¿Cómo cubre la protección de limpieza interna FEM la ruta de transferencia de la oblea?

EFEM (Módulo frontal del equipo) es el área de transición donde las obleas pasan desde la interfaz de carga al interior del equipo de proceso. Aquí se desembalan, recogen, transportan y entregan las obleas. El tiempo de exposición es largo y el camino implica múltiples localizaciones. La protección limpia interna debería cubrir esta ruta de transmisión real, en lugar de simplemente verificar un determinado punto fijo.

Solo mide el estado estático de la cavidad o del manipulador y no puede indicar el estado limpio durante el movimiento. Lo siguiente comenzará con la ruta de transmisión, el blindaje del robot, la interfaz de carga, el bit de caché y el método de verificación.

Divida las áreas de protección según las rutas de transmisión reales

La ruta de la oblea dentro del EFEM normalmente incluye:

• Interfaz de carga y posición de apertura de la caja;

• Posición de recogida del brazo robótico;

• El lugar intermedio por donde pasa la transmisión;

• Bit de caché o ubicación de almacenamiento temporal;

• Ubicación de interfaz con equipos de proceso.

Cada lugar tiene diferentes tiempos de exposición e instituciones circundantes y diferentes necesidades de protección. Debe confirmar si el flujo de aire cubre la superficie de la oblea paso a paso a lo largo del recorrido, en lugar de centrarse únicamente en un lugar.

El movimiento del robot puede bloquear el suministro de aire.

Cuando el manipulador se extiende, regresa y gira, cambiará la ruta del flujo de aire dentro del EFEM. Los brazos pueden bloquear la superficie de suministro de aire, creando estelas locales o áreas de sombra.

La verificación debe cubrir:

• El manipulador está en posición de espera estática;

• Acciones de recogida y estreno de películas;

• posición intermedia durante la transmisión;

• Efectos de vigilia durante el retorno rápido.

Para conocer el impacto del manipulador en el flujo de aire, consulte ¿Cómo se pueden incorporar los robots de manipulación de obleas a la verificación del flujo de aire? , comprenda el método de verificación en movimiento. Para conocer la interferencia del brazo operativo en el suministro de aire del banco de trabajo, consulte ¿Cómo interferirá el funcionamiento del brazo con el suministro de aire al banco de trabajo? , aunque los objetos son diferentes, los mecanismos de obstrucción del flujo de aire son similares.

La interfaz de carga es el punto débil de la frontera.

La interfaz de carga conecta el EFEM con el entorno externo y es un punto débil en el límite del flujo de aire. Cuando el FOUP abre la puerta, el flujo de aire en la interfaz puede cambiar de dirección y puede entrar aire exterior.

Necesidad de confirmar:

• Si el flujo de aire regresa al EFEM cuando se abre la puerta;

• ¿Existe un flujo de aire protector local alrededor de la interfaz?

• ¿Es estable la diferencia de presión de la interfaz?

• Si el movimiento del cuerpo de la puerta afecta el flujo de aire interno.

Para conocer la disposición de protección del área de apertura de la puerta FOUP, consulte ¿Cómo organizar un flujo de aire protector local en el área de apertura de la puerta FOUP? , comprenda los métodos de protección locales en la interfaz.

Protección de bits de caché y ubicaciones provisionales

La oblea puede permanecer en una memoria caché o en una ubicación de preparación durante un período de tiempo. Si el flujo de aire cubre la superficie de la oblea durante el período de permanencia determina si es probable que las partículas se asienten.

Necesidad de confirmar:

• Si la ubicación del caché está dentro del área de cobertura del suministro de aire;

• ¿El flujo de aire es estable durante la estancia?

• Si la posición de parada está cerca del mecanismo generador de polvo;

• Si se necesita una protección mejorada local.

Para conocer los requisitos de protección continua del área de amortiguación de obleas, consulte ¿El área de almacenamiento de las obleas necesita un suministro continuo de aire limpio? , comprender las consideraciones de conservación en el estado de estancia.

Organización del flujo de aire en aberturas y límites.

El interior y el exterior de EFEM están conectados a través de interfaces de carga y otras aberturas. La ubicación y el tamaño de las aberturas afectarán la organización del flujo de aire interno.

Debe comprobar:

• Si la posición de apertura está aguas abajo del flujo de aire protector;

• Si existen deflectores o cortinas de aire en la apertura;

• Si el flujo de aire interno es estable cuando cambia la apertura;

• ¿Se mantiene la diferencia de presión interna?

Para el tratamiento de la apertura y el límite del flujo de aire de la cavidad cerrada del equipo, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , para comprender el impacto de las aberturas en el flujo de aire.

Configuración del suministro de aire y nivel de filtración.

La EFU del lado del equipo generalmente se usa dentro de EFEM para el suministro de aire local. El nivel de filtración y el método de suministro de aire deben determinarse según la sensibilidad de la oblea y las condiciones ambientales.

Para la protección local en el lado del equipo, consulte La unidad de filtrado de ventilador del lado del equipo EFU selecciona una estructura según los requisitos de espacio del equipo y suministro de aire. La selección del nivel de filtro se puede entender. Filtros HEPA vs ULPA , comprobar eficiencia, tamaño y sello de instalación. Consulte el suministro de aire ambiente de la habitación. Productos de suministro de aire limpio de FFU , la lógica de la división del trabajo entre los dos es la división del trabajo entre la EFU del lado del dispositivo y la FFU de la sala . Se explica en detalle

La verificación debe cubrir el proceso de movimiento.

La verificación del efecto de protección interna de EFEM debe llevarse a cabo durante el proceso de transferencia real de la oblea, en lugar de simplemente una medición estática. El contenido de verificación debe incluir:

• El estado del grano de la oblea en cada lugar expuesto;

• El flujo de aire cambia durante el movimiento del manipulador;

• El estado límite cuando la interfaz de carga abre la puerta;

• El efecto de protección durante la permanencia del bit de caché;

• Tiempo de recuperación en condiciones dinámicas.

La ubicación del punto de muestreo debe cubrir la ubicación real por donde pasa la oblea, en lugar de solo debajo del puerto de suministro de aire. El principio de selección del punto de muestreo puede consultarse ¿Por qué no se puede ubicar el punto de muestreo justo debajo de la salida del suministro de aire? , consulte la selección de altura ¿Cómo afecta un cambio en la altura de trabajo a la posición de detección?。

Ejemplo de juicio de proyecto

La prueba de la cavidad interna de un EFEM pasó la prueba, pero ocasionalmente se produjeron partículas durante el proceso de transferencia de la oblea. La investigación encontró que cuando el manipulador se extendía, bloqueaba parte de la superficie de suministro de aire y la oblea se encontraba en una zona de protección débil en el medio. Método de ajuste: ajuste la posición de la EFU y la dirección del suministro de aire para que la ruta de la oblea esté siempre dentro de una cobertura efectiva. Reducción de grano dinámica ajustada.

Otro puerto de carga de artículos tiene partículas internas que se elevan al abrir la puerta. La investigación reveló que el flujo de aire fluía hacia atrás en la interfaz. Método de ajuste: aumente el flujo de aire protector local en la interfaz y optimice la secuencia de acción de la puerta. Después del ajuste, el valor máximo de partículas disminuye cuando se abre la puerta.

Estas dos situaciones ilustran que la protección interna EFEM debe cubrir la ruta de transmisión real de la oblea y no puede solo verificar la cavidad o los puntos fijos.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

La ruta de transferencia de obleas dentro de EFEM implica múltiples ubicaciones de movimientos del robot, límites de apertura y paradas intermedias. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la configuración de la EFU, la dirección del suministro de aire, el nivel de filtración y las condiciones de la interfaz en función de la ruta de transmisión real de la oblea y el espacio del equipo, lo que ayuda a cubrir la protección local en posiciones clave durante el movimiento, en lugar de simplemente verificar el estado de la cavidad. Puedes ver el paquete de equipamiento. Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , consulte el paquete de filtros. Filtros HEPA y ULPA , consulte el suministro de aire ambiente. Productos de suministro de aire limpio FFU。