Làm cách nào để cấu hình nguồn cung cấp không khí sạch trong khu vực bảo trì của thiết bị lắng đọng màng mỏng?

Bảo trì thiết bị lắng đọng màng mỏng đòi hỏi phải mở buồng, tháo rời các bộ phận và thay thế vật tư tiêu hao. Các bộ phận tiếp xúc trong khu vực bảo trì có thể bao gồm các bề mặt đã được làm sạch, các bộ phận thay thế và vị trí lắp ráp lại. Các thành phần này rất nhạy cảm với các hạt và môi trường không khí trong khu vực bảo trì sẽ ảnh hưởng đến chất lượng bảo trì.

Tuy nhiên, khu vực bảo trì cũng có thể chứa cặn thiết bị, sản phẩm phụ của quá trình hoặc vật liệu nguy hiểm. Nguồn cung cấp không khí sạch chỉ có thể được sử dụng như một phần của việc duy trì môi trường và không thể thay thế cách ly, bảo vệ khí thải và con người. Để cấu hình nguồn cung cấp không khí sạch, trước tiên bạn cần làm rõ nhiệm vụ bảo trì và bản chất của ô nhiễm.

Xác định các nhiệm vụ bảo trì và các bộ phận tiếp xúc

Trước khi định cấu hình nguồn cung cấp không khí sạch, trước tiên hãy xác nhận những nhiệm vụ cần hoàn thành trong khu vực bảo trì:

• Mở khoang và tháo các bộ phận;

• Làm sạch bên trong khoang;

• Thay thế vật tư tiêu hao và phụ tùng thay thế;

• Lắp ráp lại và hiệu chuẩn;

• Lưu trữ tạm thời các bộ phận đã được làm sạch.

Các nhiệm vụ khác nhau tương ứng với các bộ phận tiếp xúc và rủi ro ô nhiễm khác nhau. Các bề mặt và phụ tùng đã được làm sạch cần phải được bảo vệ khỏi hạt, trong khi các bộ phận bị nhiễm bẩn được tháo rời cần phải cách ly. Cả hai loại thành phần không nên trộn lẫn trong cùng một khu vực.

Phân biệt phần sạch và phần bẩn

Các bộ phận trong khu bảo trì có hai trạng thái: bộ phận sạch và bộ phận bị nhiễm bẩn cần xử lý. Nguồn cung cấp không khí sạch nên ưu tiên bảo vệ các bộ phận sạch và vị trí lắp ráp lại.

Trong quá trình kiểm tra, bạn nên xác nhận:

• Vị trí lưu trữ tạm thời để làm sạch các bộ phận;

• Liệu các bộ phận làm sạch có nằm trong phạm vi bảo vệ luồng không khí hay không;

• Bộ phận bị ô nhiễm có cách xa bộ phận sạch hay không;

• Liệu các khu vực hoặc hướng khác nhau có được sử dụng để tháo gỡ và lắp ráp hay không.

Nếu các bộ phận sạch được đặt phía sau các bộ phận bị ô nhiễm, luồng không khí có thể mang chất bẩn đến bề mặt sạch. Để biết mối quan hệ giữa vị trí bộ phận và hướng luồng khí, vui lòng tham khảo Việc xếp chồng các vật dụng trên bàn làm việc có tạo ra vùng chết ô nhiễm không? , để hiểu tác động của sự tắc nghẽn đối với luồng không khí.

Luồng khí ở trạng thái bảo trì khác với luồng khí ở trạng thái sản xuất

Khi thiết bị được mở trong quá trình bảo trì, ranh giới buồng và đường dẫn luồng không khí sẽ thay đổi. Các điều kiện luồng không khí đủ tiêu chuẩn trong điều kiện sản xuất có thể không còn được áp dụng trong điều kiện bảo trì.

Những điều sau đây cần được xem xét riêng khi định cấu hình:

• Trạng thái sản xuất: Thiết bị đã ngừng hoạt động và luồng không khí chạy theo đường dẫn thiết kế;

• Trạng thái bảo trì: thiết bị được bật, nhân viên vận hành, đường dẫn luồng khí thay đổi;

• Trạng thái khôi phục: Hoàn tất bảo trì, tiếp tục xác minh sau khi tắt thiết bị.

Phạm vi bảo vệ của trạng thái bảo trì có thể cần được đặt riêng. Để lập kế hoạch luồng không khí trong khoang thiết bị kín, vui lòng tham khảo Lập kế hoạch cung cấp không khí sạch cho các khoang thiết bị kín như thế nào? , để hiểu tổ chức luồng không khí ở trạng thái mở.

Xử lý dư lượng và chất độc hại

Thiết bị lắng đọng màng mỏng có thể giữ lại các sản phẩm phụ của quá trình hoặc các vật liệu nguy hiểm. Khi những chất cặn như vậy dính vào khu vực bảo trì, chúng phải được xử lý theo yêu cầu an toàn của quy trình và không thể xử lý chỉ bằng cách cung cấp không khí sạch.

Cần phải xác nhận:

• bản chất của dư lượng và các yêu cầu xử lý;

• Cần có ống xả chuyên dụng hay cách ly;

• Yêu cầu bảo vệ đối với nhân viên bảo trì;

• Duy trì các quy trình xử lý chất thải.

Nguồn cung cấp không khí sạch không thể thay thế được ống xả, cách ly hoặc bảo vệ nhân sự chuyên dụng. Khi có liên quan đến vật liệu nguy hiểm, cần tham khảo Bàn làm việc mở có thể được sử dụng để vận hành các vật liệu nguy hiểm không? , hãy thực hiện đánh giá rủi ro trước tiên.

Cấu hình cung cấp không khí cục bộ và mức độ lọc

Việc bảo vệ cục bộ của khu vực bảo trì có thể được cấu hình bằng EFU phía thiết bị và cấu trúc được chọn theo nhiệm vụ bảo trì và điều kiện không gian. Mức độ lọc phải được xác định dựa trên độ nhạy của các bộ phận tiếp xúc.

Vui lòng tham khảo phần hỗ trợ thiết bị Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , có thể hiểu được mức độ lọc Bộ lọc HEPA vs ULPA , kiểm tra hiệu quả, kích thước và con dấu lắp đặt. Vui lòng tham khảo nguồn cung cấp không khí nền trong phòng Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU , logic phân công lao động giữa hai bên là Sự phân công lao động giữa EFU phía thiết bị và FFU phòng được giải thích chi tiết.

Xác minh phục hồi sau bảo trì

Sau khi bảo trì xong, thiết bị sẽ tắt và đưa vào sử dụng trở lại. Tại thời điểm này, bạn nên xác nhận:

• Đường cấp khí có được khôi phục hay không;

• Con dấu bộ lọc có còn nguyên vẹn hay không;

• Liệu các hạt bên trong thiết bị có được phục hồi hay không;

• Liệu quá trình bảo trì có gây ô nhiễm hay không.

Để khôi phục xác minh sau khi bảo trì, vui lòng tham khảo Cần kiểm tra những gì khi chấp nhận thiết bị làm sạch? , hiểu tình trạng lắp đặt và yêu cầu kiểm tra con dấu. Để xác định trạng thái hoạt động của thiết bị trong quá trình nghiệm thu, vui lòng tham khảo Thiết bị nào nên được vận hành trong quá trình nghiệm thu?。

Ví dụ về đánh giá dự án

Khi khu vực bảo trì của một thiết bị lắng đọng màng mỏng nào đó được mở để bảo trì, các phụ tùng đã được làm sạch sẽ được đặt trên bàn bảo trì. Kế hoạch ban đầu không cung cấp sự bảo vệ một phần cho vị trí lưu trữ tạm thời các phụ tùng thay thế và các hạt xuất hiện trên bề mặt của phụ tùng. Phương pháp điều chỉnh: Tăng nguồn cung cấp không khí cục bộ tại vị trí lưu trữ tạm thời các phụ tùng thay thế để giữ các bộ phận làm sạch nằm trong phạm vi bảo vệ luồng không khí. Các hạt phụ tùng đã được giảm sau khi điều chỉnh.

Khu vực bảo trì của một dự án khác liên quan đến dư lượng quy trình và kế hoạch ban đầu chỉ định cấu hình cung cấp không khí sạch. Đánh giá cho thấy cặn cần được xử lý khí thải chuyên dụng. Phương pháp điều chỉnh: Tăng cường các biện pháp xả khí và cách ly, đồng thời việc cung cấp không khí sạch chỉ được sử dụng để bảo vệ các bộ phận sạch sẽ. Sau khi điều chỉnh, an toàn bảo trì và bảo vệ linh kiện được đáp ứng cùng một lúc.

Hai tình huống này minh họa rằng việc cung cấp không khí sạch trong khu vực bảo trì phải được cấu hình phù hợp với nhiệm vụ bảo trì và tính chất ô nhiễm, đồng thời việc bảo vệ các bộ phận sạch cũng như việc xử lý các vật liệu nguy hiểm cần phải được bố trí riêng biệt.

Những điểm chính để lựa chọn và kiểm tra chấp nhận

Hỗ trợ hỗ trợ thiết bị công nghiệp Aili

Nguồn cung cấp không khí sạch trong khu vực bảo trì của thiết bị lắng đọng màng mỏng cần được cấu hình phù hợp với nhiệm vụ bảo trì, các bộ phận tiếp xúc và tính chất của ô nhiễm. Aili Industrial có khả năng hợp tác về quạt, động cơ, bộ lọc, hệ thống điều khiển và các liên kết lắp ráp máy hoàn chỉnh. Nó có thể kiểm tra cấu hình EFU, hướng cấp khí, mức lọc và điều kiện phục hồi dựa trên không gian khu vực bảo trì, vị trí bộ phận làm sạch và yêu cầu bảo vệ luồng không khí, giúp kết nối các yêu cầu an toàn và bảo vệ cục bộ của khu vực bảo trì. Có thể xem hỗ trợ phía thiết bị Bộ lọc quạt cuối thiết bị EFU , vui lòng tham khảo gói bộ lọc. Bộ lọc HEPA và ULPA , vui lòng tham khảo nguồn cung cấp không khí trong phòng Sản phẩm cung cấp không khí sạch FFU。