박막증착장비 유지보수 구역의 청정공기 공급은 어떻게 구성하나요?

박막증착장비의 유지보수에는 챔버 개방, 부품 분해, 소모품 교체 등이 필요합니다. 유지 관리 영역의 노출된 부품에는 청소된 표면, 예비 부품 및 재조립 위치가 포함될 수 있습니다. 이러한 구성 요소는 입자에 민감하며 유지 관리 영역의 공기 환경은 유지 관리 품질에 영향을 미칩니다.

그러나 유지 관리 영역에는 장비 잔류물, 공정 부산물 또는 위험 물질이 포함될 수도 있습니다. 깨끗한 공기 공급은 환경 유지의 일부로만 사용될 수 있으며 격리, 배기 및 개인 보호를 대체할 수 없습니다. 깨끗한 공기 공급을 구성하려면 먼저 유지 관리 작업과 오염의 성격을 명확히 해야 합니다.

유지보수 작업 및 노출된 부품 식별

깨끗한 공기 공급을 구성하기 전에 먼저 유지 관리 영역에서 완료해야 할 작업이 무엇인지 확인하십시오.

• 캐비티를 열고 부품을 제거합니다.

• 캐비티 내부를 청소하십시오.

• 소모품 및 예비 부품을 교체하십시오.

• 재조립 및 교정

• 청소한 부품을 임시로 보관하십시오.

작업마다 노출된 부품 및 오염 위험이 다릅니다. 청소된 표면과 예비 부품은 입자 보호가 필요하고 분해된 오염된 부품은 격리가 필요합니다. 두 가지 유형의 구성 요소를 동일한 영역에 혼합해서는 안 됩니다.

깨끗한 부분과 오염된 부분을 구별하세요.

유지 관리 영역의 부품에는 깨끗한 부품과 처리할 오염된 부품의 두 가지 상태가 있습니다. 깨끗한 공기 공급은 깨끗한 부품과 재조립 위치를 보호하는 것을 최우선으로 해야 합니다.

검사 중에 다음 사항을 확인해야 합니다.

• 부품 청소를 위한 임시 보관 장소

• 청소 부품이 공기 흐름 보호 범위 내에 있는지 여부

• 오염된 부품이 깨끗한 부품과 멀리 떨어져 있는지 여부

• 분해와 조립 시 서로 다른 영역이나 방향을 사용하는지 여부.

깨끗한 부품이 오염된 부품의 하류에 배치되면 공기 흐름으로 인해 깨끗한 표면에 오염 물질이 전달될 수 있습니다. 부품 배치와 공기 흐름 방향의 관계는 다음을 참조하세요. 작업대에 물건을 쌓으면 오염 데드존이 생기나요? , 공기 흐름에 대한 폐색의 영향을 이해합니다.

유지보수 상태의 공기 흐름은 생산 상태의 공기 흐름과 다릅니다.

유지 관리 중에 장비를 열면 챔버 경계와 공기 흐름 경로가 변경됩니다. 생산 조건에서 적격한 공기 흐름 조건은 유지 관리 조건에서 더 이상 적용되지 않을 수 있습니다.

구성 시 다음 사항을 별도로 고려해야 합니다.

• 생산 상태: 장비가 정지되고 공기 흐름이 설계된 경로에 따라 실행됩니다.

• 유지 관리 상태: 장비가 켜져 있고 직원이 작동하며 공기 흐름 경로가 변경됩니다.

• 복구 상태: 유지 관리가 완료되었으며 장치가 종료된 후 확인이 재개되었습니다.

유지보수 상태의 보호 범위는 별도로 설정해야 할 수도 있습니다. 폐쇄된 장비 공간의 공기 흐름 계획에 대해서는 다음을 참조하십시오. 폐쇄된 장비 공간에 깨끗한 공기 공급을 계획하는 방법은 무엇입니까? , 열린 상태의 공기 흐름 조직을 이해합니다.

잔류물 및 유해물질 처리

박막 증착 장비에는 공정 부산물이나 유해 물질이 남아 있을 수 있습니다. 이러한 잔류물이 유지 관리 영역에 포함된 경우 공정 안전 요구 사항에 따라 처리해야 하며 깨끗한 공기 공급만으로는 처리할 수 없습니다.

확인해야 할 사항:

• 잔류물의 성격과 취급 요건

• 전용 배기 또는 격리가 필요한지 여부

• 유지보수 인력에 대한 보호 요구사항

• 폐기물 처리 절차를 유지합니다.

깨끗한 공기 공급은 전용 배기, 격리 또는 개인 보호를 대체할 수 없습니다. 위험 물질이 포함된 경우 다음 사항을 참조해야 합니다. 위험물 작업에 개방형 작업대를 사용할 수 있습니까? , 먼저 위험 평가를 수행하십시오.

지역 공기 공급 구성 및 여과 수준

유지보수 구역의 국지적 보호는 장비측 EFU로 구성할 수 있으며, 유지보수 업무 및 공간 여건에 따라 구조를 선택합니다. 여과 수준은 노출된 부품의 민감도에 따라 결정되어야 합니다.

장비 측 지원을 참조하십시오 EFU 장비 엔드 팬 필터 장치 , 여과 수준을 이해할 수 있습니다. HEPA 대 ULPA 필터 , 효율성, 크기 및 설치 씰을 확인하십시오. 방 배경 공기 공급을 참조하십시오 FFU 청정 공기 공급 제품 , 둘 사이의 노동 분업 논리는 장치측 EFU와 룸 FFU 간의 업무 분담에 대해 자세히 설명합니다.

유지보수 후 복구 확인

유지보수가 완료되면 장비를 종료하고 다시 작동합니다. 이 시점에서 다음을 확인해야 합니다.

• 공기 공급 경로가 복원되는지 여부

• 필터 씰이 손상되지 않았는지 여부

• 장비 내부의 입자가 복원되는지 여부

• 유지 관리 프로세스로 인해 오염이 발생하는지 여부.

점검 후 검증을 복원하려면 다음을 참조하십시오. 청소 장비가 승인될 때 무엇을 확인해야 합니까? , 설치 상태 및 씰 검사 요구 사항을 이해하십시오. 인수 중 장비의 작동 상태를 확인하려면 다음을 참조하십시오. 승인 중에는 어떤 장비가 작동되어야 합니까?。

프로젝트 판단 예시

특정 박막증착장비의 유지보수 구역을 정비용으로 개방하면 청소된 예비 부품을 유지보수 테이블에 올려놓는다. 원래 계획에서는 예비 부품의 임시 보관 위치에 대한 부분적인 보호를 제공하지 않았으며 예비 부품 표면에 입자가 나타났습니다. 조정 방법: 청소 부품을 공기 흐름 보호 범위 내에 유지하기 위해 예비 부품의 임시 보관 위치에서 로컬 공기 공급을 늘립니다. 조정 후 예비 부품 입자가 감소했습니다.

다른 프로젝트의 유지관리 영역에는 공정 잔여물이 포함되어 있으며 원래 계획에서는 깨끗한 공기 공급만 구성했습니다. 평가 결과, 잔류물에는 전용 배기 처리가 필요하다는 사실이 밝혀졌습니다. 조정 방법: 배기 및 격리 조치를 강화하고 깨끗한 공기 공급은 깨끗한 부품을 보호하는 데만 사용됩니다. 조정 후 유지보수 안전성과 부품 보호가 동시에 충족됩니다.

이 두 가지 상황은 유지보수 작업 및 오염 특성에 따라 유지보수 구역의 청정 공기 공급을 구성해야 하며 청정 부품 보호와 위험 물질 취급을 별도로 마련해야 함을 보여줍니다.

선정 및 합격심사 핵심사항

Aili 산업용 장비 지원 지원

박막증착장비 유지보수 구역의 청정공기 공급은 유지보수 업무, 노출된 부품, 오염 특성에 따라 구성되어야 한다. Aili Industrial은 팬, 모터, 필터, 제어 시스템 및 전체 기계 조립 링크에 대한 협업 기능을 갖추고 있습니다. 유지 관리 영역 공간, 청소 부품 위치 및 공기 흐름 보호 요구 사항을 기반으로 EFU 구성, 공기 공급 방향, 여과 수준 및 복구 조건을 확인할 수 있어 유지 관리 영역의 로컬 보호 및 안전 요구 사항을 연결하는 데 도움이 됩니다. 장비 패키지를 볼 수 있습니다. EFU 장비 엔드 팬 필터 장치는 필터 패키지를 참조하십시오. HEPA 및 ULPA 필터 , 실내 공기 공급을 참조하세요. FFU 청정 공기 공급 제품。