La zone tampon de la tranche nécessite-t-elle une alimentation continue en air pur ?

Le tampon de tranches est l'emplacement où les tranches attendent et sont temporairement stockées dans l'équipement. Lorsque l'équipement est en marche, la plaquette peut rester ici pendant un certain temps avant de passer au processus suivant. Les plaquettes peuvent également rester dans la mémoire tampon lorsque l'équipement est en panne ou en veille.

Il n’est pas possible de généraliser si la zone tampon a besoin d’un approvisionnement continu en air pur. Le jugement doit être basé sur l'état d'exposition des plaquettes, le temps de séjour, les limites du boîtier et les exigences de récupération. L'inactivité temporaire de l'équipement ne signifie pas que la protection de l'air peut être arrêtée.

Confirmez d'abord l'état d'exposition de la plaquette

Pour déterminer si une alimentation en air continue est nécessaire, vérifiez d'abord si la plaquette est exposée dans la zone tampon :

• Si la plaquette est placée dans un récipient fermé ;

• Si le conteneur est doté d'un filtre ou d'une structure d'étanchéité ;

• Si la surface de la plaquette est directement exposée à l'environnement interne de l'appareil ;

• Zone d'exposition et temps d'exposition.

Si la tranche est placée dans un récipient fermé et que le joint du récipient est efficace, le besoin d'une alimentation continue en air peut être moindre. Si la tranche est directement exposée à l’environnement interne de l’équipement, une protection continue est généralement requise. Pour connaître les exigences de protection lors des processus de chargement, de déchargement et de prélèvement et de placement des plaquettes, veuillez vous référer à Comment les stations de manipulation de plaquettes peuvent-elles réduire la poussière pendant l’exposition ? , comprenez les considérations de protection pour les liens exposés.

Le temps de séjour affecte les besoins de protection

Le temps de séjour de la tranche dans la zone tampon affecte directement les chances de sédimentation des particules. Plus le séjour est long, plus le besoin d’une protection continue est grand.

Lors du jugement, vous devez confirmer :

• Combien de temps la tranche reste dans le tampon pendant le fonctionnement normal ;

• Si la tranche reste dans la zone tampon pendant la veille et l'arrêt ;

• Quelle est la durée maximale du séjour ?

• Si l'environnement est stable pendant le séjour.

Si le temps de séjour est long, même si l'alimentation en air est interrompue pendant une courte période, les particules peuvent se déposer. Pour des considérations pertinentes, veuillez vous référer à La zone tampon de la tranche nécessite-t-elle une alimentation continue en air pur ? Dans l'analyse des conditions d'exposition, le temps de séjour est inclus dans le jugement.

Il peut encore y avoir une entrée de contamination en état de veille

Lorsque l'équipement est en veille, le mécanisme ne bouge pas, mais l'apport de pollution ne disparaît pas forcément :

• Les particules de fond peuvent pénétrer par des interstices ;

• Les particules peuvent être introduites par des équipements adjacents ou par des activités du personnel ;

• Les particules résiduelles à l'intérieur de l'équipement peuvent être remises en suspension ;

• Les changements de température et d'humidité peuvent affecter l'état de la surface.

Si l'alimentation en air est interrompue, les limites du flux d'air de la zone tampon changeront et la plage de protection d'origine pourrait ne plus être efficace. Pour les exigences de protection en état de veille, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , comprenez l’impact des ouvertures et des espaces sur le flux d’air.

La réduction de charge est soumise à une vérification de l'état

Si le projet souhaite réduire le volume d'alimentation en air ou arrêter l'alimentation en air pendant la veille, il doit procéder à une vérification de l'état au lieu de s'arrêter directement.

Le contenu de la vérification doit inclure :

• Les changements granulaires dans la zone tampon pendant l'état de veille ;

• La tendance à la récupération des particules après l'arrêt du vent ;

• Changements de grain au redémarrage ;

• Si l'état de surface de la plaquette est affecté.

Ce n'est que lorsqu'il est confirmé que l'arrêt du vent n'affecte pas l'état de la plaquette que le mode de fonctionnement avec réduction de charge peut être adopté. Pour la vérification de la récupération et la confirmation du statut, veuillez vous référer à Quels équipements doivent être opérationnels lors de la réception ? , comprendre les exigences de vérification dans différents états de fonctionnement.

Gestion de la récupération et du redémarrage

Lors du retour du mode veille au mode actif, la zone de cache peut subir un processus de rétablissement du flux d'air. Devrait confirmer :

• Vérifiez si le débit d'air est stable une fois l'alimentation en air rétablie ;

• Si le temps de récupération répond aux exigences du processus ;

• S'il est nécessaire de retarder le retrait des plaquettes ;

• Procédures de traitement après un arrêt anormal.

Il devrait y avoir des exigences claires en matière de traitement après panne, plutôt que de remplacer la vérification par des délais d'attente fixes.

Coordination de l'alimentation en air locale et du débit d'air global de la machine

L'apport d'air local dans la zone tampon fait partie du flux d'air global de l'équipement. L'alimentation en air continue doit être coordonnée avec le débit d'air de l'ensemble de la machine :

• Si l’apport d’air dans la zone tampon affecte les zones adjacentes ;

• Comment fonctionne le flux d'air de l'ensemble de la machine en veille ;

• Si l’approvisionnement en air local doit être contrôlé de manière indépendante ;

• Comment faire le lien avec le démarrage et l'arrêt des équipements.

Une protection partielle côté équipement peut être combinée avec La structure de l'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU est sélectionnée en fonction de l'espace de la zone tampon et des exigences d'alimentation en air. En ce qui concerne le débit d'air global à l'intérieur de l'équipement, veuillez vous référer à Comment les EFU côté équipement et les FFU côté salle se répartissent-elles leur travail ? Comprendre la répartition du travail de contrôle entre le côté équipement et le côté salle.

Exemple de jugement de projet

Les tranches de la zone tampon d'un certain projet sont exposées et l'alimentation en air est suspendue pendant la veille. Après la reprise de la production, il a été découvert qu'il y avait des particules à la surface de la plaquette. L'enquête a confirmé que les particules se sont déposées pendant la veille. Méthode de réglage : maintenez l'alimentation en air à basse vitesse pendant la veille et confirmez l'état des particules avant de reprendre. Après ajustement, l’état de surface de la plaquette est stable.

Une autre plaquette de cache du projet est placée dans un conteneur fermé, qui est efficacement scellé. Après évaluation, il a été confirmé que le volume d'alimentation en air peut être réduit pendant la veille. Méthode de réglage : définissez le mode veille et vérifiez l'état de la plaquette en fonction de l'étanchéité du conteneur et du temps de séjour. Après réglage, la consommation d'énergie est réduite et l'état de la plaquette n'est pas affecté.

Ces deux situations illustrent que la nécessité ou non pour la zone tampon d'un apport d'air continu dépend du statut d'exposition, du temps de séjour et des limites de l'enceinte, et doit être vérifiée avant de prendre une décision.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

Le fait que la zone tampon de la tranche nécessite une alimentation continue en air dépend de l'état d'exposition de la tranche, du temps de séjour et des limites de l'enceinte. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la configuration de l'alimentation en air, le mode veille et la logique de liaison en fonction des conditions d'exposition de la zone de cache, du mode de fonctionnement de l'équipement et des exigences de récupération, et aider à déterminer si l'alimentation en air continue, le fonctionnement à basse vitesse ou le contrôle de zone sont plus adaptés au processus réel, plutôt que de couper l'alimentation en air de manière générale ou de fonctionner à pleine charge toute la journée.