¿Cómo pueden las estaciones de manipulación de obleas reducir el polvo durante la exposición?

La estación de carga de obleas es el área de transición donde las obleas se transfieren desde el contenedor controlado al interior del equipo. En esta etapa, la oblea se retira del FOUP u otro recipiente, se sujeta, se transfiere y se introduce dentro del equipo. Aunque el tiempo de exposición es corto, si no se cuenta con protección, las partículas pueden depositarse en la superficie de la oblea.

Reducir la exposición a la caída de polvo requiere cubrir las aberturas, las áreas de sujeción y transferencia con aire limpio y al mismo tiempo controlar el personal, los materiales y las fuentes institucionales. La protección debe continuar hasta que la oblea esté en una posición controlada y no pueda enfocarse en un punto estático en el muelle de carga.

Primero defina claramente el período de exposición.

El período de exposición de las obleas en la estación de carga y descarga suele incluir:

• En el momento en que el contenedor abre la puerta;

• Recogida y sujeción con brazo robótico;

• Transferencia de obleas del contenedor al interior del equipo;

• Espera y entrega.

Las condiciones y riesgos de exposición varían para cada período. Primero se debe calibrar el período de exposición y luego se debe determinar el alcance de la protección. Para conocer la disposición de protección del área de apertura de la puerta FOUP, consulte ¿Cómo organizar un flujo de aire protector local en el área de apertura de la puerta FOUP? , conozca los métodos locales de protección de aberturas.

La posición de apertura es el camino principal para la entrada de partículas.

Cuando se abre el recipiente, la abertura está conectada al entorno externo y pueden entrar partículas a través de la abertura. El flujo de aire protector debe cubrir la abertura para reducir la entrada de aire exterior.

Necesidad de confirmar:

• Si la abertura se encuentra dentro del área de cobertura del suministro de aire;

• Si hay un flujo de aire protector local en la abertura;

• ¿La dirección de la abertura está orientada hacia la fuente de contaminación?

• ¿Hay alguna acumulación de partículas alrededor de la abertura?

Para la organización del flujo de aire en el límite de apertura, consulte ¿Cómo planificar el suministro de aire limpio para las cavidades cerradas de los equipos? , comprenda la gestión del flujo de aire en estado abierto.

Cobertura del flujo de aire de las áreas de sujeción y transferencia.

Cuando un robot agarra una oblea, las abrazaderas y los brazos cambian el flujo de aire local. Durante el proceso de transferencia, la oblea pasa por diferentes posiciones, y la clave es si el flujo de aire protector continúa cubriéndola.

Necesidad de confirmar:

• Si la posición de sujeción está dentro del rango de suministro de aire;

• Si el movimiento del manipulador bloquea el suministro de aire;

• Si el camino por el que pasa la oblea está protegido en todo momento;

• ¿Es estable el flujo de aire en el lugar de entrega?

Para conocer el impacto del manipulador en el flujo de aire, consulte ¿Cómo se pueden incorporar los robots de manipulación de obleas a la verificación del flujo de aire? , comprenda el método de verificación en movimiento.

Control del tiempo de exposición

Cuanto más prolongada sea la exposición, mayores serán las posibilidades de que las partículas se sedimenten. Reducir el tiempo de exposición reduce el riesgo de lluvia de polvo.

Considerar:

• Optimizar la velocidad de movimiento del manipulador;

• Reducir los tiempos de espera y permanencia;

• Evite acciones repetitivas innecesarias;

• Acorte el tiempo de permanencia de la oblea en la posición abierta.

El control del tiempo de exposición y la protección del flujo de aire deben realizarse simultáneamente. Si el flujo de aire protector es insuficiente, acortar el tiempo sólo puede reducir el riesgo, no eliminarlo.

Control de personal y fuentes institucionales

Las partículas pueden ser generadas por actividades humanas y movimientos de mecanismos cerca de las estaciones de carga y descarga. Estas fuentes deben controlarse:

• Reducir la cantidad de personas que caminan alrededor de las aberturas;

• Verificar el estado de lubricación y desgaste del mecanismo;

• Evite realizar mantenimiento o limpieza cerca de lugares sensibles;

• Controlar la colocación de materiales y herramientas.

Para conocer el impacto de las actividades del personal en el flujo de aire, consulte ¿Cómo interferirá el funcionamiento del brazo con el suministro de aire al banco de trabajo? , aprenda cómo solucionar problemas de interferencias de movimiento.

La protección debe extenderse hasta el final de la transferencia.

La protección no debe cubrir sólo un punto estacionario del muelle de carga. Después de que la oblea se retira del contenedor y entra al equipo a través de la ruta de transferencia, la protección debe continuar hasta que la oblea entre en una posición controlada.

Necesidad de confirmar:

• Si la posición media de la ruta de transferencia está protegida;

• Si el punto de transferencia está dentro del área de cobertura del flujo de aire;

• Si la entrada interna del equipo está parcialmente protegida;

• Si hay una interrupción en la protección.

Para la protección de la ruta de transmisión dentro de EFEM, consulte ¿Cómo cubre la protección de limpieza interna de EFEM la ruta de transferencia de las obleas? , Comprenda el método de cobertura de ruta.

Configuración del suministro de aire y nivel de filtración.

La protección local de las estaciones de carga y descarga se puede configurar con EFU del lado del equipo, y la estructura se puede seleccionar de acuerdo con los requisitos de espacio y suministro de aire. El nivel de filtración debe determinarse en función de la sensibilidad de la oblea.

Consulte el soporte lateral del equipo. Unidad de filtro del ventilador del extremo del equipo EFU , se puede entender el nivel de filtración Filtros HEPA vs ULPA , comprobar eficiencia, tamaño y sello de instalación. Consulte el suministro de aire ambiente de la habitación. Productos de suministro de aire limpio de FFU , la lógica de la división del trabajo entre los dos es la división del trabajo entre la EFU del lado del dispositivo y la FFU de la sala . Se explica en detalle

Validación dinámica de ciclos de carga y descarga de cobertura.

La verificación de las estaciones de carga y descarga debe llevarse a cabo durante el ciclo de carga y descarga real, en lugar de simplemente pruebas estáticas. El contenido de verificación debe incluir:

• flujo de aire y partículas al abrir puertas;

• Flujo de aire durante la extracción y sujeción de la película;

• El estado de las partículas en cada posición en la ruta de transferencia;

• Efecto de protección de la posición de traspaso;

• Tiempo de recuperación en condiciones dinámicas.

La ubicación del punto de muestreo debe cubrir la ubicación real por donde pasa la oblea, en lugar de simplemente debajo del puerto de suministro de aire. Los métodos relacionados se pueden encontrar en ¿Por qué no se puede ubicar el punto de muestreo justo debajo de la salida del suministro de aire? y ¿Cómo afecta un cambio en la altura de trabajo a la posición de detección?。

Ejemplo de juicio de proyecto

A veces cae polvo sobre las obleas en una determinada estación de carga y descarga. La investigación encontró que el suministro de aire estaba bloqueado cuando el robot recogía las obleas y que las obleas se encontraban en una zona de protección débil en la posición de sujeción. Método de ajuste: ajuste la dirección del suministro de aire para que la posición de sujeción esté dentro del rango de cobertura del flujo de aire. Después del ajuste, se reduce el polvo.

Otro proyecto mostró partículas en la superficie de la oblea al abrir la puerta. La investigación reveló que el flujo de aire fluía hacia atrás en la abertura y entraba aire exterior. Método de ajuste: aumente el flujo de aire protector local en la apertura y optimice la secuencia de apertura de la puerta. Después del ajuste, las partículas disminuyen al abrir la puerta.

Estas dos situaciones ilustran que: para reducir el polvo en la estación de carga y descarga de obleas, es necesario cubrir las aberturas, las áreas de sujeción y transferencia, y la protección debe continuar hasta que la oblea entre en una posición controlada.

Puntos clave para la inspección de selección y aceptación.

Soporte de soporte para equipos industriales de Aili.

El control del polvo en las estaciones de carga y descarga de obleas requiere cubrir las aberturas, las áreas de sujeción y transferencia. Aili Industrial tiene capacidades de colaboración en ventiladores, motores, filtros, sistemas de control y enlaces completos de ensamblaje de máquinas. Puede verificar la configuración de la EFU, la dirección del suministro de aire, el nivel de filtración y el rango de protección según la ruta de carga y descarga de la oblea, el movimiento del robot y el espacio del equipo, lo que ayuda a extender la protección local a posiciones clave en el proceso de transferencia, en lugar de centrarse únicamente en un punto estático en la plataforma de carga y descarga. Puedes ver el paquete de equipamiento. Unidad de filtro de ventilador final del equipo EFU , consulte el paquete de filtros. Filtros HEPA y ULPA , consulte el suministro de aire ambiente. Productos de suministro de aire limpio FFU。