Comment organiser un flux d'air de protection local dans la zone d'ouverture de la porte FOUP ?

La zone d'ouverture de la porte FOUP est l'interface clé permettant aux plaquettes d'entrer dans l'équipement à partir du conteneur fermé. Lorsque la porte est ouverte, l'intérieur du conteneur est connecté à l'environnement de l'équipement, et l'air extérieur, les particules sur la surface extérieure du conteneur et le mouvement de la porte peuvent affecter la tranche. Le flux d'air de protection local doit couvrir les ouvertures, la collecte et le placement des plaquettes, ainsi que les emplacements de transfert adjacents pour empêcher l'air de fond de pénétrer directement dans les chemins sensibles.

Les méthodes de protection ne peuvent pas reposer uniquement sur l’étiquette de qualité d’une certaine surface de sortie. La structure d'ouverture, le mouvement de la porte, le trajet des plaquettes et les positions adjacentes doivent tous être vérifiés ensemble.

L'ouverture de la porte modifie la limite du flux d'air

Lorsque FOUP ouvre la porte, le mouvement du corps de la porte, les espaces d'interface et les actions du mécanisme interne modifieront la limite locale du flux d'air. Une fois le conteneur initialement fermé ouvert, l'environnement interne est connecté à l'environnement de l'équipement et le flux d'air peut entrer ou sortir par l'ouverture.

Besoin de confirmer :

• La direction du flux d’air est-elle stable lors de l’ouverture de la porte ?

• S'il y a un reflux à l'interface ;

• Si le mouvement de la porte perturbe le flux d'air de protection ;

• Y a-t-il une accumulation de particules autour de l’ouverture ?

Pour les changements de débit d'air à l'état ouvert, veuillez vous référer à Comment planifier l’alimentation en air pur des cavités fermées des équipements ? , pour comprendre l'impact des ouvertures sur les chemins de circulation de l'air. Pour le processus d'exposition des plaquettes du conteneur à l'équipement, veuillez vous référer à Comment les stations de manipulation de plaquettes peuvent-elles réduire la poussière pendant l’exposition ? , calibrez d’abord la période d’exposition.

Le flux d’air protecteur doit couvrir les ouvertures et les chemins d’accès

L'objectif de la protection locale est de permettre à l'air pur de couvrir les ouvertures, les emplacements de retrait des tranches et les points de départ du transfert. Si la plage de protection est insuffisante, la plaquette peut traverser une zone de protection faible après avoir quitté le conteneur.

Besoin de confirmer :

• Si l'ouverture se trouve dans la zone de couverture de l'alimentation en air ;

• S'il y a un flux d'air protecteur à l'endroit où le film est pris ;

• Si le premier trajet de la plaquette depuis le conteneur jusqu'à l'intérieur du dispositif est couvert ;

• S'il y a une interruption de la protection.

Pour la méthode de couverture du chemin de transmission interne EFEM, veuillez vous référer à Comment la protection interne propre EFEM couvre-t-elle le chemin de transfert des plaquettes ? , comprenez l'idée de protection de chemin.

Empêcher l'air de fond de pénétrer par les coutures latérales

Il y a généralement des coutures latérales et des pièces de connexion entre le FOUP et l'interface de l'appareil. Ces espaces peuvent servir de voies d’entrée à l’air de fond.

Lors de l'inspection, vous devez faire attention à :

• État d'étanchéité autour de l'interface ;

• S'il y a un flux d'air entrant par les coutures latérales ;

• La différence de pression à l’interface est-elle stable ?

• L'espace se dilate-t-il lorsque la porte est ouverte ?

Si l'air de fond pénètre par les coutures latérales, le flux d'air de protection local peut être dilué ou dévié. Pour les méthodes d'inspection de l'étanchéité des interfaces, veuillez vous référer à Que faut-il vérifier lors de l'acceptation du matériel de nettoyage ? , pour comprendre les idées de vérification de l'état de l'installation.

La relation entre le mouvement du corps de la porte et la direction du flux d'air

La direction et la vitesse d’ouverture de la porte affecteront le flux d’air local. Un mouvement rapide de la porte peut provoquer des perturbations instantanées du flux d'air, entraînant des particules dans le chemin de la plaquette.

Il faut considérer :

• Si la direction d'ouverture de la porte est vers le chemin de la plaquette ;

• Si la vitesse d'ouverture de la porte provoque des fluctuations du débit d'air ;

• Si la porte bloque l'alimentation en air ;

• Si le moment d'ouverture de la porte est coordonné avec l'action de retrait de la plaquette.

Pour la coordination du mouvement du corps de porte et du flux d'air, veuillez vous référer à Comment les robots de manipulation de plaquettes peuvent-ils être intégrés à la vérification du flux d’air ? , comprenez la méthode de vérification en mouvement.

Confirmer la méthode de protection basée sur la structure réelle de FOUP

Les différentes structures FOUP et formes d'interface sont différentes et la méthode de protection doit être confirmée en fonction de la situation réelle. Conçu uniquement selon les dimensions d'interface standard, les différences dans la structure de la porte, les méthodes d'étanchéité et les emplacements de connexion peuvent être ignorées.

Le contenu de la confirmation doit inclure :

• Modèle FOUP et taille de l'interface ;

• Structure de la porte et méthode d'ouverture ;

• Forme d'étanchéité et de connexion de l'interface ;

• La position de disposition des plaquettes dans le conteneur ;

• La coopération entre le mécanisme de prise de film et l'interface.

La relation entre l'alimentation en air locale et le débit d'air global de la machine

La protection locale de la zone d'ouverture de la porte FOUP fait partie du flux d'air global de l'équipement. L'alimentation en air locale ne peut pas entrer en conflit avec le flux d'air interne de l'EFEM, ni affecter la relation de différence de pression de l'interface de chargement.

Besoin de confirmer :

• Le sens de soufflage d'air local est-il coordonné avec le sens de soufflage d'air interne EFEM ?

• Si la protection locale affecte la différence de pression d'interface ;

• Si le chemin d’air de retour prend en charge l’évacuation du flux d’air local ;

• Si un contrôle indépendant ou un lien est requis.

L'EFU est couramment utilisé pour la protection partielle du côté de l'équipement, et la structure peut être sélectionnée en fonction de l'espace d'extrémité de chargement et des exigences d'alimentation en air. En ce qui concerne le débit d'air global à l'intérieur de l'équipement, veuillez vous référer à Comment les EFU côté équipement et les FFU côté salle se répartissent-elles leur travail ? Comprendre la répartition du travail de contrôle entre le côté équipement et le côté salle.

La vérification dynamique couvre les processus d'ouverture de porte et de placement

La vérification de la zone d'ouverture de la porte FOUP doit être effectuée pendant les processus d'ouverture de la porte, de ramassage et de placement, plutôt que de simples tests statiques. Le contenu de la vérification doit inclure :

• Modifications du débit d'air et des particules au moment de l'ouverture de la porte ;

• Couverture du flux d'air au lieu de retrait du film ;

• L'état du grain du trajet de la tranche après sa sortie du conteneur ;

• La situation de récupération après la fermeture du corps de porte ;

• Répétabilité dans des conditions dynamiques.

L'emplacement du point d'échantillonnage doit couvrir l'emplacement réel où passe la tranche, plutôt que juste sous l'orifice d'alimentation en air. Les méthodes d'échantillonnage peuvent être référencées Pourquoi le point de prélèvement ne peut-il pas être situé juste en dessous de la sortie d’alimentation en air ? , veuillez vous référer au choix de la hauteur Comment un changement de hauteur de travail affecte-t-il la position de détection ?。

Exemple de jugement de projet

Des particules occasionnelles sont apparues à la surface de la plaquette lorsque le FOUP a été ouvert dans le cadre d'un certain projet. L'enquête a révélé que de l'air de fond pénétrait dans la couture latérale de l'interface et que des particules étaient introduites dans le chemin du film lorsque la porte était ouverte. Méthode de réglage : améliorez l'étanchéité de l'interface, ajustez la direction du flux d'air de protection local, couvrez l'ouverture et la position de retrait du film. Après réglage, les particules diminuent à l'ouverture de la porte.

Dans un autre projet, le débit d’air fluctuait considérablement lorsque le corps de la porte bougeait. Méthode de réglage : Ajustez la vitesse et le timing d'ouverture de la porte pour coordonner le mouvement de la porte avec le retrait de la plaquette, et vérifiez la direction locale de l'alimentation en air. La stabilité du flux d’air est améliorée après réglage.

Ces deux situations illustrent que la protection partielle de la zone d'ouverture de la porte FOUP doit couvrir l'ouverture, le chemin de transfert et l'espace d'interface, et combiner le mouvement de la porte et la confirmation du chemin de la tranche.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception

Support d'équipement industriel Aili

La protection locale de la zone d'ouverture de la porte FOUP implique la coordination de la structure d'ouverture, du mouvement du corps de la porte, du trajet des plaquettes et du flux d'air global de la machine. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans les domaines des ventilateurs, des moteurs, des filtres, des systèmes de contrôle et des liens complets d'assemblage de machines. Il peut vérifier la direction locale de l'alimentation en air, la configuration du filtrage et la méthode de contrôle en fonction de la structure de l'extrémité de chargement, du chemin de prélèvement et de placement des plaquettes et de l'espace de l'équipement, aidant ainsi à couvrir le flux d'air de protection vers les positions clés d'ouverture de la porte et de ramassage des plaquettes, au lieu de simplement juger par le niveau de la surface de sortie d'air. Vous pouvez consulter le package d'équipement Unité de filtre de ventilateur d'extrémité d'équipement EFU , veuillez vous référer à l'emballage du filtre. Filtres HEPA et ULPA , veuillez vous référer à l'alimentation en air ambiant Produits d'alimentation en air pur FFU。