FEM の内部クリーン保護はウェーハ搬送経路をどのようにカバーしますか?

EFEM (装置フロントエンドモジュール) は、ウェーハがローディングインターフェースからプロセス装置に入る移行領域です。ウェーハはここで開梱され、取り出され、輸送され、引き渡されます。露光時間が長く、パスには複数の場所が含まれます。内部クリーン保護は、特定の固定点を検証するだけではなく、この実際の伝送パスをカバーする必要があります。

キャビティやマニピュレータの静的な状態を測定するだけであり、移動中の清浄な状態を示すことはできません。以下では、伝送路、ロボットシールド、ローディングインターフェース、キャッシュビット、検証方法から始まります。

実際の伝送路に応じて保護エリアを分割

EFEM 内のウェーハ パスには通常、次のものが含まれます。

• ローディングインターフェイスとボックスの開口部の位置。

• ロボットアームのピックアップ位置。

• 伝送が通過する中間の場所。

• キャッシュビットまたは一時的な記憶場所。

• プロセス機器とのインターフェースの位置。

場所ごとに暴露時間や周囲の施設、保護のニーズが異なります。気流が 1 つの点だけに集中するのではなく、経路に沿って段階的にウェーハ表面を覆っているかどうかを確認します。

ロボットの動きが空気の供給を妨げる可能性があります

マニピュレーターが伸びたり、戻ったり、回転したりすると、EFEM 内の空気流路が変化します。アームが空気供給面をブロックし、局所的な航跡や影の領域を作成する可能性があります。

検証は以下をカバーする必要があります:

• マニピュレータは静止待機位置にあります。

• フィルムのピックアップとリリースのアクション。

• 送信中の中間位置。

• 急速復帰時の航跡効果。

マニピュレータが空気の流れに及ぼす影響については、を参照してください。 ウェーハハンドリングロボットを気流検証にどのように組み込むことができますか? 、動作中の検証方法を理解します。操作アームと作業台のエア供給源との干渉については、こちらをご参照ください。 アームを操作すると、作業台への空気供給がどのように妨げられますか? , 対象物は異なりますが、気流障害のメカニズムは似ています。

読み込みインターフェースは境界の弱点です

負荷インターフェースは EFEM を外部環境に接続し、空気流境界の弱点となります。 FOUP がドアを開けると、界面での気流の方向が変わり、外気が侵入する可能性があります。

確認する必要があります:

• ドアが開いたときに気流が EFEM に逆流するかどうか。

• インターフェースの周囲に局所的な保護空気流がありますか?

• 界面圧力差は安定していますか?

• ドア本体の動きが内部の空気の流れに影響を与えるかどうか。

FOUP ドア開口部の保護構造については、を参照してください。 FOUP ドア開口部領域に局所的な保護空気流を配置するにはどうすればよいですか? 、インターフェイスでのローカル保護方法を理解します。

キャッシュビットとステージングロケーションの保護

ウェーハは、一定期間キャッシュまたはステージング場所に残る場合があります。滞留期間中に気流がウェーハ表面を覆うかどうかによって、粒子が沈降する可能性が高いかどうかが決まります。

確認する必要があります:

• キャッシュの場所が空気供給の適用範囲内にあるかどうか。

• 滞在中のエアフローは安定していますか？

• 停止位置が発塵機構に近いかどうか。

• ローカルの強化された保護が必要かどうか。

ウェーハバッファ領域の継続的な保護要件については、を参照してください。 ウェーハバッファエリアには継続的にクリーンエアを供給する必要がありますか? 、滞在状態での保全上の考慮事項を理解します。

開口部と境界における気流の構成

EFEM の内部と外部は、ローディング インターフェイスやその他の開口部を介して接続されています。開口部の位置とサイズは、内部の空気の流れの構成に影響します。

確認する必要があります:

• 開口位置が保護空気の流れの下流かどうか。

• 開口部にバッフルやエアカーテンがあるかどうか。

• 開度が変化した際に内部の空気の流れが安定しているかどうか。

• 内圧差は保たれていますか？

密閉された機器キャビティの開口部と気流境界処理については、を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、開口部が空気の流れに及ぼす影響を理解します。

空気供給構成と濾過レベル

機器側 EFU は通常、局所的な空気供給のために EFEM 内で使用されます。ろ過レベルと空気供給方法は、ウェーハの感度とバックグラウンド条件に基づいて決定する必要があります。

機器側の部分的な保護については、こちらをご参照ください。 EFUの装置側ファンフィルターユニットは、装置スペースや給気要件に基づいて構造を選択します。フィルターレベルの選択が理解できる HEPA フィルターと ULPA フィルター、効率、サイズ、取り付けシールを確認してください。室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品、両者の分業論理は デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

検証は移動プロセスをカバーする必要があります

EFEM の内部保護効果の検証は、単なる静的な測定ではなく、実際のウェーハの搬送プロセス中に実行する必要があります。検証内容には以下を含める必要があります。

• 各露光位置におけるウェーハの粒子状態。

• マニピュレータの動作中に空気の流れが変化します。

• 読み込みインターフェースがドアを開けるときの境界状態。

• キャッシュビット滞在中の保護効果。

• 動的条件下での回復時間。

サンプリングポイントの位置は、空気供給ポートの真下ではなく、ウェーハが通過する実際の位置をカバーする必要があります。サンプリングポイントの選択原理を参照できます。 サンプリングポイントを空気供給出口の真下に配置できないのはなぜですか? 、高さの選択を参照してください。 作業高さの変化は検出位置にどのような影響を与えますか?。

プロジェクトの判断例

EFEM の内部キャビティテストはテストに合格しましたが、ウェーハ搬送プロセス中にパーティクルが発生することがありました。調査の結果、マニピュレーターが伸びると空気供給面の一部が塞がれ、ウエハーは中央の弱い保護ゾーンにあることが判明した。調整方法：ウエハパスが常に有効範囲内になるようにEFUの位置とエア供給方向を調整してください。ダイナミックグレインリダクションを調整しました。

別のアイテム投入口では、ドアを開けると内部の粒子が上昇しています。調査の結果、界面で空気の流れが逆流していることが判明した。調整方法: 境界面での局所的な保護空気流を増やし、ドアの動作シーケンスを最適化します。調整後はドアを開けると粒子のピーク値が減少します。

これら 2 つの状況は、EFEM の内部保護がウェーハの実際の伝送経路をカバーする必要があり、キャビティまたは固定点を検証することしかできないことを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

EFEM 内のウェーハ搬送パスには、複数の場所でのロボットの移動、開口部の境界、およびバッファ停止が含まれます。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組立リンクにおける連携機能を備えています。実際のウエハ搬送経路や装置スペースに基づいてEFUの構成、エア供給方向、濾過レベル、インターフェースの状態を確認できるため、キャビティの状態を確認するだけでなく、移動中の主要な位置の局所的な保護にも役立ちます。装備パッケージをご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPA および ULPA フィルター、室内空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品。