Как избежать технологических выбросов при очистке травильного оборудования?

Процессы травления часто сопровождаются выхлопными газами, которые могут содержать частицы, агрессивные газы или другие вещества, выбросы которых требуют контролируемых выбросов. Если вокруг оборудования одновременно имеется подача чистого воздуха, необходимо скоординировать два набора потоков воздуха: подача чистого воздуха не может мешать сбору выхлопных газов, а выхлопные газы не могут приносить загрязняющие вещества во входное отверстие для подачи чистого воздуха.

Правильный контроль соотношения между подачей чистого воздуха и вытяжкой технологического процесса является обязательным условием очистки среды, окружающей травильное оборудование. Дальнейшее будет начинаться со следующих аспектов: региональное разграничение, положение воздухозаборника, баланс подачи и вытяжки воздуха, а также состояние связи.

Различайте чистую защитную зону и зону выхлопа.

Вокруг травильного оборудования обычно выделяют два типа зон:

• Чистая защитная зона: места, требующие локальной чистоты, такие как транспортировка пластин, загрузка и обслуживание;

• Зона выхлопа: Места, где необходимо улавливать и сбрасывать технологические выхлопы, выхлопы вакуумного насоса и ремонтные выхлопы.

Целевые показатели воздушного потока для двух типов помещений различны. Подача чистого воздуха должна защищать чувствительные места, а вытяжка должна улавливать загрязняющие вещества и выбрасывать их. При проектировании сначала следует четко определить границы между двумя типами зон, чтобы избежать взаимодействия двух групп воздушных потоков друг с другом.

Когда речь идет об опасных материалах, подача чистого воздуха не может заменить специальную вытяжку, изоляцию или защиту. Соответствующее планирование воздушного потока можно найти в разделе Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , чтобы понять организацию воздушного потока внутри полости.

Положение воздухозаборника EFU должно исключать влияние выхлопных газов.

Положение воздухозаборника EFU на стороне устройства определяет, какой воздух он вдыхает. Если воздухозаборник находится рядом с выпускным отверстием или зоной диффузии выхлопных газов, загрязняющие вещества могут всасываться и затем направляться в защищаемую зону.

При выборе места воздухозаборника необходимо подтвердить:

• Находится ли воздухозаборник далеко от выхлопного отверстия;

• находится ли воздухозаборник после пути диффузии выхлопных газов;

• Есть ли локальные источники загрязнения вокруг воздухозаборника;

• Требуется ли независимый забор воздуха или предварительная обработка.

При необходимости используйте независимые источники воздуха, а не по умолчанию используйте близлежащий окружающий воздух, подходящий для рециркуляции. Конфигурация EFU может относиться к Вентиляторный фильтрующий блок на стороне оборудования EFU выбирает конструкцию с учетом условий помещения и воздухозаборника.

Подача чистого воздуха не должна мешать улавливанию выхлопных газов.

Если чистый воздух попадает в зону сбора выхлопных газов, направление воздушного потока может измениться, что приведет к утечке загрязняющих веществ или снижению эффективности сбора.

В ходе проверки необходимо подтвердить:

• указывает ли направление подачи воздуха на выпускное отверстие;

• Образует ли приточный воздух поперечный поток в зоне сбора выхлопных газов;

• Является ли объем подачи воздуха слишком большим, что нарушает поток вытяжного воздуха;

• Нужно ли регулировать положение выхлопной трубы?

Информацию о взаимосвязи между сбором выхлопных газов и подачей чистого воздуха см. Что делать, если чистота технологического оборудования ухудшилась после его запуска? , чтобы понять влияние изменений выхлопных газов на воздушный поток.

Исследование загрязнения обратного отсоса

Обратная тяга при загрязнении означает, что поток воздуха в зоне вытяжки повторно вдыхается в приточный чистый воздух или внутрь оборудования. Признак заключается в том, что после запуска вытяжки увеличивается количество частиц внутри оборудования или в защищаемой зоне.

При судействе необходимо проверить:

• Изменение частиц в зоне защиты до и после начала выхлопа;

• Влияет ли выхлоп на положение воздухозаборника ЭФУ;

• Изменяется ли разница давления внутри оборудования;

• Сбалансированы ли вытяжной и дополнительный воздух.

Рекомендации по устранению неполадок, связанных с обратным отсасыванием загрязнений, см. Как отличить внешнее и внутреннее загрязнение при превышении нормы частиц? , узнайте о методах дифференциации источников.

Баланс подачи и вытяжки воздуха и разница давлений в оборудовании

Подача и вытяжка воздуха из травильного оборудования должны быть сбалансированы. Если объем вытяжного воздуха превышает объем приточного воздуха, внутри оборудования может образоваться отрицательное давление, засасывающее окружающий воздух из зазоров. Если объем подачи чистого воздуха слишком велик, это может помешать сбору выхлопных газов.

Необходимо подтвердить:

• Направление перепада давления внутри оборудования;

• Сбалансирован ли объем выхлопа и объем дополнительного воздуха;

• Стабильна ли разница давлений при переключении вытяжного воздуха?

• Можно ли контролировать поток воздуха при открытой дверце обслуживания.

Для расчета баланса объема воздуха см. Как превратить площадь чистой зоны в спрос на подачу воздуха? , поймите метод соответствия объема приточного воздуха и объема вытяжного воздуха.

Соединение подачи и вытяжки воздуха требует четких сигналов

Переключение выхлопа изменит внутреннее давление оборудования, и необходимо подтвердить логику связи:

• Как подача чистого воздуха реагирует на запуск вытяжки?

• Как поступить с оборудованием при выходе из строя вытяжки;

• Как переключать подачу и вытяжку воздуха в режиме технического обслуживания;

• Сигнализация и порядок действий в нештатных ситуациях.

Логика связи должна быть указана в плане, а не временно корректироваться на месте. Инструкции по методам контроля см. Как EFU со стороны оборудования и FFU со стороны помещения разделяют свою работу ? Поймите разделение труда по управлению между стороной оборудования и стороной помещения.

Проверка должна охватывать состояния работы, ожидания и технического обслуживания.

Проверка очистки оборудования для травления должна охватывать различные рабочие состояния:

• Нормальный режим работы: технологический выхлоп и подача чистого воздуха работают одновременно;

• Состояние ожидания: выхлопная часть работает или остановлена;

• Статус обслуживания: устройство включено и выполняются операции по техническому обслуживанию.

Условия воздушного потока в разных состояниях различны, и результаты проверки следует фиксировать отдельно. Для определения рабочего состояния оборудования при приемке см. Какое оборудование должно находиться в работе при приемке?。

Пример оценки проекта

После того, как был запущен выпуск определенного травильного оборудования, количество внутренних частиц увеличилось. Расследование показало, что воздухозаборник EFU располагался после пути диффузии выхлопных газов, и загрязнение вдыхалось. Метод регулировки: Отрегулируйте положение воздухозаборника EFU, чтобы оно не попадало в диапазон влияния выхлопных газов. Частицы упали после регулировки.

В другом проекте подаваемый чистый воздух поступает в порт сбора выхлопных газов, и эффективность выхлопных газов снижается. Метод регулировки: отрегулируйте направление подачи воздуха и объем воздуха, чтобы уменьшить помехи потоку вытяжного воздуха. После регулировки сбор отработанного воздуха пришел в норму.

Эти две ситуации иллюстрируют, что очистка оборудования для травления должна учитывать как защиту чистоты, так и улавливание выхлопных газов, чтобы избежать взаимодействия двух групп воздушных потоков.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Очистка оборудования для травления требует одновременной обработки двух типов воздушных потоков: подачи чистого воздуха и технологического вытяжного воздуха. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и полной сборки машин. Он может проверять положение воздухозаборника EFU, направление подачи воздуха, баланс объема воздуха и логику соединения на основе положения выхлопа оборудования, требований к чистой защите и условий пространства, чтобы помочь уменьшить обратное всасывание загрязнений и помехи потоку воздуха. Вы можете просмотреть комплект оборудования Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , см. комплект фильтров. Фильтры HEPA и ULPA , см. подачу воздуха в помещение. Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха。