ウェーハハンドリングステーションはどのようにして露光中の塵を減らすことができますか?

ウェーハローディングステーションは、ウェーハが制御されたコンテナから装置の内部に移送される移行エリアです。この段階でウェーハはFOUPなどの容器から取り出され、クランプされて搬送され、装置内に搬入されます。暴露時間は短いですが、保護がされていない場合、パーティクルがウェーハ表面に沈着する可能性があります。

落下粉塵への曝露を減らすには、人員、資材、組織の発生源を制御しながら、開口部、クランプ、および搬送エリアをきれいな空気で覆う必要があります。保護は、ウェーハが制御された位置に配置され、ローディングドック上の静止点に焦点を合わせることができなくなるまで継続する必要があります。

まず暴露期間を明確に定義する

ロードおよびアンロード ステーションでのウェーハの露光期間には通常、次の時間が含まれます。

• コンテナが扉を開ける瞬間。

• ロボットアームのピッキングとクランプ。

• 容器から装置内へのウェーハの搬送。

• 待って引き渡し。

曝露条件やリスクは時期ごとに異なります。まず暴露期間を調整し、次に保護範囲を決定する必要があります。 FOUP ドア開口部の保護構造については、を参照してください。 FOUP ドア開口部領域に局所的な保護空気流を配置するにはどうすればよいですか? 、開口部の地域の保護方法について学びます。

開口位置はパーティクルが侵入する主な経路です

容器を開けると、その開口部は外部環境とつながっており、その開口部から粒子が侵入する可能性がある。外気の侵入を減らすために、保護空気流が開口部を覆う必要があります。

確認する必要があります:

• 開口部が給気範囲内にあるかどうか。

• 開口部に局所的な保護空気流があるかどうか。

• 開口部の方向は汚染源に面していますか?

• 開口部の周囲にパーティクルが蓄積していませんか?

開口境界における気流構成については、 を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、開いた状態でのエアフロー管理を理解します。

クランプおよび搬送エリアのエアフロー範囲

ロボットがウェーハを掴むと、クランプとアームが局所的な空気の流れを変化させます。搬送プロセス中、ウェーハはさまざまな位置を通過しますが、保護空気の流れがウェーハを覆い続けるかどうかが鍵となります。

確認する必要があります:

• クランプ位置がエア供給範囲内かどうか。

• マニピュレーターの動きが空気の供給を妨げているかどうか。

• ウェーハが通過する経路全体が保護されているかどうか。

• 引き渡し場所の空気の流れは安定していますか?

マニピュレータが空気の流れに及ぼす影響については、を参照してください。 ウェーハハンドリングロボットを気流検証にどのように組み込むことができますか? 、動作中の検証方法を理解します。

露光時間制御

暴露時間が長ければ長いほど、粒子が沈降する可能性が高くなります。暴露時間を短縮すると、粉塵の落下のリスクが軽減されます。

考慮する：

• マニピュレータの移動速度を最適化します。

• 待ち時間と滞在時間を短縮します。

• 不必要な反復的なアクションを避けてください。

• 開いた位置でのウェハの滞留時間を短縮します。

露光時間制御と気流保護は同時に実行する必要があります。保護空気流が不十分な場合、時間を短縮してもリスクは軽減されるだけで、排除されるわけではありません。

人材および組織的リソースの管理

粒子は、積み降ろしステーション付近での人間の活動や機械の動きによって発生する可能性があります。以下のソースを管理する必要があります。

• 開口部の周りを歩く人を減らします。

• 機構の潤滑と摩耗の状態を確認します。

• 敏感な場所の近くでメンテナンスや清掃を行うことは避けてください。

• 材料とツールの配置を制御します。

人事活動が気流に及ぼす影響については、以下を参照してください。 アームを操作すると、作業台への空気供給がどのように妨げられますか? 、モーション干渉のトラブルシューティング方法を学びます。

保護は転送の終了まで延長されるべきです

保護は荷積みドックの 1 つの静止点のみをカバーするものであってはなりません。ウェーハがコンテナから取り出され、搬送経路を通って装置に入った後は、ウェーハが制御された位置に入るまで保護を継続する必要があります。

確認する必要があります:

• 転送経路の中間位置が保護されているかどうか。

• ハンドオーバーポイントがエアフローのカバーエリア内にあるかどうか。

• 機器の内部入口が部分的に保護されているかどうか。

• 保護の中断があるかどうか。

EFEM 内の伝送路保護については、を参照してください。 EFEM の内部クリーン保護はウェーハ搬送経路をどのようにカバーしますか? 、パス カバレッジの方法を理解します。

空気供給構成と濾過レベル

ロードステーションとアンロードステーションの局所保護は、機器側 EFU で構成でき、スペースと空気供給要件に応じて構造を選択できます。濾過のレベルは、ウェーハの感度に基づいて決定する必要があります。

機器側のサポートを参照してください EFU機器のエンドファンフィルターユニット、濾過レベルを理解できます HEPA フィルターと ULPA フィルター、効率、サイズ、取り付けシールを確認してください。室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品、両者の分業論理は デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

カバレッジのロードおよびアンロード サイクルの動的検証

積み降ろしステーションの検証は、単なる静的テストではなく、実際の積み降ろしサイクル中に実行する必要があります。検証内容には以下を含める必要があります。

• ドアを開けるときの空気の流れと粒子。

• フィルムの取り外しとクランプ時のエアフロー。

• 搬送経路上の各位置における粒子の状態。

• ハンドオーバー位置の保護効果。

• 動的条件下での回復時間。

サンプリングポイントの位置は、空気供給ポートの真下ではなく、ウェーハが通過する実際の位置をカバーする必要があります。関連するメソッドは次の場所にあります。 サンプリングポイントを空気供給出口の真下に配置できないのはなぜですか? そして 作業高さの変化は検出位置にどのような影響を与えますか?。

プロジェクトの判断例

あるロード・アンロードステーションでは時々ウエハにゴミが落ちることがあります。調査の結果、ロボットがウェハを持ち上げているときに空気の供給が遮断され、ウェハがクランプ位置の弱い保護ゾーンにあったことが判明しました。調整方法：クランプ位置がエア流量範囲内になるようにエア供給方向を調整してください。調整後はゴミが軽減されます。

別のプロジェクトでは、ドアを開けるとウェーハ表面にパーティクルが見られました。調査の結果、開口部で空気の流れが逆流し、外気が侵入していることが判明した。調整方法: 開口部の局所的な保護空気流量を増やし、ドアの開く順序を最適化します。調整後はドアを開けた時のパーティクルが減少します。

これら 2 つの状況は、ウェーハのロードおよびアンロード ステーション内の塵埃を減らすには、開口部、クランプおよび搬送エリアを覆う必要があり、ウェーハが制御された位置に入るまで保護を継続する必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

ウェーハのロードおよびアンロード ステーションでの防塵には、開口部、クランプおよび搬送エリアを覆う必要があります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組立リンクにおける連携機能を備えています。ウエハのロードおよびアンロードの経路、ロボットの動作および装置のスペースに基づいて、EFU 構成、空気供給方向、濾過レベルおよび保護範囲をチェックすることができ、ロードおよびアンロードのプラットフォーム上の静止点だけに焦点を当てるのではなく、搬送プロセスの主要な位置に局所的な保護を拡張するのに役立ちます。装備パッケージをご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPA および ULPA フィルター、室内空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品。