웨이퍼 핸들링 로봇을 공기 흐름 검증에 어떻게 통합할 수 있습니까?

웨이퍼 핸들링 로봇은 장비 내부에서 웨이퍼를 픽업, 운반, 배치하는 역할을 담당합니다. 이동함에 따라 암, 그리퍼 및 웨이퍼 자체가 모두 국부적인 공기 흐름을 변경합니다. 정지 상태에서 측정된 기류 조건은 운동 중 보호 효과를 완전히 설명할 수 없습니다.

공기 흐름 검증에 로봇을 포함하려면 실제 궤적, 속도, 드웰 위치 및 클램핑 상태를 기반으로 테스트 계획을 설계해야 합니다. 다음은 모션 프로그램, 주요 자세, 샘플링 배열 및 데이터 연결 링크에서 시작됩니다.

로봇의 모션 프로그램 정의

검증하기 전에 로봇의 모션 프로그램을 명확히 해야 합니다.

• 이동 궤적 및 경로

• 각 세그먼트의 이동 속도;

• 숙박 장소 및 시간

• 영화 촬영 및 개봉을 위한 일련의 작업

• 다른 기관과의 협력.

프로그램에 따라 공기 흐름 조건이 달라질 수 있습니다. 검증은 단순히 편리한 동작을 테스트하는 것이 아니라 프로그램의 실제 프로덕션 버전을 다루어야 합니다. 프로그램 변경 후에는 기존 검증 결과가 더 이상 적용되지 않을 수 있으므로 재확인이 필요합니다.

기계 팔에 의한 공기 공급 방해에 주의하십시오.

로봇 팔이 늘어나 회전하고 돌아올 때 공기 공급 표면을 막거나 공기 흐름 방향이 바뀔 수 있습니다. 웨이퍼는 이러한 위치를 통과할 때 약한 보호 구역에 있을 수 있습니다.

주의해야 할 자세는 다음과 같습니다.

• 팔을 가장 먼 위치로 뻗으십시오.

• 암은 웨이퍼 위나 옆으로 지나갑니다.

• 팔이 빨리 돌아옵니다.

• 필름을 집어 올리고 풀어주는 클램핑 상태;

• 기다리고 머무르는 몸짓.

로봇 팔의 폐색 및 각성 동작에 대해서는 다음을 참조하십시오. 암을 작동하면 작업대로의 공기 공급이 어떻게 방해됩니까? , 개체는 다르지만 공기 흐름을 방해하는 메커니즘은 유사합니다.

기상 및 일시적 방해

로봇이 빠르게 움직일 때 주변 공기를 구동하여 항적을 형성합니다. 웨이크는 배경 공기를 웨이퍼 경로로 끌어들이거나 입자를 민감한 위치로 운반할 수 있습니다.

확인할 때 다음 사항을 관찰해야 합니다.

• 빠른 이동 중에 공기 흐름이 변경됩니다.

• 웨이퍼 통과 위치가 후류 흐름에 의해 영향을 받는지 여부

• 운동 중단 후 공기 흐름이 회복되는지 여부;

• 반복적인 방해가 있는지 여부.

항적의 효과는 개방형 또는 반개방형 영역에서 더욱 뚜렷이 나타납니다. 급기 와류 및 순간 외란의 판단 방법은 다음을 참조하십시오. 공급 공기 소용돌이는 개방형 워크스테이션에 어떤 영향을 줍니까?。

샘플링 배열이 로봇의 움직임을 방해해서는 안 됩니다.

샘플링을 확인할 때 프로브 위치가 로봇 이동을 방해하거나 충돌 또는 누출의 새로운 위험을 초래해서는 안 됩니다.

샘플링 레이아웃에서는 다음을 고려해야 합니다.

• 프로브 위치가 로봇의 모션 경로 내에 있는지 여부

• 고정 방법은 안전한가요?

• 샘플링 튜브가 로봇 팔의 움직임에 영향을 미치는지 여부

• 샘플링이 지역 공기 흐름을 변경하는지 여부입니다.

샘플링 지점의 위치는 공기 공급 포트 바로 아래가 아닌 웨이퍼가 통과하는 실제 위치를 포함해야 합니다. 관련 방법은 다음에서 찾을 수 있습니다. 샘플링 지점을 공기 공급 출구 바로 아래에 위치시킬 수 없는 이유는 무엇입니까? , 높이 선택을 참조하세요. 작업 높이의 변화는 감지 위치에 어떤 영향을 줍니까?。

데이터는 운동 기간과 연관되어야 합니다.

검증 데이터는 로봇의 동작 상태와 일치해야 합니다. 기록에는 다음이 포함되어야 합니다.

• 운동 프로그램 버전;

• 각 행동의 시간

• 입자 데이터에 해당하는 시점.

• 기류 관찰의 동시 기록;

• 예외가 발생한 특정 위치입니다.

데이터를 이동 기간과 연관시켜 입자 상승이 발생한 이동 단계를 확인할 수 있습니다. 공정 장비를 단계별로 관찰하는 방법은 다음을 참고하세요. 공정 장비 가동 후 청정도가 떨어지면 어떻게 해야 하나요?。

정상 및 허용된 예외 상태 재정의

유효성 검사는 정상적인 작동뿐만 아니라 허용되는 예외 상태도 다루어야 합니다.

• 잠시 멈추고 기다리십시오.

• 인간의 개입;

• 프로그램 전환;

• 짧은 가동 중지 시간 후 재개됩니다.

이러한 조건에서의 공기 흐름 및 보호는 일반 작동과 다를 수 있습니다. 현장에서 일시적인 결정이 아닌 비정상적인 상황에서의 처리 절차에 대한 명확한 요구 사항이 있어야 합니다.

장비 내부의 공기 흐름과의 조화

로봇의 움직임은 장치 내부의 공기 흐름의 일부입니다. 지역 공기 공급과 전체 기계 공기 흐름을 조정해야 합니다.

• 로봇의 이동 영역이 공기 공급 범위 내에 있는지 여부

• 로컬 공기 공급이 로봇의 움직임에 의해 영향을 받는지 여부

• 복귀 공기 경로가 공기 배출을 지원하는지 여부

• 이동상태에 따라 공기공급량을 조정할 필요가 있는지 여부.

장비의 내부 공기 흐름 조직을 참조할 수 있습니다. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 경로와 개구부의 영향을 이해합니다. EFEM 내부 전송에 관해서는 다음을 참조하십시오. EFEM 내부 청정 보호는 웨이퍼 이송 경로를 어떻게 덮나요? , 경로 보호 방법에 대해 알아보세요.

프로젝트 판단 예

특정 장비 로봇의 공기 흐름은 정지 상태일 때 허용되지만, 움직일 때 웨이퍼에 파티클이 가끔 발생합니다. 조사 결과 암을 펼쳤을 때 공기 공급이 차단됐고, 웨이퍼가 중간 위치를 통과할 때 약한 보호 구역에 있었던 것으로 드러났다. 조정 방법: 이동 중에 웨이퍼 경로가 항상 덮이도록 공기 공급 방향을 조정합니다. 동적 입자 감소를 조정했습니다.

또 다른 프로젝트에서는 로봇이 빠르게 돌아오면서 깨어나는 현상이 발생했습니다. 조정방법 : 이동속도 및 타이밍을 조정하고, 국부전환구조를 추가한 후 재검증한다. 조정 후에는 후류의 영향이 약해집니다.

이 두 가지 상황은 웨이퍼 핸들링 로봇의 공기 흐름 검증이 실제 이동 프로세스를 포괄해야 하며 정적 상태만 측정할 수는 없음을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

웨이퍼 핸들링 로봇의 공기 흐름 검증에서는 실제 이동 궤적, 폐색 변화 및 후류 효과를 다루어야 합니다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 링크에 대한 협업 기능을 갖추고 있습니다. 로봇 모션 프로그램, 웨이퍼 경로, 장비 공간을 기반으로 공기 공급 방향, 국지적 보호 범위, 작동 설정 등을 확인할 수 있어 단순히 편리한 자세를 측정하는 것이 아닌 정지 상태에서 실제 이동 과정까지 공기 흐름 검증을 확장하는 데 도움이 됩니다.