Wie konfiguriere ich die Reinluftversorgung im Wartungsbereich von Dünnschicht-Abscheidungsgeräten?

Die Wartung von Geräten zur Dünnschichtabscheidung erfordert das Öffnen der Kammer, das Zerlegen von Komponenten und den Austausch von Verbrauchsmaterialien. Zu den freiliegenden Teilen in Wartungsbereichen können gereinigte Oberflächen, Ersatzteile und Orte für den Wiederzusammenbau gehören. Diese Komponenten reagieren empfindlich auf Partikel und die Luftumgebung im Wartungsbereich beeinflusst die Qualität der Wartung.

Im Wartungsbereich können sich jedoch auch Geräterückstände, Prozessnebenprodukte oder Gefahrstoffe befinden. Die Versorgung mit sauberer Luft kann nur im Rahmen der Erhaltung der Umwelt eingesetzt werden und kann Isolierung, Absaugung und Personenschutz nicht ersetzen. Um die Versorgung mit sauberer Luft zu konfigurieren, müssen zunächst die Wartungsaufgaben und die Art der Verschmutzung geklärt werden.

Identifizieren Sie Wartungsaufgaben und exponierte Teile

Bevor Sie die Reinluftversorgung konfigurieren, prüfen Sie zunächst, welche Aufgaben im Wartungsbereich ausgeführt werden müssen:

• Öffnen Sie den Hohlraum und entnehmen Sie Teile;

• Reinigen Sie das Innere des Hohlraums;

• Verbrauchsmaterialien und Ersatzteile ersetzen;

• Zusammenbau und Kalibrierung;

• Gereinigte Teile zwischenlagern.

Unterschiedliche Aufgaben entsprechen unterschiedlichen exponierten Teilen und Kontaminationsrisiken. Gereinigte Oberflächen und Ersatzteile erfordern einen Partikelschutz, während demontierte kontaminierte Teile einer Isolierung bedürfen. Beide Arten von Komponenten sollten nicht im selben Bereich gemischt werden.

Unterscheiden Sie zwischen sauberen und kontaminierten Teilen

Die Teile im Wartungsbereich haben zwei Zustände: saubere Teile und kontaminierte Teile, die bearbeitet werden sollen. Bei der Versorgung mit sauberer Luft sollte der Schutz sauberer Teile und Montageorte Vorrang haben.

Bei der Inspektion sollten Sie Folgendes bestätigen:

• Zwischenlagerplatz für Reinigungsteile;

• Ob sich die Reinigungsteile innerhalb des Luftstrom-Schutzbereichs befinden;

• Ob kontaminierte Teile weit von sauberen Teilen entfernt sind;

• Ob unterschiedliche Bereiche oder Richtungen für die Demontage und Montage genutzt werden.

Wenn saubere Teile stromabwärts von kontaminierten Teilen platziert werden, kann der Luftstrom Verunreinigungen auf die saubere Oberfläche transportieren. Informationen zum Zusammenhang zwischen Komponentenplatzierung und Luftstromrichtung finden Sie unter Entsteht durch das Stapeln von Gegenständen auf der Werkbank eine Schadstoffzone? , um den Einfluss der Okklusion auf den Luftstrom zu verstehen.

Der Luftstrom im Wartungsstatus unterscheidet sich von dem im Produktionsstatus

Wenn das Gerät während der Wartung geöffnet wird, ändern sich die Kammergrenzen und Luftströmungswege. Qualifizierte Luftstrombedingungen unter Produktionsbedingungen sind unter Wartungsbedingungen möglicherweise nicht mehr anwendbar.

Folgendes sollte bei der Konfiguration gesondert berücksichtigt werden:

• Produktionsstatus: Die Anlage ist heruntergefahren und der Luftstrom verläuft entsprechend dem vorgesehenen Weg;

• Wartungsstatus: Gerät ist eingeschaltet, Personal arbeitet, Luftströmungsweg ändert sich;

• Wiederherstellungsstatus: Wartung abgeschlossen, Überprüfung wieder aufgenommen, nachdem das Gerät heruntergefahren wurde.

Der Schutzumfang des Wartungsstatus muss möglicherweise separat festgelegt werden. Informationen zur Luftstromplanung in geschlossenen Geräteräumen finden Sie unter Wie plant man die Reinluftversorgung für geschlossene Geräteräume? , um die Luftströmungsorganisation im offenen Zustand zu verstehen.

Umgang mit Rückständen und Gefahrstoffen

Geräte zur Dünnschichtabscheidung können Prozessnebenprodukte oder gefährliche Materialien zurückhalten. Wenn solche Rückstände im Wartungsbereich anfallen, sollten sie gemäß den Anforderungen der Prozesssicherheit gehandhabt werden und können nicht nur durch saubere Luftzufuhr beseitigt werden.

Muss bestätigt werden:

• die Art der Rückstände und Handhabungsanforderungen;

• Ob eine spezielle Entlüftung oder Isolierung erforderlich ist;

• Schutzanforderungen für Wartungspersonal;

• Halten Sie die Abfallentsorgungsverfahren ein.

Die Versorgung mit sauberer Luft kann keine spezielle Absaugung, Isolierung oder Personenschutz ersetzen. Wenn es sich um gefährliche Stoffe handelt, ist darauf hinzuweisen Kann eine offene Werkbank für den Umgang mit Gefahrstoffen genutzt werden? Führen Sie zunächst eine Risikobewertung durch.

Konfiguration der lokalen Luftversorgung und Filterstufe

Der lokale Schutz des Wartungsbereichs kann mit geräteseitigem EFU konfiguriert werden und die Struktur wird entsprechend den Wartungsaufgaben und Platzverhältnissen ausgewählt. Der Filtergrad sollte anhand der Empfindlichkeit der exponierten Teile bestimmt werden.

Bitte beziehen Sie sich auf die Geräteseite EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , der Filtergrad kann verstanden werden HEPA- oder ULPA-Filter : Überprüfen Sie Effizienz, Größe und Installationsdichtung. Bitte beachten Sie die Raum-Hintergrundluftversorgung FFU saubere Luftversorgungsprodukte , die Logik der Arbeitsteilung zwischen den beiden ist Die Arbeitsteilung zwischen geräteseitiger EFU und raumseitiger FFU wird ausführlich erläutert.

Überprüfung der Wiederherstellung nach der Wartung

Nach Abschluss der Wartung wird die Anlage abgeschaltet und wieder in Betrieb genommen. An dieser Stelle sollten Sie Folgendes bestätigen:

• Ob der Luftzufuhrweg wiederhergestellt ist;

• Ob die Filterdichtung intakt ist;

• Ob die Partikel im Inneren des Geräts wiederhergestellt werden;

• Ob der Wartungsprozess zu Verunreinigungen führt.

Informationen zur Wiederherstellung der Verifizierung nach der Wartung finden Sie unter Was ist bei der Annahme von Reinigungsgeräten zu beachten? , den Installationsstatus und die Anforderungen an die Dichtungsprüfung verstehen. Um den Betriebszustand des Geräts während der Abnahme zu ermitteln, lesen Sie bitte Welche Geräte sollen bei der Abnahme in Betrieb sein?。

Beispiel für eine Projektbeurteilung

Wenn der Wartungsbereich einer bestimmten Dünnschichtabscheidungsanlage zur Wartung geöffnet wird, werden die gereinigten Ersatzteile auf den Wartungstisch gelegt. Der ursprüngliche Plan sah keinen teilweisen Schutz für den temporären Lagerort der Ersatzteile vor und es traten Partikel auf der Oberfläche der Ersatzteile auf. Einstellmethode: Erhöhen Sie die lokale Luftzufuhr am temporären Lagerort der Ersatzteile, um die Reinigungsteile im Schutzbereich des Luftstroms zu halten. Die Ersatzteilpartikel wurden nach der Anpassung reduziert.

Der Wartungsbereich eines anderen Projekts betrifft Prozessrückstände und der ursprüngliche Plan sieht nur die Reinluftversorgung vor. Die Bewertung ergab, dass die Rückstände eine spezielle Abgasbehandlung erforderten. Anpassungsmethode: Erhöhen Sie die Absaug- und Isolationsmaßnahmen, und die Zufuhr sauberer Luft wird nur zum Schutz sauberer Teile verwendet. Nach der Einstellung sind gleichzeitig Wartungssicherheit und Komponentenschutz gewährleistet.

Diese beiden Situationen verdeutlichen, dass die Reinluftversorgung im Wartungsbereich entsprechend den Wartungsaufgaben und der Art der Verschmutzung konfiguriert werden sollte und der Schutz sauberer Teile und der Umgang mit Gefahrstoffen getrennt geregelt werden müssen.

Wichtige Punkte für die Auswahl- und Abnahmeprüfung

Aili Industrieausrüstung unterstützt

Die Reinluftversorgung im Wartungsbereich von Dünnschichtabscheidungsanlagen muss entsprechend den Wartungsaufgaben, exponierten Teilen und der Art der Verschmutzung konfiguriert werden. Aili Industrial verfügt über Kooperationsmöglichkeiten bei Ventilatoren, Motoren, Filtern, Steuerungssystemen und kompletten Maschinenmontageverbindungen. Es kann die EFU-Konfiguration, die Luftzufuhrrichtung, den Filtergrad und die Rückgewinnungsbedingungen anhand des Platzbedarfs im Wartungsbereich, der Position der Reinigungsteile und der Luftstromschutzanforderungen überprüfen und so dabei helfen, die lokalen Schutz- und Sicherheitsanforderungen des Wartungsbereichs zu berücksichtigen. Geräteseitige Unterstützung kann eingesehen werden EFU-Geräte-Endventilator-Filtereinheit , siehe Filterpaket. HEPA- und ULPA-Filter entnehmen Sie bitte der Raumluftversorgung FFU-Produkte für saubere Luftversorgung。