薄膜形成装置のメンテナンスエリアにクリーンエアを供給するにはどうすればよいですか?

薄膜成膜装置のメンテナンスには、チャンバーを開けて部品を分解し、消耗品を交換する必要があります。メンテナンスエリアの露出部品には、洗浄された表面、予備部品、再組み立て場所が含まれる場合があります。これらのコンポーネントは粒子に敏感であり、メンテナンスエリアの空気環境はメンテナンスの品質に影響を与えます。

ただし、メンテナンスエリアには、機器の残留物、プロセス副産物、または危険物質が含まれる場合もあります。きれいな空気の供給は環境維持の一部としてのみ使用でき、隔離、排気、人員保護に代わるものではありません。きれいな空気の供給を構成するには、まずメンテナンス作業と汚染の性質を明確にする必要があります。

メンテナンス作業と露出部分を特定する

クリーン エア供給を構成する前に、まずメンテナンス エリアでどのようなタスクを完了する必要があるかを確認してください。

• キャビティを開いて部品を取り外します。

• キャビティの内部を清掃します。

• 消耗品とスペアパーツを交換します。

• 再組み立てと校正。

• 洗浄した部品を一時的に保管します。

タスクが異なれば、露出部分や汚染リスクも異なります。洗浄された表面とスペアパーツには粒子からの保護が必要ですが、分解された汚染されたパーツには隔離が必要です。両方のタイプのコンポーネントを同じ領域で混合しないでください。

きれいな部品と汚染された部品を区別する

メンテナンスエリア内の部品には、きれいな部品と処理対象の汚染部品の 2 つの状態があります。きれいな空気の供給は、きれいな部品と再組み立て場所の保護を優先する必要があります。

検査中に次のことを確認する必要があります。

• クリーニング部品の一時保管場所。

• 清掃部品が気流保護範囲内にあるかどうか。

• 汚染された部品がきれいな部品から遠く離れているかどうか。

• 分解と組み立てに異なる領域や方向が使用されるかどうか。

きれいな部品が汚染された部品の下流に配置されると、空気の流れによって汚れがきれいな表面に運ばれる可能性があります。部品配置とエアフロー方向の関係については、こちらをご参照ください。 作業台にアイテムを積み重ねると、汚染のデッドゾーンが形成されますか? 、気流に対する閉塞の影響を理解します。

メンテナンス状態と生産状態ではエアの流れが異なります

メンテナンス中に装置が開かれると、チャンバーの境界と空気流路が変化します。生産条件で認定されたエアフロー条件は、メンテナンス条件では適用できなくなる可能性があります。

構成する場合は、次のことを個別に考慮する必要があります。

• 生産ステータス: 装置は停止し、空気の流れは設計された経路に従って流れます。

• メンテナンスステータス: 機器の電源がオンになり、担当者が動作し、空気流路が変更されます。

• 回復ステータス: メンテナンスが完了し、デバイスのシャットダウン後に検証が再開されました。

保守状態の保護範囲は別途設定が必要な場合があります。密閉された機器キャビティ内のエアフロー計画については、以下を参照してください。 密閉された機器キャビティへのクリーン エアの供給を計画するにはどうすればよいですか? 、開いた状態での空気の流れの組織を理解します。

残留物および有害物質の取り扱い

薄膜蒸着装置には、プロセス副生成物や危険物質が残留する可能性があります。このような残留物がメンテナンスエリアに含まれる場合、プロセスの安全要件に従って処理する必要があり、クリーンエアの供給だけでは対処できません。

確認する必要があります:

• 残留物の性質と取り扱い要件。

• 専用の排気または隔離が必要かどうか。

• 保守要員の保護要件。

• 廃棄物処理手順を維持します。

きれいな空気の供給は、専用の排気、隔離、人員保護に代わるものではありません。危険物質が含まれる場合は、以下を参照してください。 危険物の作業にオープン作業台を使用できますか? 、まずリスク評価を行います。

ローカルエア供給構成と濾過レベル

保守エリアの局所保護は装置側EFUで構成でき、保守作業やスペース条件に合わせて構成を選択できます。ろ過のレベルは、露出部分の感度に基づいて決定する必要があります。

機器側のサポートを参照してください EFU機器のエンドファンフィルターユニット、濾過レベルを理解できます HEPA フィルターと ULPA フィルター、効率、サイズ、取り付けシールを確認してください。室内の背景空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品、両者の分業論理は デバイス側 EFU とルーム FFU の役割分担について 詳しく説明します。

メンテナンス後の復旧検証

メンテナンスが完了すると、装置はシャットダウンされ、再び稼働します。この時点で、次のことを確認する必要があります。

• 空気供給経路は復旧しているか。

• フィルターシールが損傷していないかどうか。

• 装置内の粒子が復元されているかどうか。

• メンテナンスプロセスで汚染が発生するかどうか。

メンテナンス後に検証を復元するには、以下を参照してください。 清掃用具を受け入れる際に確認すべき点は何ですか? 、設置状況とシール検査要件を理解します。受け入れ時の機器の稼働状況を確認するには、こちらを参照してください。 受け入れ中にどの機器を稼働させるべきですか?。

プロジェクトの判断例

ある薄膜形成装置のメンテナンスエリアがメンテナンスのために開放されると、洗浄された予備部品がメンテナンステーブル上に置かれる。当初の計画では、予備部品の一時保管場所の部分的な保護が行われておらず、予備部品の表面に粒子が現れた。調整方法：スペアパーツの一時保管場所での局所エア供給を増やして、洗浄パーツをエアフロー保護範囲内に保ちます。調整後、スペアパーツの粒子が減少しました。

別プロジェクトのメンテナンスエリアにはプロセス残留物が含まれており、当初の計画ではクリーンエアの供給のみを構成しています。評価の結果、残留物には専用の排気処理が必要であることが判明しました。調整方法: 排気と隔離対策を強化し、清浄な空気の供給は清浄な部品を保護するためにのみ使用されます。調整後は、メンテナンスの安全性と部品の保護が同時に満たされます。

これら 2 つの状況は、メンテナンス エリアでの清浄な空気の供給は、メンテナンス作業と汚染の性質に応じて構成する必要があり、清浄な部品の保護と危険物の取り扱いは個別に手配する必要があることを示しています。

選定と受入検査のポイント

アイリ産業機器サポートサポート

薄膜蒸着装置のメンテナンスエリアにおけるクリーンエアの供給は、メンテナンス作業、露出部分、汚染の性質に応じて構成する必要があります。 Aili Industrial は、ファン、モーター、フィルター、制御システム、および完全な機械組立リンクにおける連携機能を備えています。メンテナンスエリアのスペース、清掃部品の位置、エアフロー保護要件に基づいて、EFU 構成、空気供給方向、ろ過レベル、回復条件を確認でき、メンテナンスエリアの局所的な保護と安全要件を結び付けるのに役立ちます。装備パッケージをご覧いただけます EFU機器のエンドファンフィルターユニットについては、フィルターパッケージを参照してください。 HEPA および ULPA フィルター、室内空気供給を参照してください。 FFUクリーンエア供給製品。