Comment la protection interne propre FEM couvre-t-elle le chemin de transfert des plaquettes ?

EFEM (Equipment Front End Module) est la zone de transition où les plaquettes passent de l'interface de chargement à l'équipement de traitement. Les plaquettes sont déballées, sélectionnées, transportées et remises ici. Le temps d'exposition est long et le chemin implique plusieurs lieux. Une protection interne propre devrait couvrir ce chemin de transmission réel, plutôt que de simplement vérifier un certain point fixe.

Il mesure uniquement l'état statique de la cavité ou du manipulateur, et ne peut pas indiquer l'état de propreté lors du mouvement. Ce qui suit commencera par le chemin de transmission, le blindage du robot, l'interface de chargement, le bit de cache et la méthode de vérification.

Divisez les zones de protection en fonction des voies de transmission réelles

Les chemins de tranche au sein d'un EFEM comprennent généralement :

• Interface de chargement et position d'ouverture de la boîte ;

• Position de prise en charge du bras robotisé ;

• L'emplacement intermédiaire par lequel passe la transmission ;

• Bit de cache ou emplacement de stockage temporaire ;

• Emplacement d'interface avec les équipements de traitement.

Chaque endroit a des temps d’exposition différents, des institutions environnantes et des besoins de protection différents. Vérifiez si le flux d'air couvre la surface de la plaquette étape par étape le long du trajet, plutôt que de se concentrer sur un seul endroit.

Le mouvement du robot peut bloquer l'alimentation en air

Lorsque le manipulateur s'étend, revient et tourne, il modifie le chemin du flux d'air à l'intérieur de l'EFEM. Les bras peuvent bloquer la surface d'alimentation en air, créant des sillages locaux ou des zones d'ombre.

La vérification doit couvrir :

• Le manipulateur est en position d'attente statique ;

• Actions de ramassage et de sortie de films ;

• position intermédiaire pendant la transmission ;

• Effets de réveil lors d'un retour rapide.

Pour l'impact du manipulateur sur le débit d'air, veuillez vous référer à Comment les robots de manipulation de plaquettes peuvent-ils être intégrés à la vérification du flux d’air ? , comprenez la méthode de vérification en mouvement. Pour l'interférence du bras de commande sur l'alimentation en air de l'établi, veuillez vous référer à Comment le fonctionnement du bras va-t-il interférer avec l’alimentation en air de l’établi ? , bien que les objets soient différents, les mécanismes d’obstruction du flux d’air sont similaires.

L'interface de chargement est le point faible de la frontière

L'interface de chargement relie l'EFEM à l'environnement extérieur et constitue un point faible dans la limite du flux d'air. Lorsque le FOUP ouvre la porte, le flux d'air au niveau de l'interface peut changer de direction et l'air extérieur peut entrer.

Besoin de confirmer :

• Si le flux d'air retourne dans l'EFEM lorsque la porte est ouverte ;

• Existe-t-il un flux d'air protecteur local autour de l'interface ?

• La différence de pression d’interface est-elle stable ?

• Si le mouvement du corps de la porte affecte le flux d'air interne.

Pour le dispositif de protection de la zone d'ouverture de la porte FOUP, veuillez vous référer à Comment organiser un flux d'air de protection local dans la zone d'ouverture de la porte FOUP ? , comprendre les méthodes de protection locales à l'interface.

Protection des bits de cache et des emplacements intermédiaires

La tranche peut rester dans un cache ou dans un emplacement intermédiaire pendant un certain temps. Le fait que le flux d'air recouvre la surface de la tranche pendant la période de séjour détermine si les particules sont susceptibles de se déposer.

Besoin de confirmer :

• Si l'emplacement de la cache se trouve dans la zone de couverture de l'approvisionnement en air ;

• Le flux d’air est-il stable pendant le séjour ?

• Si la position d'arrêt est proche du mécanisme générateur de poussière ;

• Si une protection locale renforcée est nécessaire.

Pour les exigences de protection continue de la zone tampon des plaquettes, veuillez vous référer à La zone tampon de la tranche nécessite-t-elle une alimentation continue en air pur ? , comprendre les considérations de conservation dans l'état de séjour.

Organisation du flux d'air aux ouvertures et limites

L'intérieur et l'extérieur de l'EFEM sont reliés par des interfaces de chargement et d'autres ouvertures. L'emplacement et la taille des ouvertures affecteront l'organisation du flux d'air interne.

Il faudrait vérifier :

• Si la position d'ouverture est en aval du flux d'air de protection ;

• Qu'il y ait des chicanes ou des rideaux d'air à l'ouverture ;

• Si le flux d'air interne est stable lorsque l'ouverture change ;

• La différence de pression interne est-elle maintenue ?

Pour le traitement des ouvertures et des limites du flux d'air de la cavité fermée de l'équipement, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , pour comprendre l’impact des ouvertures sur le flux d’air.

Configuration de l'alimentation en air et niveau de filtration

L’EFU côté équipement est généralement utilisé à l’intérieur de l’EFEM pour l’alimentation en air locale. Le niveau de filtration et la méthode d'alimentation en air doivent être déterminés en fonction de la sensibilité de la plaquette et des conditions de fond.

Pour une protection partielle côté équipement, veuillez vous référer à L'unité de filtre à ventilateur côté équipement EFU sélectionne une structure en fonction des exigences d'espace de l'équipement et d'alimentation en air. La sélection du niveau de filtre peut être comprise Filtres HEPA vs ULPA , vérifiez l'efficacité, la taille et le joint d'installation. Veuillez vous référer à l'alimentation en air de fond de la pièce Produits d'approvisionnement en air pur FFU , la logique de division du travail entre les deux est La division du travail entre l'EFU côté appareil et la FFU salle est expliquée en détail.

La vérification doit couvrir le processus de mouvement

La vérification de l'effet de protection interne de l'EFEM doit être effectuée pendant le processus de transfert réel de la tranche, plutôt que lors d'une simple mesure statique. Le contenu de la vérification doit inclure :

• L'état du grain de la plaquette à chaque emplacement exposé ;

• Le débit d'air change pendant le mouvement du manipulateur ;

• L'état limite lorsque l'interface de chargement ouvre la porte ;

• L'effet de protection pendant le séjour du bit de cache ;

• Temps de récupération dans des conditions dynamiques.

L'emplacement du point d'échantillonnage doit couvrir l'emplacement réel où passe la tranche, plutôt que juste sous l'orifice d'alimentation en air. Le principe de sélection du point de prélèvement peut être référencé à Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ? , veuillez vous référer au choix de la hauteur Comment un changement de hauteur de travail affecte-t-il la position de détection ?。

Exemple de jugement de projet

Le test de cavité interne d'un EFEM a réussi le test, mais des particules sont parfois apparues pendant le processus de transfert de tranche. L'enquête a révélé que lorsque le manipulateur s'étendait, il bloquait une partie de la surface d'alimentation en air et que la plaquette se trouvait dans une zone de protection faible au milieu. Méthode de réglage : Ajustez la position de l'EFU et la direction de l'alimentation en air afin que le trajet de la plaquette soit toujours dans une couverture efficace. Réduction dynamique du grain ajustée.

Un autre port de chargement d'articles présente des particules internes qui montent lors de l'ouverture de la porte. L’enquête a révélé que le flux d’air refluait au niveau de l’interface. Méthode de réglage : augmenter le débit d'air de protection local à l'interface et optimiser la séquence d'action de la porte. Après réglage, la valeur maximale des particules diminue lorsque la porte est ouverte.

Ces deux situations illustrent que la protection interne EFEM doit couvrir le chemin de transmission réel du wafer et ne peut pas uniquement vérifier la cavité ou les points fixes.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

Le chemin de transfert de plaquettes au sein d'EFEM implique plusieurs emplacements de mouvements du robot, de limites d'ouverture et d'arrêts de tampon. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la configuration de l'EFU, la direction de l'alimentation en air, le niveau de filtration et les conditions d'interface en fonction du chemin de transmission réel de la tranche et de l'espace de l'équipement, aidant ainsi à couvrir la protection locale des positions clés pendant le mouvement, plutôt que de simplement vérifier l'état de la cavité. Vous pouvez consulter le package d'équipement Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , veuillez vous référer à l'emballage du filtre. Filtres HEPA et ULPA , veuillez vous référer à l'alimentation en air ambiant Produits d'alimentation en air pur FFU。