doit pas gêner les mouvements du robot

Lors de la vérification de l'échantillonnage, la position de la sonde ne doit pas gêner le mouvement du robot ni introduire de nouveaux risques de collision ou de fuite.

La disposition d’échantillonnage doit prendre en compte :

• Si la position de la sonde se trouve dans la trajectoire de mouvement du robot ;

• La méthode de fixation est-elle sûre ?

• Si le tube d'échantillonnage affecte le mouvement du bras robotique ;

• Si l'échantillonnage modifie le flux d'air local.

L'emplacement du point d'échantillonnage doit couvrir l'emplacement réel où passe la tranche, plutôt que juste sous l'orifice d'alimentation en air. Des méthodes connexes peuvent être trouvées dans Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ? , veuillez vous référer au choix de la hauteur Comment un changement de hauteur de travail affecte-t-il la position de détection ?。

Les données doivent être associées aux périodes d'exercice

Les données de vérification doivent correspondre à l'état de mouvement du robot. Le dossier doit comprendre :

• version du programme d'exercices ;

• L’heure de chaque action ;

• Le point temporel correspondant aux données de particules ;

• Enregistrement simultané des observations de flux d'air ;

• L'emplacement spécifique où l'exception s'est produite.

En corrélant les données avec les périodes de mouvement, il est possible de déterminer dans quelle phase de mouvement l'élévation des particules s'est produite. Pour la méthode d'observation des équipements de traitement par étapes, veuillez vous référer à Que dois-je faire si la propreté de l'équipement de traitement diminue après son démarrage ?。

Remplacer les états d'exception normaux et autorisés

La validation ne doit pas seulement couvrir le fonctionnement normal, mais également les états d'exception autorisés :

• Faites une pause et attendez ;

• intervention humaine;

• Changement de programme ;

• Reprise après un court temps d'arrêt.

Le débit d'air et la protection dans ces conditions peuvent différer du fonctionnement normal. Il devrait y avoir des exigences claires concernant les procédures de traitement dans des conditions anormales, plutôt que des décisions temporaires sur place.

Coordination avec le flux d'air à l'intérieur de l'équipement

Le mouvement du robot fait partie du flux d’air à l’intérieur de l’appareil. L’alimentation en air locale et le débit d’air global de la machine doivent être coordonnés :

• Si la zone de mouvement du robot se trouve dans la couverture d'alimentation en air ;

• Si l'alimentation en air locale est affectée par les mouvements du robot ;

• Si le chemin d’air de retour prend en charge l’évacuation de l’air ;

• S'il est nécessaire d'ajuster l'alimentation en air en fonction de l'état du mouvement.

L'organisation interne du flux d'air de l'équipement peut être référencée à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , comprendre l’impact des chemins et des ouvertures. En ce qui concerne la transmission interne EFEM, veuillez vous référer à Comment la protection interne propre EFEM couvre-t-elle le chemin de transfert des plaquettes ? , découvrez les méthodes de protection des chemins.

Exemple de jugement de projet

Le flux d'air d'un certain équipement robot est acceptable lorsqu'il est à l'arrêt, mais des particules occasionnelles se forment sur la plaquette lorsqu'elle est en mouvement. L'enquête a révélé que l'alimentation en air était bloquée lorsque les bras étaient étendus et que la plaquette se trouvait dans une zone de protection faible lors du passage en position médiane. Méthode de réglage : Ajustez la direction de l'alimentation en air afin que le chemin de la plaquette soit toujours couvert pendant le mouvement. Réduction dynamique du grain ajustée.

Un autre projet a créé un sillage lorsqu'un robot est revenu rapidement. Méthode d'ajustement : ajustez la vitesse et le timing du mouvement, ajoutez une structure de dérivation locale et revérifiez. Après ajustement, l’influence du débit de sillage est affaiblie.

Ces deux situations illustrent que la vérification du flux d'air du robot de manipulation de plaquettes doit couvrir le processus de mouvement réel et ne peut pas uniquement mesurer l'état statique.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

La vérification du flux d'air du robot de manipulation de plaquettes doit couvrir la trajectoire réelle du mouvement, les changements d'occlusion et les effets de sillage. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la direction de l'alimentation en air, la plage de protection locale et les paramètres de fonctionnement en fonction du programme de mouvement du robot, du trajet des plaquettes et de l'espace de l'équipement, contribuant ainsi à étendre la vérification du flux d'air d'un état statique au processus de mouvement réel, plutôt que de simplement mesurer une posture pratique.