Comment une plate-forme d’inspection de plaquettes équilibre-t-elle la propreté et les faibles vibrations ?

Les plates-formes d'inspection des plaquettes sont sensibles à la fois aux particules et aux vibrations. Les particules peuvent provoquer des défauts de surface et les vibrations peuvent affecter la précision des mesures. Bien que l’alimentation en air propre protège la plaquette, elle provoque également des perturbations du flux d’air et des vibrations du ventilateur. Les deux types d’impacts doivent être vérifiés en même temps. Vous ne pouvez pas vous contenter de regarder la propreté ou simplement le bruit.

Équilibrer la propreté avec de faibles vibrations nécessite de prendre en compte les limites de mesure, la disposition du flux d'air et l'installation du ventilateur.

Clarifiez d’abord les limites de mesure et les conditions sensibles

Différents équipements de détection ont une sensibilité différente aux vibrations et au flux d'air. Avant la configuration, vous devez confirmer :

• La plage de sensibilité de l'instrument à la fréquence et à l'amplitude des vibrations ;

• Le degré d'influence du débit d'air sur les résultats de mesure ;

• Mesurer la position et la hauteur ;

• État d'exposition de la tranche et de la plate-forme pendant l'inspection ;

• Mouvements et sources de chaleur lors du fonctionnement des équipements.

Ce n'est qu'en écrivant clairement ces conditions que nous pouvons juger si la solution d'alimentation en air pur interférera avec la détection. Exigences de protection contre l'exposition pour l'inspection des plaquettes, veuillez vous référer à Comment les stations de manipulation de plaquettes peuvent-elles réduire la poussière pendant l’exposition ? , comprenez les considérations de protection pour les liens exposés.

Les perturbations du flux d'air peuvent affecter la stabilité des mesures

Le flux d'air généré par l'alimentation en air pur peut perturber la mesure :

• Le flux d'air agit directement sur la zone de mesure, provoquant de légers déplacements ou vibrations ;

• Flux d'air instable provoquant des changements locaux de température ou de réfraction ;

• Le flux d'air rapproche les particules de l'élément optique ;

• Le flux d'air interagit avec le mouvement de la plateforme pour affecter la répétabilité des mesures.

La disposition du flux d'air doit éviter de souffler directement dans la zone de mesure tout en maintenant la protection de la surface de la tranche. Pour les méthodes de protection locales de la plateforme de détection, veuillez vous référer à Comment la protection interne propre EFEM couvre-t-elle le chemin de transfert des plaquettes ? , comprendre la relation entre la protection des chemins et l'organisation des flux d'air.

Les vibrations des éoliennes peuvent être transmises à travers la structure

La vibration de l'équipement d'alimentation en air peut être transmise à la plate-forme de détection par le support, le plafond ou la structure de connexion. Le chemin de transmission des vibrations est lié à la méthode d'installation et n'est pas nécessairement limité au voisinage de l'équipement.

Lors de l'inspection, vous devez confirmer :

• Si le ventilateur est installé sur un support indépendant ;

• Si la structure de connexion transmet les vibrations ;

• Si les conduits et les connexions introduisent des vibrations ;

• Si la plateforme est isolée de la source de vibration.

Pour des idées de contrôle de la transmission des vibrations, veuillez vous référer à L’empilement d’objets sur l’établi créera-t-il une zone morte de pollution ? Bien que les objets soient différents, les facteurs structurels doivent être vérifiés ensemble.

Le point de fonctionnement du ventilateur et le bruit ne sont pas les seuls indicateurs

Lors de la sélection d’un équipement d’alimentation en air, ne vous fiez pas uniquement au faible bruit ou à la faible vitesse pour déterminer s’il est adapté à une mesure de précision. Le ventilateur peut produire moins de bruit à basse vitesse, mais ses caractéristiques de vibration peuvent ne pas répondre aux exigences.

Il faudrait vérifier :

• Les performances vibratoires du ventilateur au point de fonctionnement cible ;

• L'effet de réduction des vibrations de la méthode d'installation ;

• Adaptation du volume d'alimentation en air et de la résistance du filtre ;

• Stabilité en fonctionnement à long terme.

Pour la sélection des points de fonctionnement des équipements d'alimentation en air, veuillez vous référer à Pourquoi devrions-nous examiner la courbe de performance complète lors de la sélection de FFU ? , comprendre la méthode de détermination du point de fonctionnement cible. Pour l'influence de la pression statique à l'extérieur de la machine, veuillez vous référer à Que signifie la pression statique externe FFU ?。

La relation entre la disposition du flux d'air et la position de détection

La disposition du flux d'air doit être ajustée en fonction du lieu de détection :

• La direction de l'alimentation en air doit éviter de faire face à la zone de mesure ;

• La distance et la vitesse d'alimentation en air sont contrôlées dans une plage appropriée ;

• Ajouter des structures locales de dérivation ou de blindage si nécessaire ;

• Le chemin d'air de retour évite les perturbations dans la zone de mesure.

L'influence de la distance d'alimentation en air sur le débit d'air peut être évoquée Comment le débit d’air va-t-il changer lorsque la distance d’alimentation en air augmente ? , comprendre la relation entre la distance, la vitesse et la direction. Pour l'influence du vortex d'air soufflé, veuillez vous référer à Comment le vortex d’air soufflé affecte-t-il les postes de travail ouverts ?。

Vérification conjointe de la propreté et de la stabilité de la détection

La validation doit couvrir à la fois la propreté et la stabilité de la détection :

• Mesurer les particules pendant que les équipements de purification sont en fonctionnement ;

• Mesurer les vibrations et vérifier la répétabilité dans les mêmes conditions ;

• Comparez les résultats sous différents paramètres de fonctionnement ;

• Couvre la vitesse réelle de travail de détection.

Mesurer uniquement les particules ou mesurer uniquement les vibrations ne peut pas indiquer si la solution est adaptée à la plateforme de détection. Pour déterminer l'état de fonctionnement de l'équipement lors de la réception, veuillez vous référer à Quels équipements doivent être opérationnels lors de la réception ?。

Configuration de l'alimentation en air et niveau de filtration

La protection locale de la plate-forme de détection peut être configurée avec un EFU côté équipement, et la structure peut être sélectionnée en fonction des exigences d'espace et d'alimentation en air. Le niveau de filtration doit être déterminé en fonction de la sensibilité de la plaquette. Aili Industrial dispose de capacités de collaboration dans le processus d'assemblage de ventilateurs, moteurs, filtres et machines complètes. Il peut combiner les conditions d'espace, les exigences d'alimentation en air et les exigences de vibration de la plate-forme de détection pour vérifier le point de fonctionnement de l'équipement, la méthode d'installation et la direction de l'alimentation en air, aidant ainsi à considérer ensemble la protection de la propreté et la stabilité de la détection, plutôt que de simplement juger en fonction du bruit ou de la vitesse.

→ Comprendre les paramètres pertinents du produit → Confirmer les conditions de correspondance des équipements

Exemple de jugement de projet

Les particules sur une certaine plate-forme de test sont qualifiées, mais les données de mesure dérivent. L'enquête a révélé que le débit d'air soufflé affecte directement la zone de mesure. Méthode de réglage : ajustez la direction de l'alimentation en air, ajoutez une structure de dérivation et évitez la position de mesure. Après ajustement, la stabilité de la mesure est améliorée et les particules répondent toujours aux exigences.

Un autre projet impliquait que les vibrations du ventilateur soient transmises à la plate-forme à travers les supports. Méthode de réglage : Déplacez le ventilateur vers un support indépendant, ajoutez des mesures de réduction des vibrations et vérifiez le volume d'alimentation en air. Après réglage, les vibrations ont diminué et la couverture de l'alimentation en air répondait toujours aux exigences.

Ces deux situations illustrent que la protection de la propreté de la plateforme de détection doit être vérifiée en même temps que le contrôle des vibrations et la disposition des flux d'air, et que la sélection ne peut pas être basée sur un seul indicateur.

Points clés pour le contrôle de sélection et de réception