Làm thế nào để tránh khí thải trong quá trình thanh lọc xung quanh thiết bị khắc?

Quá trình ăn mòn thường đi kèm với khí thải của quá trình, có thể chứa các hạt, khí ăn mòn hoặc các chất khác cần kiểm soát lượng khí thải. Nếu có nguồn cung cấp không khí sạch xung quanh thiết bị cùng lúc thì hai luồng không khí cần được phối hợp: nguồn cung cấp không khí sạch không thể cản trở quá trình thu gom khí thải và khí thải không thể đưa chất ô nhiễm vào đầu vào cấp khí sạch.

Xử lý đúng cách mối quan hệ giữa nguồn cung cấp không khí sạch và khí thải của quy trình là điều kiện tiên quyết để làm sạch môi trường xung quanh thiết bị khắc. Những điều sau đây sẽ bắt đầu từ các khía cạnh sau: phân định khu vực, vị trí cửa vào không khí, cân bằng cấp và xả không khí và trạng thái liên kết.

Phân biệt khu vực bảo vệ sạch và khu vực xả khí

Thường có hai loại khu vực xung quanh thiết bị khắc:

• Vùng bảo vệ sạch: các vị trí yêu cầu độ sạch cục bộ như vận chuyển, tải và bảo trì wafer;

• Khu vực xả: Các vị trí cần thu gom khí thải quá trình, khí thải bơm chân không và khí thải bảo trì.

Mục tiêu luồng không khí cho hai loại khu vực là khác nhau. Nguồn cung cấp không khí sạch sẽ bảo vệ các vị trí nhạy cảm và khí thải sẽ thu giữ các chất ô nhiễm và thải chúng ra ngoài. Khi thiết kế, ranh giới giữa hai loại diện tích trước tiên cần được xác định rõ ràng để tránh hai luồng gió cản trở lẫn nhau.

Khi có vật liệu nguy hiểm, nguồn cung cấp không khí sạch không thể thay thế ống xả, cách ly hoặc bảo vệ an toàn chuyên dụng. Lập kế hoạch luồng không khí liên quan có thể được tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào? , để hiểu cách tổ chức luồng không khí bên trong khoang.

Vị trí hút gió EFU nên tránh ảnh hưởng của khí thải

Vị trí hút gió của EFU ở phía thiết bị xác định loại khí nó hít vào. Nếu cửa hút gió gần cửa xả hoặc khu vực khuếch tán khí thải, các chất ô nhiễm có thể bị hút vào rồi đưa vào khu vực được bảo vệ.

Khi chọn vị trí cửa gió vào, bạn nên xác nhận:

• Cửa hút gió có xa cửa xả hay không;

• Liệu đầu vào không khí có nằm ở cuối đường khuếch tán khí thải hay không;

• Xung quanh cửa hút gió có nguồn ô nhiễm cục bộ hay không;

• Cần phải có lượng khí nạp độc lập hay tiền xử lý.

Sử dụng các nguồn không khí độc lập khi cần thiết thay vì mặc định sử dụng không khí xung quanh gần đó để phù hợp cho việc tuần hoàn. Cấu hình EFU có thể tham khảo Bộ lọc quạt phía thiết bị EFU chọn cấu trúc dựa trên điều kiện không gian và cửa hút gió.

Nguồn cung cấp không khí sạch sẽ không cản trở việc thu giữ khí thải

Nếu không khí sạch thổi vào khu vực thu gom khí thải, hướng của luồng không khí có thể bị thay đổi, khiến các chất ô nhiễm thoát ra ngoài hoặc hiệu suất thu gom giảm.

Trong quá trình kiểm tra, bạn nên xác nhận:

• Hướng cấp khí có hướng tới cổng xả hay không;

• Liệu khí cấp có tạo thành dòng chảy chéo trong khu vực thu gom khí thải hay không;

• Khối lượng cung cấp không khí có quá lớn, làm xáo trộn luồng khí thải hay không;

• Vị trí của bẫy khí thải có cần phải điều chỉnh không?

Để biết mối quan hệ giữa việc thu gom khí thải và cung cấp không khí sạch, vui lòng tham khảo Tôi nên làm gì nếu độ sạch của thiết bị xử lý giảm xuống sau khi khởi động? , để hiểu tác động của sự thay đổi khí thải đến luồng không khí.

Điều tra ô nhiễm hút ngược

Luồng khí ô nhiễm ngược có nghĩa là luồng không khí trong khu vực xả khí được hít lại vào nguồn cung cấp không khí sạch hoặc bên trong thiết bị. Triệu chứng là sau khi bắt đầu xả khí, các hạt bên trong thiết bị hoặc trong khu vực được bảo vệ sẽ tăng lên.

Khi đánh giá, bạn nên kiểm tra:

• Sự thay đổi các hạt trong khu vực bảo vệ trước và sau khi bắt đầu xả khí;

• Vị trí của cửa hút gió EFU có bị ảnh hưởng bởi khí thải hay không;

• Liệu chênh lệch áp suất bên trong thiết bị có thay đổi hay không;

• Khí thải và không khí bổ sung có cân bằng hay không.

Để biết các ý tưởng khắc phục sự cố khi hút ngược ô nhiễm, vui lòng tham khảo Làm thế nào để phân biệt ô nhiễm bên ngoài và bên trong khi hạt vượt quá tiêu chuẩn? , tìm hiểu về các phương pháp phân biệt nguồn.

Cân bằng khí cấp và khí thải và chênh lệch áp suất thiết bị

Việc cung cấp không khí và khí thải của thiết bị khắc cần phải được cân bằng. Nếu thể tích khí thải lớn hơn thể tích không khí cung cấp, áp suất âm có thể hình thành bên trong thiết bị, hút không khí xung quanh từ các khe hở. Nếu lượng cung cấp không khí sạch quá lớn, nó có thể cản trở việc thu gom khí thải.

Cần phải xác nhận:

• Hướng chênh lệch áp suất bên trong thiết bị;

• Lượng khí thải và lượng không khí bổ sung có cân bằng hay không;

• Chênh lệch áp suất có ổn định khi chuyển đổi khí thải không?

• Liệu luồng không khí có được kiểm soát hay không khi cửa bảo trì mở.

Để tính toán cân bằng thể tích không khí, vui lòng tham khảo Làm thế nào để chuyển đổi diện tích khu vực sạch thành nhu cầu cung cấp không khí? , hiểu phương pháp kết hợp lượng khí cấp và lượng khí thải.

Liên kết cấp và xả khí cần có tín hiệu rõ ràng

Việc chuyển đổi khí thải sẽ thay đổi áp suất bên trong của thiết bị và cần xác nhận logic liên kết:

• Nguồn cung cấp không khí sạch phản ứng thế nào khi khí thải bắt đầu hoạt động?

• Cách xử lý thiết bị khi xảy ra sự cố ống xả;

• Cách chuyển đổi nguồn cấp và xả khí ở trạng thái bảo trì;

• Quy trình báo động và xử lý trong các tình huống bất thường.

Logic liên kết nên được chỉ định trong kế hoạch thay vì điều chỉnh tạm thời tại chỗ. Để biết hướng dẫn về các phương pháp điều khiển, vui lòng tham khảo EFU bên thiết bị và FFU bên phòng phân chia lao động như thế nào ? Hiểu được sự phân công điều khiển giữa phía thiết bị và phía phòng.

Việc xác minh phải bao gồm các trạng thái chạy, chờ và bảo trì

Việc xác minh quá trình làm sạch xung quanh thiết bị khắc phải bao gồm các trạng thái vận hành khác nhau:

• Vận hành bình thường: quá trình khí thải và cấp khí sạch hoạt động cùng lúc;

• Trạng thái chờ: bộ phận xả đang chạy hoặc dừng;

• Trạng thái bảo trì: Thiết bị đang bật và hoạt động bảo trì đang được tiến hành.

Các điều kiện luồng không khí khác nhau ở các trạng thái khác nhau và kết quả xác minh phải được ghi lại riêng biệt. Để xác định trạng thái hoạt động của thiết bị trong quá trình nghiệm thu, vui lòng tham khảo Thiết bị nào nên được vận hành trong quá trình nghiệm thu?。

Ví dụ về đánh giá dự án

Sau khi khí thải của một thiết bị khắc nào đó được khởi động, các hạt bên trong tăng lên. Cuộc điều tra cho thấy cửa hút gió EFU nằm ở hạ lưu của đường khuếch tán khí thải và chất ô nhiễm đã được hít vào. Phương pháp điều chỉnh: Điều chỉnh vị trí cửa hút gió EFU để tránh xa phạm vi ảnh hưởng của khí thải. Các hạt rơi xuống sau khi điều chỉnh.

Trong một dự án khác, nguồn cung cấp không khí sạch thổi vào cổng thu gom khí thải và hiệu suất khí thải giảm. Phương pháp điều chỉnh: Điều chỉnh hướng cấp khí và lượng không khí để giảm nhiễu với luồng khí thải. Sau khi điều chỉnh, việc thu khí thải trở lại bình thường.

Hai tình huống này minh họa rằng quá trình thanh lọc xung quanh thiết bị khắc phải xem xét cả khả năng bảo vệ độ sạch và thu giữ khí thải để tránh hai luồng khí này gây nhiễu lẫn nhau.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Việc thanh lọc xung quanh thiết bị khắc đòi hỏi phải xử lý đồng thời hai loại luồng không khí: cung cấp không khí sạch và khí thải của quá trình. Aili Industrial có khả năng hợp tác về quạt, động cơ, bộ lọc, hệ thống điều khiển và lắp ráp máy hoàn chỉnh. Nó có thể kiểm tra vị trí cửa hút gió EFU, hướng cấp khí, cân bằng thể tích không khí và logic liên kết dựa trên vị trí xả khí của thiết bị, yêu cầu bảo vệ sạch sẽ và điều kiện không gian để giúp giảm tình trạng hút ngược ô nhiễm và cản trở luồng không khí. Có thể xem hỗ trợ phía thiết bị Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , vui lòng tham khảo gói bộ lọc. Bộ lọc HEPA và ULPA , vui lòng tham khảo nguồn cung cấp không khí trong phòng Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU。