كيفية تحديد متطلبات التنظيف المحلية لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات؟

لا يمكن كتابة متطلبات النظافة الخاصة بمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات باسم صناعة أو بمستوى ISO فقط. تختلف حالة التعرض وحجم الجسيمات الحساسة وإجراءات النقل وحدود المعدات للرقائق في العمليات المختلفة، كما تختلف متطلبات التنظيف المحلية المقابلة. بالإضافة إلى الجسيمات، قد تكون هناك ظروف مثل التلوث الجزيئي ودرجة الحرارة والكهرباء الساكنة والاهتزاز.

لتحديد متطلبات التنظيف المحلية، من الضروري البدء من مسار تعرض الرقاقة والتأكد من أهداف الحماية وواجهات المعدات خطوة بخطوة. سيبدأ ما يلي من مسار التعرض، وحساسية الجسيمات، ونوع التلوث، وواجهة المعدات.

تحديد المناطق الحرجة على طول مسار التعرض للرقاقة

يحدد الموضع المكشوف للرقاقة داخل المعدات متطلبات التنظيف المحلية. يجب تحديد الروابط المكشوفة للرقاقة خطوة بخطوة بدءًا من التحميل والنقل والمعالجة وحتى التخزين المؤقت.

الأشياء التي تحتاج إلى تأكيد تشمل:

• حيث يتم تعريض الرقاقة للبيئة الداخلية للجهاز؛

• كم من الوقت كان التعرض؟

• ما هي الحركات المؤسسية المحيطة وقت التعرض؟

• ما إذا كان الموقع المكشوف قريبًا من الأجزاء المولدة للغبار؛

• هل موقع التعرض قريب من فتحات المعدات؟

يمكن أن يساعد رسم خريطة لمسار نقل الرقاقة ونقاط التعرض في توضيح المناطق التي تتطلب حماية محلية والمناطق التي يمكنها مشاركة بيئة الخلفية. لتخطيط تدفق الهواء في تجاويف المعدات المغلقة، يرجى الرجوع إلى كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ ‎فهم كيفية تنظيم مسارات تدفق الهواء الداخلي.

تحدد حساسية الجسيمات متطلبات الترشيح

العمليات المختلفة لها حساسيات مختلفة للجزيئات. في العملية الأمامية، قد تؤثر الجزيئات الموجودة على سطح الرقاقة بشكل مباشر على الناتج، وقد يكون حجم الجسيمات الحساسة أصغر من ذلك الموجود في المنطقة النظيفة التقليدية.

عند التأكد من حساسية الجسيمات، ينبغي أن يكون واضحا:

• نطاق حجم الجسيمات الحساسة.

• مستويات الجسيمات المسموح بها؛

• قدرات وأساليب الكشف؛

• متطلبات درجة التصفية.

لا يمكن تحديد المرشحات من خلال تصنيف ISO وحده، ولكن أيضًا بالاشتراك مع حجم الجسيمات الحساسة وتحميل الخلفية. للتعرف على منطق اختيار HEPA وULPA، يرجى الرجوع إلى كيف تتوافق HEPA وULPA مع أهداف النظافة؟ قم أولاً بتأكيد متطلبات التصفية ثم قم بتعيين المستوى.

بالإضافة إلى الجسيمات، هناك حاجة إلى النظر في أنواع أخرى من التلوث

غالبًا ما لا تقتصر متطلبات التنظيف المحلية لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات على التحكم في الجسيمات فقط. تأكيد أيضا:

• التلوث الجزيئي (AMC) : بعض العمليات حساسة للتلوث الجزيئي الغازي.

• درجة الحرارة : قد يكون للمعدات والعمليات متطلبات لاستقرار درجة الحرارة؛

• الكهرباء الساكنة : قد تكون الرقائق والآليات حساسة للكهرباء الساكنة؛

• الاهتزاز : القياس الدقيق وآليات الحركة حساسة للاهتزاز.

يجب تأكيد هذه الشروط بشكل منفصل، ولا يمكن أن تغطي درجة جسيمات واحدة جميع المتطلبات. تختلف آليات التحكم في التلوث الجزيئي والجزيئي. لمزيد من التفاصيل، يرجى الرجوع إلى لماذا تهتم المعدات المتعلقة بالطباعة الحجرية بالتلوث الجزيئي والجزيئي؟ فهم الفرق بين نوعي التلوث.

تؤثر إجراءات النقل وإغلاق الآلية على حدود الحماية

أثناء نقل الرقاقة، تغير الروبوتات والقابضون ومواقع التخزين المؤقت تدفق الهواء المحلي والحدود الواقية. يجب أن تؤخذ حالة الحركة بعين الاعتبار عند تحديد متطلبات التنظيف.

بحاجة إلى تأكيد:

• مسار حركة الروبوت وسرعته؛

• زمن بقاء الرقاقة في مواقع مختلفة؛

• ما إذا كانت المنظمة تمنع إمداد الهواء؛

• ما إذا كانت الحركة تنتج جزيئات؛

• ما إذا كانت فتحات المعدات وحركات الأبواب تؤثر على تدفق الهواء.

لمعرفة تأثير روبوتات التعامل مع الرقاقات على تدفق الهواء، يرجى الرجوع إلى كيف يمكن دمج روبوتات معالجة الرقاقات في التحقق من تدفق الهواء؟ ، فهم طريقة التحقق قيد الحركة.

حدود المعدات وشروط الواجهة

يجب تنفيذ متطلبات التنظيف المحلية على واجهة المعدات. بحاجة إلى تأكيد:

• مساحة التثبيت وهيكل المعدات؛

• موقع تركيب وحدة EFU أو وحدة إمداد الهواء؛

• واجهة مدخل الهواء والعادم.

• التحكم في الربط وواجهة الاتصال؛

• الوصول إلى الصيانة ومسار استبدال الفلتر.

الحماية المحلية شائعة الاستخدام على جانب المعدات يمكن لوحدة مرشح المروحة من جانب المعدات EFU تحديد هيكل بناءً على مساحة المعدات ومتطلبات إمداد الهواء. يرجى الرجوع إلى إمدادات الهواء الخلفية للغرفة FFU منتجات إمداد الهواء النظيف ، منطق تقسيم العمل بين الاثنين تم شرح تقسيم العمل بين EFU من جانب الجهاز وFFU بالغرفة بالتفصيل.

تحويل المتطلبات إلى شروط يمكن التحقق منها

يجب في النهاية ترجمة متطلبات النظافة المحلية إلى شروط يمكن التحقق منها. ينبغي أن يكون واضحا:

• كشف الموقف والارتفاع.

• الكشف عن حجم الجسيمات وطرق أخذ العينات؛

• حالة الاختبار (ثابتة أو ديناميكية)؛

• معايير الحكم؛

• نطاق القبول.

يجب أن يغطي موقع نقطة أخذ العينات وارتفاعها الموضع المكشوف الفعلي للرقاقة، وليس فقط أسفل منفذ إمداد الهواء. يمكن العثور على الطرق ذات الصلة في لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ و كيف يؤثر التغيير في ارتفاع العمل على موضع الكشف؟。

مثال حكم المشروع

في بعض المعدات الأمامية لأشباه الموصلات، تتعرض الرقائق لفترة طويلة في مواقع النقل والتخزين المؤقت. حددت الخطة الأصلية المتطلبات بناءً على مستويات ISO فقط ولم تفرق بين روابط التعريض. طريقة التعديل: تأكيد أهداف الحماية قطعة تلو الأخرى وفقًا لمسار تعرض الرقاقة، وتحديد متطلبات النظافة للمناطق المختلفة. بعد التعديل، يصبح نطاق الحماية المحلي واضحًا، وتتوافق شروط التحقق مع موقع التعرض.

يحتوي مشروع آخر على حركة مناورة داخل المعدات، وكانت الخطة الأصلية تقيس فقط تدفق الهواء الثابت. طريقة التعديل: دمج حالة حركة المعالج في التحقق لتأكيد تأثير الحماية لمسار الرقاقة أثناء الحركة. تم تأكيد الحماية في ظل الظروف الديناميكية المعدلة.

توضح هاتان الحالتان أن متطلبات التنظيف المحلية لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات يجب أن يتم تحديدها قطعة تلو الأخرى على طول مسار تعرض الرقاقة، ولا يمكن تحديدها فقط من خلال اسم الصناعة أو مستوى واحد.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

تشتمل متطلبات التنظيف المحلية لمعدات الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات على جوانب متعددة مثل مسار تعرض الرقاقة وحساسية الجسيمات والتلوث الجزيئي وواجهات المعدات. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من تكوين EFU ومستوى الترشيح واتجاه إمداد الهواء وظروف الواجهة بناءً على موضع تعرض الرقاقة وإجراءات النقل ومساحة المعدات، مما يساعد على تحويل متطلبات النظافة المحلية إلى حلول معدات قابلة للتنفيذ، بدلاً من الاختيار بناءً على مستوى ISO واحد فقط. يمكن الاطلاع على دعم جانب الجهاز وحدة مرشح المروحة الطرفية لمعدات EFU ، يرجى الرجوع إلى حزمة الفلتر. مرشحات HEPA وULPA ، يرجى الرجوع إلى مصدر هواء الغرفة منتجات إمداد الهواء النظيف FFU。