كيف يمكن دمج روبوتات معالجة الرقاقات في التحقق من تدفق الهواء؟

إن روبوت معالجة الرقاقات هو المسؤول عن التقاط الرقاقات ونقلها ووضعها داخل المعدات. أثناء تحركها، تعمل الأذرع والمقبض والرقاقة نفسها على تغيير تدفق الهواء المحلي. لا يمكن لظروف تدفق الهواء المقاسة في حالة الثبات أن تصف بشكل كامل التأثير الوقائي أثناء التمرين.

يتطلب تضمين الروبوت في التحقق من تدفق الهواء تصميم خطة اختبار بناءً على المسار الفعلي والسرعة وموضع السكن وحالة التثبيت. سيبدأ ما يلي من برنامج الحركة، والمواقف الرئيسية، وترتيب أخذ العينات، وربط البيانات.

تحديد برنامج حركة الروبوت

قبل التحقق يجب توضيح برنامج حركة الروبوت:

• مسارات ومسارات الحركة؛

• سرعة الحركة لكل قطعة.

• مكان الإقامة والوقت؛

• تسلسل إجراءات التقاط الأفلام وإصدارها؛

• التعاون مع الوكالات الأخرى.

قد تؤدي البرامج المختلفة إلى خلق ظروف مختلفة لتدفق الهواء. يجب أن يغطي التحقق إصدار الإنتاج الفعلي للبرنامج، بدلاً من مجرد اختبار إيماءة ملائمة. بعد تغيير البرنامج، قد لا تكون نتائج التحقق الأصلية قابلة للتطبيق ويجب إعادة تأكيدها.

انتبه إلى عرقلة إمداد الهواء بواسطة الذراع الميكانيكية

عندما يمتد الذراع الآلي ويدور ويعود، فإنه قد يسد سطح إمداد الهواء أو يغير اتجاه تدفق الهواء. قد تكون الرقاقة في منطقة حماية ضعيفة أثناء مرورها عبر هذه المواقع.

تشمل المواقف التي يجب مراقبتها ما يلي:

• مد ذراعيك إلى أبعد موضع لها؛

• يمر الذراع فوق الرقاقة أو إلى جانبها؛

• يعود الذراع بسرعة.

• حالة التثبيت لالتقاط الفيلم وإطلاقه؛

• لفتة الانتظار والبقاء.

للتعرف على انسداد وتنشيط الذراع الآلية، يرجى الرجوع إلى كيف سيتداخل تشغيل الذراع مع إمداد الهواء إلى طاولة العمل؟ وعلى الرغم من اختلاف الأجسام، إلا أن آليات عرقلة تدفق الهواء متشابهة.

يقظة واضطرابات عابرة

عندما يتحرك الروبوت بسرعة، فإنه سيدفع الهواء المحيط ليشكل أثرًا. يمكن أن تسحب الاستيقاظ هواء الخلفية إلى مسار الرقاقة أو تحمل الجزيئات إلى مواقع حساسة.

عند التحقق يجب مراعاة ما يلي:

• يتغير تدفق الهواء أثناء الحركة السريعة.

• ما إذا كان موضع تمرير الرقاقة يتأثر بتدفق الاستيقاظ؛

• ما إذا كان يتم استعادة تدفق الهواء بعد توقف التمرين؛

• ما إذا كانت هناك اضطرابات متكررة.

يكون تأثير الاستيقاظ أكثر وضوحًا في المناطق المفتوحة أو شبه المفتوحة. لمعرفة طريقة الحكم على دوامة إمداد الهواء والاضطراب الفوري، يرجى الرجوع إلى كيف تؤثر دوامة الهواء العرضية على محطات العمل المفتوحة؟。

يجب ألا يعيق ترتيب أخذ العينات حركات الروبوت

عند التحقق من أخذ العينات، يجب ألا يعيق موضع المسبار حركة الروبوت أو يسبب مخاطر جديدة للاصطدام أو التسرب.

يجب أن يأخذ تخطيط أخذ العينات بعين الاعتبار ما يلي:

• ما إذا كان موضع المسبار ضمن مسار حركة الروبوت؛

• هل طريقة التثبيت آمنة؟

• ما إذا كان أنبوب أخذ العينات يؤثر على حركة الذراع الروبوتية؛

• ما إذا كان أخذ العينات يغير تدفق الهواء المحلي.

يجب أن يغطي موقع نقطة أخذ العينات الموقع الفعلي الذي تمر فيه الرقاقة، وليس فقط أسفل منفذ الإمداد الجوي. يمكن العثور على الطرق ذات الصلة في لماذا لا يمكن وضع نقطة أخذ العينات أسفل مخرج إمداد الهواء مباشرةً؟ يرجى الرجوع إلى اختيار الارتفاع كيف يؤثر التغيير في ارتفاع العمل على موضع الكشف؟。

يجب أن ترتبط البيانات بفترات التمرين

يجب أن تتوافق بيانات التحقق مع حالة حركة الروبوت. يجب أن يتضمن السجل ما يلي:

• إصدار برنامج التمرين؛

• وقت كل إجراء؛

• النقطة الزمنية المقابلة لبيانات الجسيمات؛

• التسجيل المتزامن لملاحظات تدفق الهواء؛

• الموقع المحدد الذي حدث فيه الاستثناء.

ومن خلال ربط البيانات بفترات الحركة، من الممكن تحديد مرحلة الحركة التي حدث فيها ارتفاع الجسيم. للتعرف على طريقة مراقبة معدات العملية على مراحل، يرجى الرجوع إلى ماذا أفعل إذا انخفضت نظافة معدات العملية بعد بدء تشغيلها؟。

تجاوز حالات الاستثناء العادية والمسموح بها

لا ينبغي أن يشمل التحقق من الصحة التشغيل العادي فحسب، بل يجب أيضًا أن يغطي حالات الاستثناء المسموح بها:

• وقفة وانتظر؛

• التدخل البشري؛

• تبديل البرنامج.

• يستأنف بعد فترة توقف قصيرة.

قد يختلف تدفق الهواء والحماية خلال هذه الظروف عن التشغيل العادي. يجب أن تكون لإجراءات المناولة في ظل الظروف غير الطبيعية متطلبات واضحة وليس قرارات مؤقتة في الموقع.

التنسيق مع تدفق الهواء داخل المعدات

حركة الروبوت هي جزء من تدفق الهواء داخل الجهاز. يجب تنسيق إمداد الهواء المحلي وتدفق هواء الماكينة بشكل عام:

• ما إذا كانت منطقة حركة الروبوت ضمن تغطية إمدادات الهواء؛

• ما إذا كان مصدر الهواء المحلي يتأثر بحركات الروبوت؛

• ما إذا كان مسار الهواء العائد يدعم تفريغ الهواء؛

• ما إذا كان من الضروري ضبط إمداد الهواء وفقًا لحالة الحركة.

يمكن الرجوع إلى تنظيم تدفق الهواء الداخلي للمعدات كيفية التخطيط لإمداد الهواء النظيف لتجويف المعدات المغلقة؟ ، فهم تأثير المسارات والفتحات. عندما يتعلق الأمر بالإرسال الداخلي لـ EFEM، يرجى الرجوع إلى كيف تغطي الحماية الداخلية النظيفة EFEM مسار نقل الرقاقة؟ ، تعرف على طرق حماية المسار.

مثال حكم المشروع

يكون تدفق الهواء لروبوت معدات معين مقبولًا عندما يكون ثابتًا، ولكن تظهر جزيئات عرضية على الرقاقة عندما يتحرك. وتوصل التحقيق إلى أن إمداد الهواء قد تم حظره عند تمديد الأذرع، وأن الرقاقة كانت في منطقة حماية ضعيفة عند المرور عبر الوضع الأوسط. طريقة التعديل: اضبط اتجاه إمداد الهواء بحيث يتم تغطية مسار الرقاقة دائمًا أثناء الحركة. تعديل تقليل الحبوب الديناميكي.

أنشأ مشروع آخر تنبيهًا عندما عاد الروبوت بسرعة. طريقة التعديل: ضبط سرعة الحركة وتوقيتها، وإضافة هيكل التحويل المحلي، وإعادة التحقق. بعد التعديل، يضعف تأثير تدفق الاستيقاظ.

توضح هاتان الحالتان أن التحقق من تدفق الهواء لروبوت معالجة الرقاقة يحتاج إلى تغطية عملية الحركة الفعلية ولا يمكنه فقط قياس الحالة الثابتة.

النقاط الرئيسية لفحص الاختيار والقبول

دعم المعدات الصناعية Aili

يحتاج التحقق من تدفق الهواء للروبوت الذي يتعامل مع الرقاقة إلى تغطية مسار الحركة الفعلي وتغييرات الانسداد وتأثيرات الاستيقاظ. تتمتع Aili Industrial بقدرات تعاونية في المراوح والمحركات والمرشحات وأنظمة التحكم وروابط تجميع الماكينة الكاملة. يمكنه التحقق من اتجاه إمداد الهواء، ونطاق الحماية المحلي وإعدادات التشغيل بناءً على برنامج حركة الروبوت، ومسار الرقاقة ومساحة المعدات، مما يساعد على توسيع التحقق من تدفق الهواء من الحالة الثابتة إلى عملية الحركة الفعلية، بدلاً من مجرد قياس الوضع المناسب.