لماذا تركز المعدات ذات الصلة على التلوث الجزيئي والجزيئي؟

عملية الطباعة الحجرية الضوئية حساسة للغاية للعيوب. قد تؤثر الجسيمات الموجودة على سطح الرقاقة بشكل مباشر على جودة النمط، في حين أن بعض التلوث الجزيئي الغازي قد يؤثر أيضًا على مقاوم الضوء أو المكونات البصرية أو المواد الحساسة. التحكم بالجسيمات والتحكم في التلوث الجزيئي هما نوعان مختلفان من المشاكل التي يجب تصميمها والتحقق منها بشكل منفصل.

مستوى جزيئات الهواء مؤهل، وهو ما لا يثبت أن التلوث الجزيئي يلبي المتطلبات. إن خلط نوعي التلوث معًا قد يؤدي إلى تفويت الخطر الحقيقي.

آليات التلوث الجزيئي والجزيئي مختلفة

يشير تلوث الجسيمات إلى ترسب الجزيئات الصلبة في الهواء على سطح الرقاقة أو المكونات البصرية، مما يؤدي إلى تشكيل العيوب. تشمل مصادر الجزيئات غبار المعدات، وأنشطة الموظفين، وإدخال المواد، وتجاوز المرشح.

يشير التلوث الجزيئي (AMC) إلى الملوثات الغازية أو البخارية الموجودة في الهواء والتي قد تأتي من إطلاقات المواد أو عوادم العمليات أو البيئة الخارجية أو عوامل التنظيف. قد يؤثر التلوث الجزيئي على الأسطح الحساسة من خلال التفاعلات الكيميائية أو الامتزاز أو التكثيف.

للجسيمات والجزيئات أشكال فيزيائية مختلفة، بالإضافة إلى طرق مختلفة للانتشار والتحكم. تقوم المرشحات بحبس الجزيئات، لكن التلوث الجزيئي يتطلب ترشيحًا كيميائيًا أو التحكم في إمداد الهواء.

مستويات جزيئات الهواء لا تغطي التلوث الجزيئي

تصف مستويات النظافة تركيز الجزيئات في الهواء. عادة ما يتم قياس التلوث الجزيئي على أنه التركيز أو البقايا السطحية لملوث معين، وهي مؤشرات مختلفة.

وحتى لو كانت مستويات جزيئات الهواء مقبولة، فإن التلوث الجزيئي قد يتجاوز المعايير. لتحديد ما إذا كان التلوث الجزيئي يلبي المتطلبات، يجب اكتشاف الملوثات المستهدفة بشكل منفصل بدلاً من استبدالها ببيانات الجسيمات.

لمعرفة الفرق بين طرق التحكم في التلوث الجزيئي والجزيئي، يرجى الرجوع إلى كيف تتوافق HEPA وULPA مع أهداف النظافة؟ ، افهم أولاً الحدود الوظيفية للمرشح.

الأجسام الحساسة لمعدات الطباعة الحجرية

من بين المعدات المتعلقة بالطباعة الحجرية، تشمل المعدات الحساسة للتلوث عادةً ما يلي:

• الأسطح المقاومة للضوء والمطاطية؛

• العدسات والعدسات البصرية؛

• المقالات والأسطح الرسومية؛

• آليات الحركة الدقيقة وأجهزة الاستشعار.

تختلف هذه الكائنات في حساسيتها للتلوث الجزيئي والجزيئي وتحتاج إلى تقييمها بشكل منفصل. بعض المواد أكثر حساسية لغازات أو أبخرة معينة وتتطلب تأكيدًا فرديًا.

المصادر الشائعة للتلوث الجزيئي

يمكن أن يأتي التلوث الجزيئي من:

• إطلاق مواد المعدات ومواد التشحيم ؛

• معالجة أنظمة العادم والفراغ؛

• الهواء المحيط الخارجي

• بقايا الأنظف والمذيبات؛

• أنشطة الموظفين والمواد الواردة.

للسيطرة على التلوث الجزيئي، نحتاج إلى البدء من عدة جوانب: التحكم في المصدر، وإزالة التهوية، والترشيح الكيميائي. تتطلب بعض العمليات أيضًا التحكم في تركيز غازات أو أبخرة معينة.

تصميم والتحقق من نوعين من الضوابط بشكل منفصل

ينبغي تصميم التحكم في الجسيمات والتحكم في التلوث الجزيئي بشكل منفصل:

• التحكم في الجسيمات: تصنيف المرشح، طريقة إمداد الهواء، الختم وتنظيم تدفق الهواء؛

• التحكم في التلوث الجزيئي: المرشحات الكيميائية، وإمدادات الهواء، والعادم، وإدارة المواد.

يجب أيضًا أن يتم التحقق بشكل منفصل:

• الكشف عن الجسيمات: أخذ العينات وفقًا لحجم الجسيمات وموقعها وحالتها؛

• الكشف عن التلوث الجزيئي: أخذ العينات حسب الملوثات المستهدفة والطريقة.

تختلف طرق أخذ العينات والأدوات ومعايير الحكم في نوعي الاختبارات ولا يمكن استبدال بعضها البعض. لاختيار موقع أخذ العينات، يرجى الرجوع إلى لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ ، فهم أفكار التخطيط التمثيلي.

الترشيح الكيميائي ومقاومة النظام

عند استخدام مرشح كيميائي مع مرشح الجسيمات، يجب فحص المقاومة الإجمالية وقدرة المروحة. ستؤثر مقاومة وسائط المرشح الكيميائي على نقطة تشغيل النظام، لذلك لا يمكن أخذ مرشحات الجسيمات في الاعتبار عند الاختيار فقط.

للحصول على الحماية الجزئية من جانب المعدات، يرجى الرجوع إلى يمكن تكوين وحدة مرشح المروحة في نهاية معدات EFU وفقًا لاختيار المساحة والمقاومة. منتجات التصفية متوفرة مرشحات HEPA وULPA ، تحقق من كفاءة ترشيح الجسيمات وختم التثبيت. إذا كان الأمر يتعلق بتدفق الهواء في تجويف الجهاز، فيرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ ، فهم تنظيم تدفق الهواء الداخلي.

يتم تسجيل نوعين من البيانات بشكل منفصل أثناء التحقق

يجب أن تتضمن سجلات التحقق الخاصة بمعدات الطباعة الحجرية ما يلي:

• بيانات الجسيمات: حجم الجسيمات، والموقع، والتركيز؛

• بيانات التلوث الجزيئي: الملوثات المستهدفة والتركيزات والأساليب؛

• حالة تشغيل المعدات وظروف العملية؛

• حالة وسائط التصفية والتصفية الكيميائية.

يتوافق كلا النوعين من البيانات مع نطاقات التقييم الخاصة بهما ولا يمكن دمجهما معًا للحكم. يجب أن يشير مستوى النظافة إلى حجم الجسيمات وحالتها. لأسباب محددة، يرجى الرجوع إلى لماذا يجب الإشارة إلى حجم الجسيمات في درجة النظافة؟。

مثال حكم المشروع

اجتازت محطة معينة من معدات الطباعة الحجرية الضوئية فحص الجسيمات، لكن العملية لا تزال بها عيوب. ووجد التحقيق أن التلوث الجزيئي لم يتم تضمينه في نطاق الكشف. طريقة التعديل: استكمال الكشف عن التلوث الجزيئي لتأكيد تركيز الملوثات المستهدف. بعد التعديل، يتم توضيح اتجاه التحكم.

وفي مشروع آخر، بعد إضافة مرشح كيميائي إلى المعدات، زادت مقاومة النظام وانخفض حجم الهواء. طريقة التعديل: تحقق من المقاومة المجمعة للمرشح الكيميائي ومرشح الجسيمات، واضبط نقطة عمل المروحة. بعد التعديل، يتم تحقيق كل من حجم الهواء وتأثير الترشيح.

توضح هاتان الحالتان أن التحكم في تلوث معدات الطباعة الحجرية يحتاج إلى الأخذ في الاعتبار التلوث الجزيئي والجزيئي، وينبغي تصميم نوعي الضوابط والتحقق منهما بشكل منفصل.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

تتضمن مكافحة التلوث في معدات الطباعة الحجرية نوعين من الأهداف: التلوث الجزيئي والتلوث الجزيئي. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من التكوين المشترك لترشيح الجسيمات والترشيح الكيميائي، واتجاه إمداد الهواء ونقطة عمل المروحة وفقًا للأشياء الحساسة للمعدات، والملوثات المستهدفة ومقاومة النظام، مما يساعد على تنفيذ نوعي التحكم في خطة المعدات على التوالي، بدلاً من الاختيار بناءً على مستويات الجسيمات فقط. يمكنك عرض حزمة المعدات وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。