Comment configurer l'alimentation en air pur dans la zone de maintenance des équipements de dépôt de couches minces ?

La maintenance de l'équipement de dépôt de couches minces nécessite l'ouverture de la chambre, le démontage des composants et le remplacement des consommables. Les pièces exposées dans les zones de maintenance peuvent inclure des surfaces nettoyées, des pièces de rechange et des emplacements de remontage. Ces composants sont sensibles aux particules et l’air ambiant dans la zone de maintenance affectera la qualité de la maintenance.

Cependant, la zone de maintenance peut également contenir des résidus d'équipement, des sous-produits de procédés ou des matières dangereuses. L’approvisionnement en air pur ne peut être utilisé que dans le cadre du maintien de l’environnement et ne peut remplacer l’isolement, l’évacuation et la protection du personnel. Pour configurer l'alimentation en air pur, vous devez d'abord clarifier les tâches de maintenance et la nature de la pollution.

Identifier les tâches de maintenance et les pièces exposées

Avant de configurer l'alimentation en air pur, vérifiez d'abord quelles tâches doivent être effectuées dans la zone de maintenance :

• Ouvrez la cavité et retirez les pièces ;

• Nettoyer l'intérieur de la cavité ;

• Remplacer les consommables et les pièces de rechange ;

• Remontage et calibrage ;

• Stockez temporairement les pièces nettoyées.

Différentes tâches correspondent à différentes pièces exposées et risques de contamination. Les surfaces nettoyées et les pièces de rechange nécessitent une protection contre les particules, tandis que les pièces contaminées démontées nécessitent une isolation. Les deux types de composants ne doivent pas être mélangés dans la même zone.

Distinguer les pièces propres et contaminées

Les pièces en zone de maintenance ont deux états : pièces propres et pièces contaminées à traiter. L’approvisionnement en air propre doit donner la priorité à la protection des pièces propres et des lieux de remontage.

Lors de l'inspection, vous devez confirmer :

• Lieu de stockage temporaire pour les pièces de nettoyage ;

• Si les pièces de nettoyage se trouvent dans la plage de protection du flux d'air ;

• Si les pièces contaminées sont éloignées des pièces propres ;

• Si différentes zones ou directions sont utilisées pour le démontage et le montage.

Si des pièces propres sont placées en aval de pièces contaminées, le flux d'air peut transporter la contamination vers la surface propre. Pour la relation entre le placement des composants et la direction du flux d'air, veuillez vous référer à L’empilement d’objets sur l’établi créera-t-il une zone morte de pollution ? , pour comprendre l'impact de l'occlusion sur le flux d'air.

Le débit d'air en état de maintenance est différent de celui en état de production

Lorsque l'équipement est ouvert pendant la maintenance, les limites de la chambre et les voies de circulation de l'air changent. Les conditions de débit d’air qualifiées en conditions de production peuvent ne plus être applicables en conditions de maintenance.

Les éléments suivants doivent être pris en compte séparément lors de la configuration :

• Statut de production : L'équipement est arrêté et le flux d'air fonctionne selon le chemin conçu ;

• État de maintenance : l'équipement est allumé, le personnel fonctionne, le chemin du flux d'air change ;

• État de récupération : maintenance terminée, vérification reprise après l'arrêt de l'appareil.

Il peut être nécessaire de définir séparément la portée de protection de l'état de maintenance. Pour la planification du débit d'air dans les cavités d'équipement fermées, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , pour comprendre l'organisation des flux d'air à l'état ouvert.

Manipulation des résidus et substances dangereuses

Les équipements de dépôt de couches minces peuvent retenir des sous-produits du processus ou des matières dangereuses. Lorsque de tels résidus sont impliqués dans la zone de maintenance, ils doivent être traités conformément aux exigences de sécurité des processus et ne peuvent pas être traités uniquement par un apport d'air propre.

Besoin de confirmer :

• la nature des résidus et les exigences de manipulation ;

• Si un échappement dédié ou une isolation est requis ;

• Exigences de protection pour le personnel de maintenance ;

• Maintenir les procédures d'élimination des déchets.

L’approvisionnement en air pur ne peut pas remplacer l’évacuation dédiée, l’isolation ou la protection du personnel. Lorsqu'il s'agit de matières dangereuses, il convient de faire référence à Un établi ouvert peut-il être utilisé pour les opérations avec des matières dangereuses ? , faites d’abord une évaluation des risques.

Configuration de l'alimentation en air locale et niveau de filtration

La protection locale de la zone de maintenance peut être configurée avec l'EFU côté équipement, et la structure est sélectionnée en fonction des tâches de maintenance et des conditions d'espace. Le niveau de filtration doit être déterminé en fonction de la sensibilité des parties exposées.

Veuillez vous référer au côté de l'équipement supportant Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , le niveau de filtration peut être compris Filtres HEPA vs ULPA , vérifiez l'efficacité, la taille et le joint d'installation. Veuillez vous référer à l'alimentation en air de fond de la pièce Produits d'approvisionnement en air pur FFU , la logique de division du travail entre les deux est La division du travail entre l'EFU côté appareil et la FFU salle est expliquée en détail.

Vérification de la récupération après maintenance

Une fois la maintenance terminée, l'équipement est arrêté et remis en service. À ce stade, vous devez confirmer :

• Si le chemin d'alimentation en air est rétabli ;

• Si le joint du filtre est intact ;

• Si les particules à l'intérieur de l'équipement sont restaurées ;

• Si le processus de maintenance introduit une contamination.

Pour restaurer la vérification après la maintenance, veuillez vous référer à Que faut-il vérifier lors de l'acceptation du matériel de nettoyage ? , comprendre l'état de l'installation et les exigences d'inspection des joints. Pour déterminer l'état de fonctionnement de l'équipement lors de la réception, veuillez vous référer à Quels équipements doivent être opérationnels lors de la réception ?。

Exemple de jugement de projet

Lorsque la zone de maintenance d'un certain équipement de dépôt de couches minces est ouverte pour la maintenance, les pièces de rechange nettoyées sont placées sur la table de maintenance. Le plan initial ne prévoyait pas de protection partielle du lieu de stockage temporaire des pièces de rechange et des particules sont apparues à la surface des pièces de rechange. Méthode de réglage : Augmentez l'alimentation en air locale à l'emplacement de stockage temporaire des pièces de rechange afin que les pièces de nettoyage se trouvent dans la plage de protection du flux d'air. Les particules de pièces de rechange ont été réduites après ajustement.

La zone de maintenance d'un autre projet implique des résidus de processus, et le plan original ne configure que l'alimentation en air pur. L'évaluation a révélé que les résidus nécessitaient un traitement d'échappement dédié. Méthode de réglage : augmentez les mesures d'échappement et d'isolation, et l'alimentation en air propre n'est utilisée que pour protéger les pièces propres. Après réglage, la sécurité de maintenance et la protection des composants sont assurées en même temps.

Ces deux situations illustrent que l'alimentation en air pur dans la zone de maintenance doit être configurée en fonction des tâches de maintenance et de la nature de la pollution, et que la protection des pièces propres et la manipulation des matières dangereuses doivent être organisées séparément.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

L'alimentation en air pur dans la zone de maintenance des équipements de dépôt de couches minces doit être configurée en fonction des tâches de maintenance, des pièces exposées et de la nature de la pollution. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la configuration de l'EFU, la direction de l'alimentation en air, le niveau de filtration et les conditions de récupération en fonction de l'espace de la zone de maintenance, de l'emplacement des pièces de nettoyage et des exigences de protection du flux d'air, aidant ainsi à connecter les exigences locales de protection et de sécurité de la zone de maintenance. La prise en charge côté appareil peut être consultée Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , veuillez vous référer à l'emballage du filtre. Filtres HEPA et ULPA , veuillez vous référer à l'alimentation en air ambiant Produits d'alimentation en air pur FFU。