كيفية تكوين إمدادات الهواء النظيف في منطقة صيانة معدات ترسيب الأغشية الرقيقة؟

تتطلب صيانة معدات ترسيب الأغشية الرقيقة فتح الحجرة وتفكيك المكونات واستبدال المواد الاستهلاكية. قد تشمل الأجزاء المكشوفة في مناطق الصيانة الأسطح النظيفة وقطع الغيار ومواقع إعادة التجميع. هذه المكونات حساسة للجسيمات، وسوف تؤثر بيئة الهواء في منطقة الصيانة على جودة الصيانة.

ومع ذلك، قد تحتوي منطقة الصيانة أيضًا على بقايا معدات أو منتجات ثانوية للمعالجة أو مواد خطرة. لا يمكن استخدام مصدر الهواء النظيف إلا كجزء من الحفاظ على البيئة ولا يمكن أن يحل محل العزل والعادم وحماية الأفراد. لتكوين إمدادات الهواء النظيف، تحتاج أولاً إلى توضيح مهام الصيانة وطبيعة التلوث.

تحديد مهام الصيانة والأجزاء المكشوفة

قبل تكوين مصدر الهواء النظيف، تأكد أولاً من المهام التي يجب إكمالها في منطقة الصيانة:

• فتح التجويف وإزالة الأجزاء.

• تنظيف داخل التجويف.

• استبدال المواد الاستهلاكية وقطع الغيار؛

• إعادة التجميع والمعايرة؛

• قم بتخزين الأجزاء التي تم تنظيفها بشكل مؤقت.

تتوافق المهام المختلفة مع الأجزاء المكشوفة المختلفة ومخاطر التلوث. تتطلب الأسطح النظيفة وقطع الغيار حماية من الجسيمات، بينما تتطلب الأجزاء الملوثة المفككة العزل. لا ينبغي خلط كلا النوعين من المكونات في نفس المنطقة.

التمييز بين الأجزاء النظيفة والملوثة

الأجزاء الموجودة في منطقة الصيانة لها حالتان: الأجزاء النظيفة والأجزاء الملوثة المراد معالجتها. يجب أن يعطي إمداد الهواء النظيف الأولوية لحماية الأجزاء النظيفة ومواقع إعادة التجميع.

أثناء الفحص يجب عليك التأكد من:

• مكان تخزين مؤقت لأجزاء التنظيف؛

• ما إذا كانت أجزاء التنظيف ضمن نطاق حماية تدفق الهواء؛

• ما إذا كانت الأجزاء الملوثة بعيدة عن الأجزاء النظيفة؛

• ما إذا كان يتم استخدام مناطق أو اتجاهات مختلفة للتفكيك والتجميع.

إذا تم وضع أجزاء نظيفة أسفل الأجزاء الملوثة، فقد يؤدي تدفق الهواء إلى نقل التلوث إلى السطح النظيف. لمعرفة العلاقة بين وضع المكونات واتجاه تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى هل سيؤدي تكديس العناصر على طاولة العمل إلى إنشاء منطقة ميتة للتلوث؟ لفهم تأثير الانسداد على تدفق الهواء.

يختلف تدفق الهواء في حالة الصيانة عن ذلك في حالة الإنتاج

عند فتح الجهاز أثناء الصيانة، تتغير حدود الغرفة ومسارات تدفق الهواء. قد لا تكون شروط تدفق الهواء المؤهلة في ظروف الإنتاج قابلة للتطبيق في ظروف الصيانة.

يجب مراعاة ما يلي بشكل منفصل عند التكوين:

• حالة الإنتاج: يتم إيقاف تشغيل المعدات ويتم تشغيل تدفق الهواء وفقًا للمسار المصمم؛

• حالة الصيانة: تشغيل المعدات وتشغيل الأفراد وتغيير مسار تدفق الهواء؛

• حالة الاسترداد: اكتملت الصيانة، وتم استئناف التحقق بعد إيقاف تشغيل الجهاز.

قد يلزم تعيين نطاق الحماية لحالة الصيانة بشكل منفصل. لتخطيط تدفق الهواء في تجاويف المعدات المغلقة، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ لفهم تنظيم تدفق الهواء في الحالة المفتوحة.

التعامل مع المخلفات والمواد الخطرة

قد تحتفظ معدات ترسيب الأغشية الرقيقة بالمنتجات الثانوية للعملية أو المواد الخطرة. عندما تكون هذه المخلفات موجودة في منطقة الصيانة، يجب التعامل معها وفقًا لمتطلبات سلامة العمليات ولا يمكن التعامل معها إلا عن طريق إمداد الهواء النظيف.

بحاجة إلى تأكيد:

• طبيعة البقايا ومتطلبات المعالجة؛

• ما إذا كان هناك حاجة إلى عادم مخصص أو عزل؛

• متطلبات الحماية لموظفي الصيانة؛

• الحفاظ على إجراءات التخلص من النفايات.

لا يمكن أن يحل مصدر الهواء النظيف محل العادم المخصص أو العزل أو حماية الأفراد. عندما يتعلق الأمر بمواد خطرة، ينبغي الإشارة إلى هل يمكن استخدام طاولة العمل المفتوحة لعمليات المواد الخطرة؟ ، قم بتقييم المخاطر أولاً.

تكوين إمدادات الهواء المحلي ومستوى الترشيح

يمكن تكوين الحماية المحلية لمنطقة الصيانة باستخدام EFU من جانب المعدات، ويتم اختيار الهيكل وفقًا لمهام الصيانة وظروف المساحة. يجب تحديد مستوى الترشيح بناءً على حساسية الأجزاء المكشوفة.

يرجى الرجوع إلى دعم جانب المعدات وحدة تصفية مروحة نهاية معدات EFU ، يمكن فهم مستوى الترشيح مرشحات HEPA مقابل ULPA ، تحقق من الكفاءة والحجم وختم التثبيت. يرجى الرجوع إلى إمدادات الهواء الخلفية للغرفة FFU منتجات إمداد الهواء النظيف ، منطق تقسيم العمل بين الاثنين تم شرح تقسيم العمل بين EFU من جانب الجهاز وFFU بالغرفة بالتفصيل.

التحقق من الاسترداد بعد الصيانة

بعد الانتهاء من الصيانة، يتم إيقاف تشغيل الجهاز وإعادة تشغيله. في هذه المرحلة يجب عليك تأكيد:

• ما إذا كان قد تم استعادة مسار إمدادات الهواء؛

• ما إذا كان ختم الفلتر سليمًا؛

• ما إذا كان سيتم استعادة الجزيئات الموجودة داخل المعدات؛

• ما إذا كانت عملية الصيانة تسبب التلوث.

لاستعادة التحقق بعد الصيانة، يرجى الرجوع إلى ما الذي يجب التحقق منه عند قبول معدات التنظيف؟ ، فهم حالة التثبيت ومتطلبات فحص الختم. لتحديد حالة تشغيل الجهاز أثناء القبول، يرجى الرجوع إلى ما هي المعدات التي يجب أن تكون قيد التشغيل أثناء القبول؟。

مثال حكم المشروع

عندما يتم فتح منطقة الصيانة لمعدات ترسيب الأغشية الرقيقة معينة للصيانة، يتم وضع قطع الغيار التي تم تنظيفها على طاولة الصيانة. لم توفر الخطة الأصلية حماية جزئية لموقع التخزين المؤقت لقطع الغيار، وظهرت جزيئات على سطح قطع الغيار. طريقة التعديل: زيادة إمداد الهواء المحلي في موقع التخزين المؤقت لقطع الغيار للحفاظ على أجزاء التنظيف ضمن نطاق حماية تدفق الهواء. تم تقليل جزيئات قطع الغيار بعد التعديل.

تتضمن منطقة الصيانة لمشروع آخر مخلفات العملية، والخطة الأصلية تقوم فقط بتكوين إمدادات الهواء النظيف. ووجد التقييم أن البقايا تتطلب معالجة مخصصة للعادم. طريقة التعديل: زيادة إجراءات العادم والعزل، ويستخدم إمداد الهواء النظيف فقط لحماية الأجزاء النظيفة. بعد التعديل، يتم تحقيق سلامة الصيانة وحماية المكونات في نفس الوقت.

توضح هاتان الحالتان أن إمداد الهواء النظيف في منطقة الصيانة يجب أن يتم تكوينه وفقًا لمهام الصيانة وطبيعة التلوث، ويجب ترتيب حماية الأجزاء النظيفة والتعامل مع المواد الخطرة بشكل منفصل.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

يجب تكوين إمداد الهواء النظيف في منطقة صيانة معدات ترسيب الأفلام الرقيقة وفقًا لمهام الصيانة والأجزاء المكشوفة وطبيعة التلوث. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من تكوين EFU، واتجاه إمداد الهواء، ومستوى الترشيح وظروف الاسترداد بناءً على مساحة منطقة الصيانة، وموقع أجزاء التنظيف ومتطلبات حماية تدفق الهواء، مما يساعد على توصيل متطلبات الحماية والسلامة المحلية لمنطقة الصيانة. يمكنك عرض حزمة المعدات وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。