Wie kann man äußere und innere Kontamination unterscheiden, wenn die Partikel den Standard überschreiten?

Wenn die Partikel im Reinraum den Standard überschreiten, bestimmt häufig die Untersuchungsrichtung die Verarbeitungseffizienz. Äußere Verschmutzung kommt von außerhalb des Bereichs und dringt durch Türen, Fenster, Materialien, Personal oder zusätzliche Luft ein; Innerhalb des Bereichs entsteht interne Verschmutzung durch Geräte, Personal, Materialien oder Prozessvorgänge. Die Verarbeitungsmethoden der beiden sind unterschiedlich. Wenn Sie die falsche Richtung einschätzen, verschwenden Sie möglicherweise Zeit mit der Fehlerbehebung.

Ein einzelner hoher Messwert kann die Quelle nicht direkt bestimmen. Die Unterscheidung zwischen extern und intern erfordert eine umfassende Beurteilung auf der Grundlage der anormalen Lage, der Zeitkorrelation, des Luftströmungswegs sowie der vor- und nachgelagerten Probenahme.

Lassen Sie uns zunächst die gemeinsamen Wege der beiden Verschmutzungsarten klären.

Häufige Eintrittswege für externe Kontamination:

• Das Öffnen von Türen und Fenstern sowie das Ein- und Aussteigen von Personen;

• Einbringen von Materialien und Verpackungen;

• Frischluft- und Frischluftsysteme;

• Transferfenster und Materialkanäle;

• Lücken in der Gebäudehülle.

Häufige Quellen interner Kontamination:

• Verschleiß und Bewegung des Gerätemechanismus;

• Personalkleidung und Bewegung;

• Auspacken und Umschlagen des Materials;

• Werkzeugreibung und Vorrichtungswirkung;

• Prozess- und Abgasumschaltung.

Die beiden Verschmutzungsarten können gleichzeitig auftreten oder ineinander übergehen. Beispielsweise dringen Fremdpartikel ein, setzen sich ab und werden dann durch menschliches Handeln angehoben, wodurch eine interne Resuspension entsteht.

Grenzen Sie den Umfang durch laufende Ereignisse ein

Bei der Fehlersuche sollten Partikelanomalien mit Betriebsereignissen abgeglichen werden:

• Die Zeit zum Öffnen der Tür sowie zum Ein- und Aussteigen;

• Materialein- und -ausgang sowie Auspackzeit;

• Klima- und Abgasanlagen starten und stoppen;

• Betriebsphasen von Prozessanlagen;

• Reinigungs- und Wartungszeiten.

Wenn die Anomalie mit dem Öffnen der Tür zusammenfällt, ist eine externe Kontamination wahrscheinlicher; Wenn die Anomalie mit der Geräteaktion synchronisiert ist, ist eine interne Kontamination wahrscheinlicher. Bitte beachten Sie die Fehlerbehebungsmethode für Partikel, die nach dem Betreten von Personen aufsteigen. Wie lässt sich die Ursache für die erhöhte Partikelzahl nach Eintritt des Personals ermitteln?。

Bestimmen Sie den Pfad basierend auf der Upstream- und Downstream-Probenahme

Durch die Entnahme von Proben vor und nach der vermuteten Quelle kann festgestellt werden, ob Partikel eindringen oder entstehen. Wenn die Konzentration stromaufwärts hoch und die Konzentration stromabwärts niedrig ist, bedeutet dies, dass die Partikel möglicherweise an der Quelle erzeugt werden und sich dann ausbreiten; Wenn die Konzentration stromabwärts hoch und die Konzentration stromaufwärts niedrig ist, bedeutet dies, dass die Partikel über andere Wege eindringen können.

Probenahmestellen sollten so angeordnet werden, dass sie vermutete Quellen und Luftströmungswege abdecken. Für repräsentative Fragen zu Probenahmeorten wenden Sie sich bitte an Warum kann die Probenahmestelle nicht direkt unterhalb des Luftzufuhrauslasses liegen?。

Beobachten Sie den Luftstromweg, um die Eingangsrichtung zu bestätigen

Die Visualisierung des Luftstroms kann dabei helfen, die Richtung des Partikeleintritts zu bestimmen. Die Visualisierung kann Luftströmungspfade anzeigen, wenn Partikel durch Türen oder Öffnungen eindringen, und eine lokale Staubentwicklung, wenn Partikel in der Nähe von Geräten erzeugt werden.

Bei der Beurteilung des Luftstrompfads müssen die Rückluft- und Abluftbedingungen kombiniert werden. Informationen zu den Auswirkungen des Reflow-Bereichs und des Luftstrom-Kurzschlusses finden Sie unter Warum sammeln sich im Rücklaufbereich leicht Verunreinigungen an? Und Welche Partikelprobleme können Luftkurzschlüsse verursachen?。

Merkmale der Außenverschmutzung

Äußere Verschmutzung weist in der Regel folgende Merkmale auf:

• Relevant für den Zeitpunkt des Türöffnens, des Ein- und Ausstiegs von Personal oder des Ein- und Ausstiegs von Material;

• In der Nähe von Eingängen oder Öffnungen sind die Konzentrationen höher;

• Der Einflussbereich hängt vom Luftströmungsweg ab;

• Nach dem Abschalten des externen Eingangs kann die Partikelkonzentration sinken;

• Kann gleichzeitig in verschiedenen Bereichen auftreten.

Die Behandlungsrichtung externer Verschmutzung umfasst normalerweise die Verbesserung der Einlassisolierung, die Anpassung der Druckdifferenz, die Verbesserung der Materialreinigung und die Optimierung des Personalflusses.

Merkmale der inneren Kontamination

Interne Verunreinigungen weisen in der Regel folgende Merkmale auf:

• Synchronisiert mit Geräteaktionen, Personalabläufen oder Prozessprozessen;

• In der Nähe des Staubentstehungsorts ist die Konzentration höher;

• Der Einflussbereich hängt vom lokalen Luftstrom ab;

• Nach Beendigung der Staubentwicklung kann die Konzentration allmählich abnehmen;

• Kann sich auf bestimmte Arbeitsplätze oder Geräte konzentrieren.

Die Behandlungsrichtung interner Verschmutzung umfasst in der Regel die Quellenisolierung, lokale Absaugung, die Anpassung der Luftströmungswege und die Optimierung der Betriebsabläufe. Informationen zu den Auswirkungen nach der Inbetriebnahme der Prozessausrüstung finden Sie unter Was soll ich tun, wenn die Sauberkeit der Prozessausrüstung nach dem Start nachlässt?。

Ein einzelner hoher Messwert kann die Quelle nicht direkt bestimmen

Manchmal kommt es während einer Komplettlösung zu einem einzelnen hohen Messwert. Ein einzelner hoher Messwert kann auf eine plötzliche Staubentwicklung, Probenahmestörungen oder Instrumentenschwankungen zurückzuführen sein und kann nicht direkt als Grundlage für die Quellenbestimmung verwendet werden.

Das Urteil sollte in Verbindung mit Folgendem erfolgen:

• Gibt es Wiederholbarkeit?

• Ob es mit einem bestimmten Ereignis synchronisiert ist;

• Ob die Upstream- und Downstream-Daten konsistent sind;

• Ob der Luftstrompfad die Quelle unterstützt.

Treten an mehreren Stellen gleichzeitig Anomalien auf, sollten systemische Ursachen Vorrang haben; Wenn nur lokale Standorte anormal sind, sollte auf die lokale Staubentstehung oder -eintragung geachtet werden.

Vorschläge und Aufzeichnungen zur Fehlerbehebung

Um auf äußere und innere Verunreinigungen zu prüfen, wird empfohlen, die folgenden Schritte zu befolgen:

• Notieren Sie ungewöhnliche Zeiten, Orte und Konzentrationen.

• Korrelieren Sie Türöffnungs-, Personal-, Material- und Ausrüstungsereignisse;

• Probenahme stromaufwärts bzw. stromabwärts;

• Beachten Sie den Luftstromweg und die Eintrittsrichtung.

• Aufgeschlüsselter Ausschluss, um zu vermeiden, dass mehrere Variablen gleichzeitig geändert werden;

• Notieren Sie die Bedingungen und Ergebnisse jeder Untersuchung.

Die Aufschlüsselung hilft dabei, Ursache-Wirkungs-Beziehungen herzustellen, anstatt intuitive Urteile zu fällen. Wenn es um die Versiegelung und den Filterstatus der Ausrüstung geht, lesen Sie bitte Was ist bei der Annahme von Reinigungsgeräten zu beachten?。

Geräteauswahl und Terminalanpassung

Die Fehlerbehebung betrifft die Geräte- und Filterkonfiguration. Weitere Informationen finden Sie unter FFU-Produkte für saubere Luftversorgung und EFU-Geräteseitenventilator-Filtereinheit . Anforderungen an Filterinstallation, Abdichtung und Leckerkennung können erlernt werden HEPA- und ULPA-Filter . Wenn Sie sich über den Unterschied zwischen Platzbedarf und Filtereffizienz noch nicht im Klaren sind, können Sie hier nachlesen Was ist der Unterschied zwischen Reinheitsgrad und Filtrationseffizienz?。

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Die Partikelanomalien in einem bestimmten Projekt waren mit der Türöffnungszeit synchronisiert und die Konzentration in der Nähe des Eingangs war hoch. Die Untersuchung bestätigte, dass durch die Tür eine äußere Kontamination eingedrungen ist. Anpassungsmethode: Einlassisolierung verbessern, Druckdifferenz anpassen und Pufferung erhöhen. Nach der Einstellung wird der Partikelspitzenwert beim Öffnen der Tür reduziert.

In einem anderen Projekt wurden Partikelanomalien mit den Bewegungen des Manipulators synchronisiert und die Konzentration in der Nähe der Ausrüstung war hoch. Überprüfen Sie, ob die interne Staubproduktion erfolgt. Anpassungsmethode: Den stauberzeugenden Mechanismus isolieren, den lokalen Luftstrom anpassen und die Abluft erhöhen. Die Partikel fielen nach der Anpassung ab.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass die Unterscheidung von äußerer und innerer Verschmutzung eine umfassende Beurteilung auf der Grundlage von Zeit, Ort, Luftströmungsweg sowie vor- und nachgelagerten Daten erfordert und sich nicht ausschließlich auf einen einzigen Messwert verlassen kann.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Die Unterscheidung von äußerer und innerer Kontamination erfordert eine umfassende Beurteilung auf der Grundlage des Gerätebetriebs, der Luftströmungswege und der Betriebsaufzeichnungen. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und der kompletten Maschinenmontage. Es kann bei der Überprüfung von Filterdichtungen, Luftzufuhrstatus, Rückluftwegen und Betriebseinstellungen während des Untersuchungsprozesses zusammenarbeiten und so dem Projekt dabei helfen, die Quelle der Verschmutzung einzugrenzen, anstatt auf der Grundlage eines einzigen Messwerts zu urteilen. Konkrete Modelle können besichtigt werden FFU-Produkte zur Luftreinhaltung und unterstützende Ausrüstung können besichtigt werden EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , siehe Filterpaket. HEPA- und ULPA-Filter。