Wie vermeidet man Prozessabgase bei der Reinigung rund um die Ätzanlage?

Bei Ätzprozessen entstehen häufig Prozessabgase, die Partikel, korrosive Gase oder andere Substanzen enthalten können, die eine kontrollierte Emission erfordern. Wenn rund um das Gerät gleichzeitig saubere Luft zugeführt wird, müssen die beiden Luftströme koordiniert werden: Die saubere Luftzufuhr darf die Abgassammlung nicht beeinträchtigen und das Abgas darf keine Schadstoffe in den Einlass der Reinluftzufuhr bringen.

Der richtige Umgang mit dem Verhältnis zwischen Reinluftzufuhr und Prozessabluft ist eine Voraussetzung für die Reinigung der Umgebung von Ätzanlagen. Im Folgenden wird von den folgenden Aspekten ausgegangen: regionale Abgrenzung, Lufteinlassposition, Luftzufuhr- und -abluftgleichgewicht und Verbindungsstatus.

Unterscheiden Sie zwischen sauberem Schutzbereich und Abluftbereich

In der Umgebung von Ätzgeräten gibt es normalerweise zwei Arten von Bereichen:

• Saubere Schutzzone: Orte, an denen lokale Sauberkeit erforderlich ist, z. B. beim Wafertransfer, beim Laden und bei der Wartung;

• Abluftbereich: Orte, an denen Prozessabgase, Vakuumpumpenabgase und Wartungsabgase erfasst und abgeleitet werden müssen.

Die Luftstromziele für die beiden Arten von Bereichen sind unterschiedlich. Die Versorgung mit sauberer Luft soll sensible Bereiche schützen und die Abluft soll Schadstoffe auffangen und ableiten. Bei der Planung sollten zunächst die Grenzen zwischen den beiden Arten von Bereichen klar definiert werden, um zu vermeiden, dass sich die beiden Luftströmungen gegenseitig beeinträchtigen.

Wenn es sich um gefährliche Materialien handelt, kann die Versorgung mit sauberer Luft keine spezielle Absaugung, Isolierung oder Sicherheitsvorkehrungen ersetzen. Auf die entsprechende Luftstromplanung kann verwiesen werden Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? , um die Luftströmungsorganisation im Hohlraum zu verstehen.

Die Position des EFU-Lufteinlasses sollte den Einfluss von Abgasen vermeiden

Die Lufteinlassposition des EFU auf der Geräteseite bestimmt, welche Luft er einatmet. Wenn sich der Lufteinlass in der Nähe des Abgasauslasses oder des Abgasdiffusionsbereichs befindet, können Schadstoffe angesaugt und dann in den geschützten Bereich geleitet werden.

Bei der Auswahl des Lufteinlassorts sollten Sie Folgendes bestätigen:

• Ob der Lufteinlass weit vom Abluftauslass entfernt ist;

• Ob sich der Lufteinlass stromabwärts des Abgasdiffusionspfads befindet;

• Ob sich rund um den Lufteinlass lokale Verschmutzungsquellen befinden;

• Ob unabhängige Luftansaugung oder Vorbehandlung erforderlich ist.

Verwenden Sie bei Bedarf unabhängige Luftquellen, anstatt standardmäßig die Umgebungsluft in der Nähe als geeignet für die Umwälzung zu verwenden. Auf die EFU-Konfiguration kann verwiesen werden Die EFU-Lüfterfiltereinheit am Geräteende wählt eine Struktur basierend auf den Platz- und Lufteinlassbedingungen aus.

Die Zufuhr sauberer Luft sollte die Abgaserfassung nicht beeinträchtigen

Wenn die saubere Luft in den Abgassammelbereich bläst, kann sich die Richtung des Luftstroms ändern, was dazu führt, dass Schadstoffe austreten oder die Sammeleffizienz abnimmt.

Bei der Inspektion sollten Sie Folgendes bestätigen:

• Ob die Luftzufuhrrichtung zur Auslassöffnung zeigt;

• Ob die Zuluft im Abluftsammelbereich einen Querstrom bildet;

• Ob das Luftzufuhrvolumen zu groß ist und den Abluftstrom stört;

• Muss die Position der Abgasfalle angepasst werden?

Informationen zum Zusammenhang zwischen Abgassammlung und Reinluftversorgung finden Sie unter Was soll ich tun, wenn die Sauberkeit der Prozessausrüstung nach dem Start nachlässt? , um die Auswirkungen von Abgasänderungen auf den Luftstrom zu verstehen.

Untersuchung der Kontaminationsrücksaugung

Verschmutzungsrückstrom bedeutet, dass der Luftstrom im Abluftbereich wieder in die Reinluftversorgung oder in das Innere des Geräts eingeatmet wird. Das Symptom besteht darin, dass nach Beginn der Absaugung die Partikel im Inneren des Geräts oder im geschützten Bereich zunehmen.

Bei der Beurteilung sollten Sie Folgendes prüfen:

• Veränderungen der Partikel im Schutzbereich vor und nach Abgasstart;

• Ob die Position des EFU-Lufteinlasses durch den Auspuff beeinflusst wird;

• Ob sich der Druckunterschied innerhalb des Geräts ändert;

• Ob Abluft und Zusatzluft im Gleichgewicht sind.

Hinweise zur Fehlerbehebung bei der Rücksaugung von Verunreinigungen finden Sie unter Wie kann man äußere und innere Kontamination unterscheiden, wenn die Partikel den Standard überschreiten? Erfahren Sie mehr über Quellendifferenzierungsmethoden.

Luftzufuhr- und Abgasgleichgewicht und Gerätedruckdifferenz

Die Luftzufuhr und -abluft von Ätzgeräten muss ausgeglichen sein. Ist das Abluftvolumen größer als das Zuluftvolumen, kann sich im Geräteinneren ein Unterdruck bilden, der Umgebungsluft aus den Zwischenräumen ansaugt. Wenn das Volumen der Reinluftzufuhr zu groß ist, kann dies die Abgassammlung beeinträchtigen.

Muss bestätigt werden:

• Richtung der Druckdifferenz im Inneren des Geräts;

• Ob Abluftvolumen und Zusatzluftvolumen im Gleichgewicht sind;

• Ist die Druckdifferenz beim Umschalten der Abluft stabil?

• Ob der Luftstrom bei geöffneter Wartungstür steuerbar ist.

Informationen zur Berechnung der Luftmengenbilanz finden Sie unter Wie lässt sich die Reinraumfläche in den Luftversorgungsbedarf umrechnen? , verstehen Sie die Anpassungsmethode von Luftzufuhrvolumen und Abluftvolumen.

Luftzufuhr- und Abluftgestänge erfordern klare Signale

Durch die Abgasumschaltung ändert sich der Innendruck des Geräts, und die Verknüpfungslogik sollte bestätigt werden:

• Wie reagiert die Reinluftzufuhr beim Starten der Absaugung?

• Umgang mit der Anlage bei einem Abgasausfall;

• So schalten Sie Luftzufuhr und Abluft im Wartungsstatus um;

• Alarm- und Handhabungsverfahren in anormalen Situationen.

Die Verknüpfungslogik sollte im Plan festgelegt werden und nicht vorübergehend vor Ort angepasst werden. Anweisungen zu Kontrollmethoden finden Sie unter Wie teilen sich die geräteseitige EFU und die raumseitige FFU ihre Arbeit auf ? Verstehen Sie die Kontrollarbeitsteilung zwischen der Geräteseite und der Raumseite.

Die Überprüfung sollte die Betriebs-, Standby- und Wartungszustände umfassen

Die Überprüfung der Reinigung rund um Ätzanlagen sollte verschiedene Betriebszustände abdecken:

• Normalbetrieb: Prozessabsaugung und Reinluftzufuhr arbeiten gleichzeitig;

• Standby-Zustand: Der Abgasteil läuft oder ist gestoppt;

• Wartungsstatus: Das Gerät ist eingeschaltet und Wartungsvorgänge werden ausgeführt.

Die Luftströmungsbedingungen sind in verschiedenen Bundesstaaten unterschiedlich und die Überprüfungsergebnisse sollten separat aufgezeichnet werden. Um den Betriebszustand des Geräts während der Abnahme zu ermitteln, lesen Sie bitte Welche Geräte sollen bei der Abnahme in Betrieb sein?。

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Nachdem die Abgase einer bestimmten Ätzanlage gestartet wurden, nahmen die internen Partikel zu. Die Untersuchung ergab, dass sich der EFU-Lufteinlass stromabwärts des Abgasdiffusionspfads befand und Schadstoffe eingeatmet wurden. Einstellmethode: Passen Sie die Position des EFU-Lufteinlasses an, um ihn vom Einflussbereich der Abgase fernzuhalten. Die Partikel fielen nach der Anpassung ab.

Bei einem anderen Projekt bläst die Reinluftzufuhr zur Abgassammelöffnung und die Abgaseffizienz nimmt ab. Einstellmethode: Passen Sie die Luftzufuhrrichtung und die Luftmenge an, um Störungen des Abluftstroms zu reduzieren. Nach der Anpassung normalisierte sich die Abluftansammlung wieder.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass bei der Reinigung rund um die Ätzanlage sowohl der Sauberkeitsschutz als auch die Abgasabscheidung berücksichtigt werden müssen, um zu verhindern, dass sich die beiden Luftströme gegenseitig beeinträchtigen.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Die Reinigung rund um Ätzanlagen erfordert die gleichzeitige Behandlung von zwei Arten von Luftströmen: Reinluftzufuhr und Prozessabluft. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und der kompletten Maschinenmontage. Es kann die EFU-Lufteinlassposition, die Luftzufuhrrichtung, das Luftvolumengleichgewicht und die Verbindungslogik basierend auf der Auslassposition des Geräts, den Anforderungen an sauberen Schutz und den Platzverhältnissen überprüfen, um dabei zu helfen, die Rücksaugung von Verschmutzungen und Störungen des Luftstroms zu reduzieren. Das Ausstattungspaket können Sie einsehen EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , siehe Filterpaket. HEPA- und ULPA-Filter entnehmen Sie bitte der Raumluftversorgung FFU-Produkte für saubere Luftversorgung。