¿El área de almacenamiento de las obleas necesita un suministro continuo de aire limpio?

El buffer de obleas es el lugar donde las obleas esperan y se almacenan temporalmente dentro del equipo. Cuando el equipo está funcionando, la oblea puede permanecer aquí por un período de tiempo antes de ingresar al siguiente proceso. Las obleas también pueden permanecer en el buffer mientras el equipo está inactivo o en espera.

No se puede generalizar si el área de amortiguamiento necesita un suministro continuo de aire limpio. El juicio debe basarse en el estado de exposición de las obleas, el tiempo de permanencia, los límites del recinto y los requisitos de recuperación. La inactividad temporal del equipo no significa que se pueda detener la protección del aire.

Primero confirme el estado de exposición de la oblea.

Para determinar si se requiere un suministro de aire continuo, primero verifique si la oblea está expuesta en el área de amortiguación:

• Si la oblea se coloca en un recipiente cerrado;

• Si el contenedor tiene un filtro o una estructura de sellado;

• Si la superficie de la oblea está expuesta directamente al entorno interno del dispositivo;

• Área de exposición y tiempo de exposición.

Si la oblea se coloca en un recipiente cerrado y el sello del recipiente es efectivo, la necesidad de suministro continuo de aire puede ser menor. Si la oblea está expuesta directamente al ambiente interno del equipo, generalmente se requiere protección continua. Para conocer los requisitos de protección en los procesos de carga, descarga y recogida y colocación de obleas, consulte ¿Cómo pueden las estaciones de manipulación de obleas reducir el polvo durante la exposición? , comprenda las consideraciones de protección para enlaces expuestos.

El tiempo de residencia afecta las necesidades de protección

El tiempo de residencia de la oblea en el área de amortiguamiento afecta directamente la posibilidad de que las partículas se sedimenten. Cuanto más larga sea la estancia, mayor será la necesidad de protección continua.

Al juzgar, debes confirmar:

• Cuánto tiempo permanece la oblea en el buffer durante el funcionamiento normal;

• Si la oblea permanece en el área de búfer durante el modo de espera y el apagado;

• ¿Cuál es la duración máxima de la estancia?

• Si el ambiente es estable durante la estadía.

Si el tiempo de residencia es largo, incluso si se detiene el suministro de aire por un corto tiempo, las partículas pueden sedimentarse. Para consideraciones relevantes, consulte ¿El área de almacenamiento de las obleas necesita un suministro continuo de aire limpio? En el análisis de las condiciones de exposición se incluye en la sentencia el tiempo de residencia.

Es posible que todavía haya entrada de contaminación en el estado de espera.

Cuando el equipo está en stand-by, el mecanismo no se mueve, pero la entrada de contaminación no necesariamente desaparece:

• Las partículas del fondo pueden entrar por los huecos;

• Las partículas pueden ser introducidas por equipos adyacentes o actividades del personal;

• Las partículas residuales dentro del equipo pueden resuspenderse;

• Los cambios de temperatura y humedad pueden afectar el estado de la superficie.

Si se detiene el suministro de aire, los límites del flujo de aire del área de amortiguamiento cambiarán y es posible que el rango de protección original ya no sea efectivo. Para conocer los requisitos de protección en estado de espera, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , comprenda el impacto que tienen las aberturas y los espacios en el flujo de aire.

La reducción de carga está sujeta a verificación de estado.

Si el proyecto desea reducir el volumen de suministro de aire o detener el suministro de aire durante el modo de espera, debe pasar por una verificación de estado en lugar de cerrarse directamente.

El contenido de verificación debe incluir:

• Los cambios granulares en el área de buffer durante el estado de espera;

• La tendencia de recuperación de partículas después de que cesa el viento;

• Cambios de grano al reiniciar;

• Si el estado de la superficie de la oblea se ve afectado.

Sólo cuando se confirma que la parada del viento no afecta el estado de la oblea se puede adoptar el modo de funcionamiento de reducción de carga. Para verificar la recuperación y confirmar el estado, consulte ¿Qué equipo debería estar en funcionamiento durante la aceptación? , comprenda los requisitos de verificación en diferentes estados operativos.

Manejo de recuperación y reinicio.

Al regresar del modo de espera al modo activo, el área de caché puede sufrir un proceso de restablecimiento del flujo de aire. Debe confirmar:

• Compruebe si el flujo de aire es estable después de restablecer el suministro de aire;

• Si el tiempo de recuperación cumple con los requisitos del proceso;

• Si es necesario retrasar la retirada de las obleas;

• Procedimientos de procesamiento después de un apagado anormal.

Deberían existir requisitos claros para el procesamiento posterior a la interrupción, en lugar de reemplazar la verificación con tiempos de espera fijos.

Coordinación del suministro de aire local y el flujo de aire general de la máquina.

El suministro de aire local en la zona intermedia forma parte del flujo de aire general del equipo. El suministro de aire continuo debe coordinarse con el flujo de aire de toda la máquina:

• Si el suministro de aire en el área de amortiguamiento afecta a las áreas adyacentes;

• Cómo funciona el flujo de aire de toda la máquina cuando está en espera;

• Si es necesario controlar de forma independiente el suministro de aire local;

• Cómo vincular con el arranque y parada de equipos.

La protección parcial en el lado del equipo se puede combinar con La estructura de la unidad de filtrado del ventilador del extremo del equipo EFU se selecciona en función del espacio del área de amortiguación y los requisitos de suministro de aire. Cuando se trata del flujo de aire general dentro del equipo, consulte ¿Cómo dividen su trabajo las EFU del lado del equipo y las FFU del lado de la habitación ? Comprender la división del trabajo de control entre el lado del equipo y el lado de la habitación.

Ejemplo de juicio de proyecto

Las obleas en el área de amortiguamiento de un determinado proyecto quedan expuestas y el suministro de aire se suspende durante el modo de espera. Después de reanudar la producción, se descubrió que había partículas en la superficie de la oblea. La investigación confirmó que las partículas se depositaron durante el modo de espera. Método de ajuste: mantenga el suministro de aire a baja velocidad durante el modo de espera y confirme el estado de las partículas antes de reanudarlo. Después del ajuste, la condición de la superficie de la oblea es estable.

Otra oblea de caché del proyecto se coloca en un recipiente cerrado, que queda efectivamente sellado. Después de la evaluación, se confirmó que el volumen del suministro de aire se puede reducir durante el modo de espera. Método de ajuste: configure el modo de espera y verifique el estado de la oblea según el sellado del contenedor y el tiempo de permanencia. Después del ajuste, el consumo de energía se reduce y el estado de la oblea no se ve afectado.

Estas dos situaciones ilustran que el hecho de que el área de amortiguamiento requiera un suministro de aire continuo depende del estado de exposición, el tiempo de residencia y los límites del recinto, y debe verificarse antes de tomar una decisión.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

El hecho de que el área de amortiguación de las obleas requiera un suministro de aire continuo depende del estado de exposición de las obleas, el tiempo de permanencia y los límites del recinto. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la configuración del suministro de aire, el modo de espera y la lógica de enlace según las condiciones de exposición del área de caché, el modo de operación del equipo y los requisitos de recuperación, lo que ayuda a determinar si el suministro de aire continuo, la operación a baja velocidad o el control de zona son más adecuados para el proceso real, en lugar de cortar el suministro de aire en todos los ámbitos o funcionar a plena carga todo el día.