كيف توازن منصة فحص الرقائق بين النظافة والاهتزاز المنخفض؟

منصات فحص الرقاقات حساسة لكل من الجسيمات والاهتزازات. يمكن أن تسبب الجسيمات عيوبًا في السطح ويمكن أن تؤثر الاهتزازات على دقة القياس. في حين أن إمداد الهواء النظيف يحمي الرقاقة، فإنه يتسبب أيضًا في اضطراب تدفق الهواء واهتزاز المروحة. يجب فحص كلا النوعين من التأثيرات في نفس الوقت. لا يمكنك مجرد النظر إلى النظافة أو مجرد الضوضاء.

يتطلب تحقيق التوازن بين النظافة والاهتزاز المنخفض مراعاة قيود القياس وتخطيط تدفق الهواء وتركيب المروحة.

قم أولاً بتوضيح قيود القياس والظروف الحساسة

تتميز معدات الكشف المختلفة بحساسية مختلفة للاهتزاز وتدفق الهواء. قبل التكوين، يجب عليك التأكد:

• مدى حساسية الجهاز لتردد الاهتزاز والسعة؛

• درجة تأثير تدفق الهواء على نتائج القياس؛

• قياس الموقف والارتفاع.

• حالة تعرض الرقاقة والمنصة أثناء الفحص؛

• الحركات ومصادر الحرارة في تشغيل المعدات.

فقط من خلال كتابة هذه الشروط بوضوح يمكننا الحكم على ما إذا كان محلول إمداد الهواء النظيف سيتداخل مع عملية الكشف. متطلبات الحماية من التعرض لفحص الرقاقة، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن لمحطات معالجة البسكويت أن تقلل من الغبار أثناء التعرض؟ ، فهم اعتبارات الحماية للروابط المكشوفة.

يمكن أن تؤثر اضطرابات تدفق الهواء على استقرار القياس

قد يتسبب تدفق الهواء الناتج عن إمداد الهواء النظيف في حدوث اضطراب في القياس:

• يعمل تدفق الهواء مباشرة على منطقة القياس، مما يسبب إزاحة أو اهتزاز طفيف؛

• تدفق الهواء غير المستقر الذي يسبب درجة الحرارة المحلية أو التغيرات الانكسارية؛

• يعمل تدفق الهواء على تقريب الجزيئات من العنصر البصري؛

• يتفاعل تدفق الهواء مع حركة المنصة للتأثير على تكرار القياس.

يجب أن يتجنب تخطيط تدفق الهواء النفخ مباشرة في منطقة القياس مع الحفاظ على حماية سطح الرقاقة. لمعرفة طرق الحماية المحلية لمنصة الكشف، يرجى الرجوع إلى كيف تغطي الحماية الداخلية النظيفة EFEM مسار نقل الرقاقة؟ فهم العلاقة بين حماية المسار وتنظيم تدفق الهواء.

يمكن أن تنتقل اهتزازات توربينات الرياح من خلال الهيكل

قد يتم نقل اهتزاز معدات إمداد الهواء إلى منصة الكشف من خلال الدعامة أو السقف أو هيكل التوصيل. يرتبط مسار نقل الاهتزاز بطريقة التثبيت ولا يقتصر بالضرورة على المنطقة المجاورة للمعدات.

أثناء الفحص يجب عليك التأكد من:

• ما إذا كانت المروحة مثبتة على دعامة مستقلة؛

• ما إذا كان هيكل التوصيل ينقل الاهتزاز؛

• ما إذا كانت القنوات والوصلات تسبب اهتزازًا؛

• ما إذا كانت المنصة معزولة عن مصدر الاهتزاز.

للحصول على أفكار التحكم في نقل الاهتزاز، يرجى الرجوع إلى هل سيؤدي تكديس العناصر على طاولة العمل إلى إنشاء منطقة ميتة للتلوث؟ على الرغم من اختلاف الكائنات، إلا أنه يجب التحقق من العوامل الهيكلية معًا.

نقطة تشغيل المروحة والضوضاء ليست المؤشرات الوحيدة

عند اختيار معدات إمداد الهواء، لا تعتمد فقط على الضوضاء المنخفضة أو السرعة المنخفضة لتحديد ما إذا كانت مناسبة للقياس الدقيق. قد يكون لدى المروحة ضوضاء أقل عند السرعات المنخفضة، لكن خصائص الاهتزاز قد لا تلبي المتطلبات.

يجب التحقق من:

• أداء اهتزاز المروحة عند نقطة التشغيل المستهدفة؛

• تأثير تقليل الاهتزاز لطريقة التثبيت؛

• مطابقة حجم إمدادات الهواء ومقاومة المرشح؛

• الاستقرار في ظل عملية طويلة الأجل.

لاختيار نقاط عمل معدات إمداد الهواء، يرجى الرجوع إلى لماذا يجب أن ننظر إلى منحنى الأداء الكامل عند اختيار FFU؟ فهم طريقة تحديد نقطة التشغيل المستهدفة. لمعرفة تأثير الضغط الساكن خارج الجهاز، يرجى الرجوع إلى ماذا يعني FFU الضغط الساكن الخارجي؟。

العلاقة بين تخطيط تدفق الهواء وموقع الكشف

يجب تعديل تخطيط تدفق الهواء وفقًا لموقع الكشف:

• يجب أن يتجنب اتجاه إمداد الهواء مواجهة منطقة القياس؛

• يتم التحكم في مسافة وسرعة إمداد الهواء ضمن نطاق مناسب؛

• أضف تحويلًا محليًا أو هياكل حماية إذا لزم الأمر؛

• يتجنب مسار الهواء العائد الاضطرابات في منطقة القياس.

يمكن الإشارة إلى تأثير مسافة إمداد الهواء على تدفق الهواء كيف سيتغير تدفق الهواء عندما تزيد مسافة إمداد الهواء؟ ، فهم العلاقة بين المسافة والسرعة والاتجاه. لمعرفة تأثير دوامة الهواء العرض، يرجى الرجوع إلى كيف تؤثر دوامة الهواء العرضية على محطات العمل المفتوحة؟。

التحقق المشترك من النظافة واستقرار الكشف

يجب أن يشمل التحقق من الصحة كلاً من النظافة واستقرار الكشف:

• قياس الجزيئات أثناء تشغيل معدات التنقية؛

• قياس الاهتزاز والتحقق من التكرار في ظل نفس الظروف؛

• مقارنة النتائج تحت إعدادات التشغيل المختلفة؛

• يغطي سرعة عمل الكشف الفعلي.

لا يمكن أن يشير قياس الجسيمات فقط أو قياس الاهتزاز فقط إلى ما إذا كان الحل مناسبًا لمنصة الكشف. لتحديد حالة تشغيل الجهاز أثناء القبول، يرجى الرجوع إلى ما هي المعدات التي يجب أن تكون قيد التشغيل أثناء القبول؟。

تكوين إمدادات الهواء ومستوى الترشيح

يمكن تكوين الحماية المحلية لمنصة الكشف باستخدام EFU من جانب المعدات، ويمكن اختيار الهيكل وفقًا لمتطلبات إمداد الفضاء والهواء. ينبغي تحديد مستوى الترشيح على أساس حساسية الرقاقة. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في تجميع المراوح والمحركات والمرشحات والآلات الكاملة. يمكنها الجمع بين ظروف المساحة ومتطلبات إمداد الهواء ومتطلبات الاهتزاز لمنصة الكشف للتحقق من نقطة عمل المعدات وطريقة التثبيت واتجاه إمداد الهواء، مما يساعد على مراعاة حماية النظافة واستقرار الكشف معًا، بدلاً من الحكم فقط من خلال الضوضاء أو السرعة.

→ فهم معلمات المنتج ذات الصلة → تأكيد شروط مطابقة المعدات

مثال حكم المشروع

الجسيمات الموجودة على منصة اختبار معينة مؤهلة، ولكن بيانات القياس تنجرف. وجد التحقيق أن تدفق الهواء العرضي يؤثر بشكل مباشر على منطقة القياس. طريقة التعديل: اضبط اتجاه إمداد الهواء، وأضف هيكل التحويل، وتجنب موضع القياس. بعد التعديل، يتم تحسين استقرار القياس ولا تزال الجسيمات تلبي المتطلبات.

يتضمن مشروع آخر نقل اهتزازات المروحة إلى المنصة من خلال الأقواس. طريقة التعديل: انقل المروحة إلى دعامة مستقلة، وأضف تدابير تقليل الاهتزاز، وتحقق من حجم إمداد الهواء. بعد التعديل، انخفض الاهتزاز وظلت تغطية إمداد الهواء تلبي المتطلبات.

توضح هاتان الحالتان أن حماية نظافة منصة الكشف تحتاج إلى التحقق منها مع التحكم في الاهتزاز وتخطيط تدفق الهواء، ولا يمكن أن يعتمد الاختيار على مؤشر واحد.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول