Comment éviter les gaz d’échappement du procédé lors de la purification autour des équipements de gravure ?

Les processus de gravure s'accompagnent souvent d'échappements de processus, qui peuvent contenir des particules, des gaz corrosifs ou d'autres substances nécessitant des émissions contrôlées. S'il y a une alimentation en air propre autour de l'équipement en même temps, les deux ensembles de flux d'air doivent être coordonnés : l'alimentation en air propre ne peut pas interférer avec la collecte des gaz d'échappement, et les gaz d'échappement ne peuvent pas amener de polluants dans l'entrée d'alimentation en air propre.

Gérer correctement la relation entre l’alimentation en air propre et l’échappement du processus est une condition préalable à la purification de l’environnement de l’équipement de gravure. Ce qui suit partira des aspects suivants : démarcation régionale, position d'entrée d'air, équilibre d'alimentation et d'échappement d'air et état de liaison.

Distinguer la zone de protection propre et la zone d'échappement

Il existe généralement deux types de zones autour des équipements de gravure :

• Zone de protection propre : emplacements qui nécessitent une propreté locale telle que le transfert, le chargement et la maintenance des plaquettes ;

• Zone d'échappement : emplacements où les gaz d'échappement du processus, les gaz d'échappement des pompes à vide et les gaz d'échappement de maintenance doivent être capturés et évacués.

Les objectifs de débit d'air pour les deux types de zones sont différents. L'approvisionnement en air pur doit protéger les endroits sensibles et les gaz d'échappement doivent capter les polluants et les rejeter. Lors de la conception, les limites entre les deux types de zones doivent d’abord être clairement définies pour éviter que les deux ensembles de flux d’air n’interfèrent l’un avec l’autre.

Lorsque des matières dangereuses sont impliquées, l’alimentation en air pur ne peut pas remplacer l’évacuation dédiée, l’isolation ou la protection de sécurité. La planification du flux d'air associée peut être consultée Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , pour comprendre l'organisation du flux d'air à l'intérieur de la cavité.

La position d'entrée d'air de l'EFU doit éviter l'influence des gaz d'échappement

La position d'entrée d'air de l'EFU du côté de l'appareil détermine l'air qu'il inhale. Si l’entrée d’air est proche de la sortie d’échappement ou de la zone de diffusion des gaz d’échappement, des polluants peuvent être aspirés puis envoyés dans la zone protégée.

Lors de la sélection de l'emplacement de l'entrée d'air, vous devez confirmer :

• Si l'entrée d'air est éloignée de la sortie d'échappement ;

• Si l'entrée d'air est en aval du chemin de diffusion des gaz d'échappement ;

• S'il existe des sources de pollution locales autour de l'entrée d'air ;

• Qu'il s'agisse d'une prise d'air indépendante ou d'un prétraitement.

Utilisez des sources d'air indépendantes lorsque cela est nécessaire plutôt que de recourir par défaut à l'air ambiant à proximité, car cela convient à la recirculation. La configuration EFU peut faire référence à L'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU sélectionne une structure en fonction des conditions d'espace et d'entrée d'air.

L’alimentation en air propre ne doit pas interférer avec la capture des gaz d’échappement

Si l'air pur souffle vers la zone de collecte des gaz d'échappement, la direction du flux d'air peut être modifiée, provoquant la fuite de polluants ou une diminution de l'efficacité de la collecte.

Lors de l'inspection, vous devez confirmer :

• Si la direction de l'alimentation en air pointe vers l'orifice d'échappement ;

• Si l'air soufflé forme un flux transversal dans la zone de collecte des gaz d'échappement ;

• Si le volume d'alimentation en air est trop important, perturbant le flux d'air évacué ;

• La position du siphon doit-elle être ajustée ?

Pour la relation entre la collecte des gaz d'échappement et l'alimentation en air propre, veuillez vous référer à Que dois-je faire si la propreté de l'équipement de traitement diminue après son démarrage ? , pour comprendre l'impact des changements d'échappement sur le débit d'air.

Enquête sur la contamination en retour d'aspiration

Le refoulement de pollution signifie que le flux d’air dans la zone d’échappement est réinhalé dans l’alimentation en air propre ou à l’intérieur de l’équipement. Le symptôme est qu'après le démarrage de l'échappement, les particules à l'intérieur de l'équipement ou dans la zone protégée augmentent.

Lorsque vous jugez, vous devez vérifier :

• Modifications des particules dans la zone de protection avant et après le début de l'échappement ;

• Si la position de l’entrée d’air de l’EFU est affectée par l’échappement ;

• Si la différence de pression à l'intérieur de l'équipement change ;

• Si l'échappement et l'air supplémentaire sont équilibrés.

Pour des idées de dépannage concernant la ré-aspiration de contamination, veuillez vous référer à Comment distinguer la contamination externe et interne lorsque les particules dépassent la norme ? , découvrez les méthodes de différenciation des sources.

Bilan d'alimentation et d'évacuation d'air et différence de pression de l'équipement

L’alimentation en air et l’évacuation de l’équipement de gravure doivent être équilibrées. Si le volume d'échappement est supérieur au volume d'air fourni, une pression négative peut se former à l'intérieur de l'équipement, aspirant l'air ambiant par les interstices. Si le volume d’alimentation en air pur est trop important, cela peut interférer avec la collecte des gaz d’échappement.

Besoin de confirmer :

• Direction de la différence de pression à l’intérieur de l’équipement ;

• Si le volume d'échappement et le volume d'air supplémentaire sont équilibrés ;

• La différence de pression est-elle stable lors du changement d'air évacué ?

• Si le débit d'air est contrôlable lorsque la porte de maintenance est ouverte.

Pour le calcul du bilan volumique d'air, veuillez vous référer à Comment convertir la zone propre en demande d’approvisionnement en air ? , comprenez la méthode de correspondance du volume d'alimentation en air et du volume d'air évacué.

La tringlerie d’alimentation et d’échappement d’air nécessite des signaux clairs

La commutation des gaz d'échappement modifiera la pression interne de l'équipement et la logique de liaison doit être confirmée :

• Comment l’alimentation en air propre réagit-elle lorsque l’évacuation démarre ?

• Comment gérer l'équipement en cas de panne d'échappement ;

• Comment commuter l'alimentation et l'évacuation d'air en état de maintenance ;

• Procédures d'alarme et de traitement en cas de situations anormales.

La logique de liaison doit être précisée dans le plan plutôt que d'être temporairement ajustée sur place. Pour obtenir des instructions sur les méthodes de contrôle, veuillez vous référer à Comment les EFU côté équipement et les FFU côté salle se répartissent-elles leur travail ? Comprendre la répartition du travail de contrôle entre le côté équipement et le côté salle.

La vérification doit couvrir les états de fonctionnement, de veille et de maintenance.

La vérification de l’épuration autour des équipements de gravure doit couvrir différents états de fonctionnement :

• Fonctionnement normal : l'échappement du processus et l'alimentation en air propre fonctionnent en même temps ;

• État de veille : la partie d'échappement est en marche ou arrêtée ;

• Etat de maintenance : L'appareil est allumé et des opérations de maintenance sont en cours.

Les conditions de circulation d'air sont différentes selon les États et les résultats de la vérification doivent être enregistrés séparément. Pour déterminer l'état de fonctionnement de l'équipement lors de la réception, veuillez vous référer à Quels équipements doivent être opérationnels lors de la réception ?。

Exemple de jugement de projet

Après le démarrage de l'échappement d'un certain équipement de gravure, les particules internes ont augmenté. L'enquête a révélé que l'entrée d'air de l'EFU était située en aval du chemin de diffusion des gaz d'échappement et que la pollution était inhalée. Méthode de réglage : ajustez la position d'entrée d'air de l'EFU pour la maintenir éloignée de la plage d'influence des gaz d'échappement. Les particules sont tombées après ajustement.

Dans un autre projet, l'alimentation en air pur est soufflée vers l'orifice de collecte des gaz d'échappement et l'efficacité des gaz d'échappement diminue. Méthode de réglage : ajustez la direction de l'alimentation en air et le volume d'air pour réduire les interférences avec le flux d'air évacué. Après réglage, la collecte de l’air évacué est revenue à la normale.

Ces deux situations illustrent que l'épuration autour de l'équipement de gravure doit prendre en compte à la fois la protection de la propreté et le captage des gaz d'échappement pour éviter que les deux ensembles de flux d'air n'interfèrent l'un avec l'autre.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

La purification autour des équipements de gravure nécessite le traitement simultané de deux types de flux d’air : l’alimentation en air propre et l’échappement du procédé. Aili Industrial possède des capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et de l'assemblage complet de machines. Il peut vérifier la position d'entrée d'air de l'EFU, la direction de l'alimentation en air, l'équilibre du volume d'air et la logique de liaison en fonction de la position d'échappement de l'équipement, des exigences de protection propre et des conditions d'espace pour aider à réduire la pollution par l'aspiration et les interférences du flux d'air. Vous pouvez consulter le package d'équipement Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , veuillez vous référer à l'emballage du filtre. Filtres HEPA et ULPA , veuillez vous référer à l'alimentation en air ambiant Produits d'alimentation en air pur FFU。