Как платформа для контроля пластин сочетает в себе чистоту и низкий уровень вибрации?

Платформы для проверки пластин чувствительны как к частицам, так и к вибрации. Частицы могут вызвать дефекты поверхности, а вибрации могут повлиять на точность измерений. Хотя подача чистого воздуха защищает пластину, она также вызывает нарушение воздушного потока и вибрацию вентилятора. Оба типа воздействия необходимо проверять одновременно. Нельзя просто смотреть на чистоту или просто шум.

Баланс между чистотой и низким уровнем вибрации требует учета ограничений измерений, схемы воздушного потока и установки вентилятора.

Сначала уточните ограничения измерений и чувствительные условия.

Разное оборудование обнаружения имеет разную чувствительность к вибрации и потоку воздуха. Перед настройкой необходимо подтвердить:

• Диапазон чувствительности прибора к частоте и амплитуде вибрации;

• Степень влияния воздушного потока на результаты измерений;

• Измерьте положение и высоту;

• Состояние воздействия пластины и платформы во время проверки;

• Движения и источники тепла при работе оборудования.

Только четко записав эти условия, мы можем судить, будет ли раствор подачи чистого воздуха мешать обнаружению. Требования к защите от воздействия при проверке пластин см. Как станции обработки пластин могут снизить уровень пыли во время воздействия? , понять соображения защиты открытых ссылок.

Нарушения воздушного потока могут повлиять на стабильность измерений.

Поток воздуха, создаваемый подачей чистого воздуха, может вызвать помехи в измерениях:

• Поток воздуха непосредственно воздействует на область измерения, вызывая небольшое смещение или вибрацию;

• Нестабильный воздушный поток, вызывающий локальные изменения температуры или рефракции;

• Воздушный поток приближает частицы к оптическому элементу;

• Поток воздуха взаимодействует с движением платформы, влияя на повторяемость измерений.

Схема воздушного потока должна исключать попадание воздуха непосредственно в зону измерения, сохраняя при этом защиту поверхности пластины. Информацию о локальных методах защиты платформы обнаружения см. Как внутренняя защита от очистки EFEM защищает путь передачи пластины? понять взаимосвязь между защитой пути и организацией воздушного потока.

Вибрации ветряной турбины могут передаваться через конструкцию.

Вибрация оборудования подачи воздуха может передаваться на платформу обнаружения через кронштейн, потолок или соединительную конструкцию. Путь передачи вибрации зависит от способа установки и не обязательно ограничивается окрестностями оборудования.

В ходе проверки необходимо подтвердить:

• Установлен ли вентилятор на независимой опоре;

• передает ли соединительная конструкция вибрацию;

• вызывают ли воздуховоды и соединения вибрацию;

• Изолирована ли платформа от источника вибрации.

Идеи по управлению передачей вибрации см. Создаст ли штабелирование предметов на верстаке мертвую зону загрязнения? Хотя объекты разные, структурные факторы необходимо проверять вместе.

Рабочая температура вентилятора и шум – не единственные показатели

При выборе оборудования для подачи воздуха не полагайтесь только на низкий уровень шума или низкую скорость, чтобы определить, подходит ли оно для точных измерений. Вентилятор может иметь меньший шум на низких оборотах, но вибрационные характеристики могут не соответствовать требованиям.

Следует проверить:

• Вибрационные характеристики вентилятора в целевой рабочей точке;

• Эффект снижения вибрации от метода установки;

• Согласование объема подачи воздуха и сопротивления фильтра;

• Стабильность при длительной эксплуатации.

По выбору рабочих точек оборудования подачи воздуха см. Почему при выборе FFU нам следует смотреть на полную кривую производительности? , понять метод определения целевой рабочей точки. Информацию о влиянии статического давления снаружи машины см. Что означает внешнее статическое давление ФФУ?。

Взаимосвязь между расположением воздушного потока и положением обнаружения

Схема воздушного потока должна быть отрегулирована в соответствии с местом обнаружения:

• Направление подачи воздуха не должно быть обращено к зоне измерения;

• Расстояние и скорость подачи воздуха контролируются в соответствующем диапазоне;

• При необходимости добавьте местные отвлекающие или защитные сооружения;

• Путь возврата воздуха позволяет избежать помех в зоне измерения.

Влияние расстояния подачи воздуха на воздушный поток можно отнести к Как изменится поток воздуха при увеличении расстояния подачи воздуха? , понять взаимосвязь между расстоянием, скоростью и направлением. Информацию о влиянии завихрений приточного воздуха см. Как завихрение приточного воздуха влияет на открытые рабочие места?。

Совместная проверка чистоты и стабильности обнаружения

Валидация должна охватывать как чистоту, так и стабильность обнаружения:

• Измеряйте частицы во время работы очистного оборудования;

• Измерьте вибрацию и проверьте повторяемость при тех же условиях;

• Сравните результаты при различных рабочих настройках;

• Охватывает фактическую скорость работы обнаружения.

Измерение только частиц или только измерение вибрации не может указать, подходит ли решение для платформы обнаружения. Для определения рабочего состояния оборудования при приемке см. Какое оборудование должно находиться в работе при приемке?。

Конфигурация подачи воздуха и уровень фильтрации

Локальную защиту платформы обнаружения можно сконфигурировать с помощью EFU на стороне оборудования, а структуру можно выбрать в соответствии с требованиями к пространству и подаче воздуха. Уровень фильтрации следует определять исходя из чувствительности пластины. Aili Industrial имеет возможности сотрудничества в сборке вентиляторов, двигателей, фильтров и комплектных машин. Он может сочетать условия помещения, требования к подаче воздуха и требования к вибрации платформы обнаружения для проверки рабочей точки оборудования, метода установки и направления подачи воздуха, помогая учитывать защиту чистоты и стабильность обнаружения вместе, а не судить только по шуму или скорости.

→ Понять соответствующие параметры продукта → Подтвердить условия соответствия оборудования

Пример оценки проекта

Частицы на определенной испытательной платформе аттестованы, но данные измерений отклоняются. В ходе расследования было установлено, что поток приточного воздуха напрямую влияет на зону измерения. Метод регулировки: отрегулируйте направление подачи воздуха, добавьте отводную конструкцию и избегайте положения измерения. После регулировки стабильность измерений улучшается, и частицы по-прежнему соответствуют требованиям.

Другой проект предусматривал передачу вибрации вентилятора на платформу через кронштейны. Метод регулировки: Переместите вентилятор на независимую опору, добавьте меры по снижению вибрации и проверьте объем подачи воздуха. После регулировки вибрация уменьшилась и охват подачи воздуха по-прежнему соответствовал требованиям.

Эти две ситуации показывают, что защиту чистоты платформы обнаружения необходимо проверять вместе с контролем вибрации и схемой воздушного потока, и выбор не может основываться на одном показателе.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле