エッチング装置周辺の浄化時にプロセス排気を回避するにはどうすればよいですか?

エッチング プロセスでは、多くの場合プロセス排気が伴います。プロセス排気には、粒子、腐食性ガス、または排出の制御が必要なその他の物質が含まれる場合があります。装置の周囲に同時に清浄な空気が供給されている場合は、2 組の空気の流れを調整する必要があります。つまり、清浄な空気の供給が排気ガスの収集を妨げることはなく、また、排気ガスが清浄な空気の供給入口に汚染物質を持ち込むことはできません。

エッチング装置周囲を清浄化するには、クリーンエアの供給とプロセス排気の関係を適切に扱うことが前提条件となります。地域境界、吸気位置、給排気バランス、連携状況からスタートします。

清浄保護エリアと排気エリアの区別

エッチング装置の周囲には通常、次の 2 種類のエリアがあります。

• クリーン保護ゾーン: ウェーハの搬送、ローディング、メンテナンスなど、局所的な清浄度が必要な場所。

• 排気エリア：プロセス排気、真空ポンプ排気、メンテナンス排気を捕らえて排出する必要がある場所。

2 つのタイプのエリアの気流目標は異なります。きれいな空気の供給は敏感な場所を保護する必要があり、排気は汚染物質を捕捉して排出する必要があります。設計時には、2 つのエアフローが互いに干渉しないように、まず 2 つのタイプのエリア間の境界を明確に定義する必要があります。

危険な物質が含まれる場合、きれいな空気の供給は専用の排気、隔離、または安全保護に代わることはできません。関連するエアフロー計画を参照できます。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、キャビティ内の空気の流れの組織を理解します。

EFU 空気入口位置は排気ガスの影響を避ける必要があります。

デバイス側の EFU の吸気位置によって、どのような空気を吸入するかが決まります。空気入口が排気出口または排気拡散エリアに近い場合、汚染物質が吸い込まれ、保護エリアに送られる可能性があります。

吸気口の位置を選択するときは、次の点を確認する必要があります。

• 空気入口が排気出口から遠く離れているかどうか。

• 空気入口が排気拡散経路の下流にあるかどうか。

• 吸気口の周囲に局所的な汚染源があるかどうか。

• 独立した空気吸入または前処理が必要かどうか。

必要に応じて、再循環に適した近くの周囲空気をデフォルトとして使用するのではなく、独立した空気源を使用します。 EFU設定を参照できます EFU装置側ファンフィルタユニットは、スペースや吸気条件に応じて構造を選択します。

きれいな空気の供給が排気ガスの捕捉を妨げないようにする必要があります

排気捕集エリアにきれいな空気が吹き込むと、空気の流れの方向が変わり、汚染物質が逃げたり、捕集効率が低下したりする可能性があります。

検査中に次のことを確認する必要があります。

• 空気の供給方向が排気口を向いているかどうか。

• 供給空気が排気収集エリアでクロスフローを形成するかどうか。

• 空気の供給量が多すぎて排気の流れが乱れていないか。

• 排気トラップの位置調整は必要ですか？

排ガス回収とクリーンエア供給の関係についてはこちらをご参照ください。 プロセス装置の稼働後にクリーン度が低下した場合はどうすればよいですか? 、排気ガスの変化が気流に及ぼす影響を理解するため。

汚れ逆吸引調査

汚染の逆流とは、排気エリアの空気流が清浄な空気供給源または装置内部に再吸入されることを意味します。症状としては、排気を開始した後に装置内や保護エリア内の粒子が増加するというものです。

判断する際には、次のことを確認する必要があります。

• 排気開始前後の保護領域内の粒子の変化。

• EFU 空気入口の位置が排気の影響を受けるかどうか。

• 装置内の圧力差が変化するかどうか。

• 排気と補助空気のバランスが取れているか。

汚染物質の逆吸引に関するトラブルシューティングのアイデアについては、以下を参照してください。 粒子が基準を超えた場合、外部と内部の汚染をどのように区別しますか? 、ソースの区別方法について学びます。

給排気バランスと装置圧力差

エッチング装置の給気と排気のバランスは重要です。供給空気量よりも排気量が多いと、装置内部に負圧が発生し、隙間から周囲の空気を吸い込む場合があります。クリーンエアの供給量が多すぎると、排ガスの捕集に支障をきたす場合があります。

確認する必要があります:

• 装置内の圧力差の方向。

• 排気量と補助空気量のバランスがとれているか。

• 排気切り替え時の圧力差は安定していますか？

• メンテナンスドアが開いているときにエアフローを制御できるかどうか。

風量バランスの計算方法はこちらをご覧ください。 クリーンエリア面積を空気供給需要に変換するにはどうすればよいですか? 、給気量と排気量のマッチング方法を理解する。

給気と排気のリンクには明確な信号が必要です

排気の切り替えにより装置の内圧が変化するため、リンケージロジックを確認する必要があります。

• 排気が開始されると、クリーンエア供給はどのように反応しますか?

• 排気不良時の装置の対処方法

• メンテナンス時の給排気切り替え方法

• 異常時の警報と対処手順。

連携ロジックは現場で一時的に調整するのではなく、計画時に明記する必要があります。制御方法については、こちらをご覧ください。 設備側EFUと部屋側FFUはどのように分業するのでしょうか？設備側と部屋側の制御分業を理解する。

検証では、実行中、スタンバイ、メンテナンスの状態をカバーする必要があります

エッチング装置周囲の浄化の検証は、さまざまな動作状態をカバーする必要があります。

• 通常動作: プロセスの排気と清浄な空気の供給が同時に動作します。

• スタンバイ状態: 排気部が動作または停止している。

• メンテナンス ステータス: デバイスの電源が入っており、メンテナンス操作が進行中です。

空気の流れの状態は状態によって異なるため、検証結果は別途記録する必要があります。受け入れ時の機器の稼働状況を確認するには、こちらを参照してください。 受け入れ中にどの機器を稼働させるべきですか?。

プロジェクトの判断例

あるエッチング装置の排気を開始したところ、内部のパーティクルが増加しました。調査の結果、EFUの空気入口が排気拡散経路の下流に位置しており、汚染物質を吸い込んだことが判明した。調整方法：EFU空気入口位置を排気の影響範囲から遠ざけるように調整してください。調整後は粒子が落ちました。

別のプロジェクトでは、クリーンエアの供給が排気収集ポートに吹き込み、排気効率が低下します。調整方法：排気の流れとの干渉を少なくするために、給気方向と風量を調整します。調整後、排気集合は正常に戻りました。

これら 2 つの状況は、エッチング装置周囲の浄化では、2 組の空気流が互いに干渉しないように、清浄度の保護と排気ガス捕捉の両方を考慮する必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

エッチング装置周囲の浄化には、クリーンエアの供給とプロセス排気の2種類のエアフローを同時に処理する必要があります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組み立てにおいて連携能力を備えています。 EFU の空気入口位置、空気供給方向、空気量のバランス、機器の排気位置、クリーンな保護要件、空間条件に基づくリンケージ ロジックをチェックして、汚染物質の逆吸引や空気流の干渉を軽減できます。装備パッケージをご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPA および ULPA フィルター、室内空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品。