Как настроить подачу чистого воздуха в зону обслуживания оборудования для нанесения тонкопленочных покрытий?

Обслуживание оборудования для осаждения тонких пленок требует открытия камеры, разборки компонентов и замены расходных материалов. Открытые части в зонах технического обслуживания могут включать очищенные поверхности, запасные части и места повторной сборки. Эти компоненты чувствительны к частицам, а воздушная среда в зоне обслуживания будет влиять на качество обслуживания.

Однако зона технического обслуживания может также содержать остатки оборудования, побочные продукты процесса или опасные материалы. Подача чистого воздуха может использоваться только как часть поддержания окружающей среды и не может заменить изоляцию, вытяжку и защиту персонала. Для настройки подачи чистого воздуха необходимо сначала уточнить задачи обслуживания и характер загрязнений.

Определите задачи по техническому обслуживанию и открытые части

Прежде чем настраивать подачу чистого воздуха, сначала подтвердите, какие задачи необходимо выполнить в зоне обслуживания:

• Откройте полость и извлеките детали;

• Очистите внутреннюю часть полости;

• Заменить расходные материалы и запчасти;

• Сборка и калибровка;

• Временно храните очищенные детали.

Разные задачи соответствуют разным открытым частям и рискам загрязнения. Очищенные поверхности и запасные части требуют защиты от частиц, а разобранные загрязненные детали требуют изоляции. Оба типа компонентов не следует смешивать в одном помещении.

Различать чистые и загрязненные детали.

Детали в зоне обслуживания имеют два состояния: чистые детали и загрязненные детали, подлежащие обработке. При подаче чистого воздуха приоритет должен отдаваться защите чистых деталей и мест повторной сборки.

В ходе проверки необходимо подтвердить:

• Место временного хранения чистящих деталей;

• Находятся ли очищающие детали в зоне защиты воздушного потока;

• Находятся ли загрязненные детали далеко от чистых деталей;

• Используются ли для разборки и сборки разные области или направления.

Если чистые детали расположены после загрязненных деталей, поток воздуха может перенести загрязнение на чистую поверхность. Информацию о взаимосвязи между размещением компонентов и направлением воздушного потока см. Создаст ли штабелирование предметов на верстаке мертвую зону загрязнения? , чтобы понять влияние окклюзии на воздушный поток.

Поток воздуха в состоянии обслуживания отличается от потока в состоянии производства.

Когда оборудование открывается во время технического обслуживания, границы камеры и пути движения воздуха изменяются. Соответствующие условия воздушного потока в производственных условиях могут больше не применяться в условиях технического обслуживания.

При настройке отдельно следует учитывать следующее:

• Статус производства: Оборудование остановлено, поток воздуха течет по проектному пути;

• Статус технического обслуживания: оборудование включено, персонал работает, изменяется траектория движения воздуха;

• Статус восстановления: Техническое обслуживание завершено, проверка возобновлена ​​после выключения устройства.

Возможно, объем защиты статуса обслуживания потребуется установить отдельно. Для планирования воздушного потока в закрытых полостях оборудования см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , чтобы понять организацию обдува в открытом состоянии.

Обращение с остатками и опасными веществами

Оборудование для нанесения тонких пленок может удерживать побочные продукты процесса или опасные материалы. Если такие остатки попадают в зону технического обслуживания, с ними следует обращаться в соответствии с требованиями технологической безопасности, и с ними нельзя бороться только путем подачи чистого воздуха.

Необходимо подтвердить:

• характер остатка и требования к обращению;

• Требуется ли специальный выхлоп или изоляция;

• Требования к защите обслуживающего персонала;

• Соблюдение порядка утилизации отходов.

Подача чистого воздуха не может заменить специальную вытяжку, изоляцию или защиту персонала. При использовании опасных материалов следует обращаться к Можно ли использовать открытый верстак для операций с опасными материалами? , сначала проведите оценку риска.

Локальная конфигурация подачи воздуха и уровень фильтрации

Локальная защита зоны обслуживания может быть сконфигурирована с помощью ЭФУ со стороны оборудования, а структура выбирается в соответствии с задачами обслуживания и условиями помещения. Уровень фильтрации следует определять исходя из чувствительности открытых частей.

Пожалуйста, обратитесь к стороне оборудования, поддерживающей Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , уровень фильтрации можно понять Фильтры HEPA и ULPA , проверьте эффективность, размер и монтажное уплотнение. Пожалуйста, обратите внимание на подачу фонового воздуха в помещение. Продукция ФФУ для подачи чистого воздуха , логика разделения труда между ними такова. разделение труда между EFU на стороне устройства и FFU в помещении . Подробно объясняется

Проверка восстановления после технического обслуживания

После завершения технического обслуживания оборудование отключается и вновь вводится в эксплуатацию. На этом этапе вам следует подтвердить:

• Восстановлен ли путь подачи воздуха;

• Цела ли прокладка фильтра;

• Восстанавливаются ли частицы внутри оборудования;

• Приводит ли процесс технического обслуживания к загрязнению.

Чтобы восстановить проверку после технического обслуживания, см. Что необходимо проверить при приемке клинингового оборудования? , понять состояние установки и требования к проверке уплотнений. Для определения рабочего состояния оборудования при приемке см. Какое оборудование должно находиться в работе при приемке?。

Пример оценки проекта

Когда зона обслуживания определенного оборудования для осаждения тонких пленок открывается для технического обслуживания, очищенные запасные части помещаются на стол обслуживания. Первоначальный план не предусматривал частичной защиты места временного хранения запчастей, и на поверхности запчастей появились частицы. Метод регулировки: Увеличьте местную подачу воздуха в месте временного хранения запасных частей, чтобы очищающие детали находились в пределах диапазона защиты воздушного потока. Частицы запасных частей были уменьшены после регулировки.

В зоне обслуживания другого проекта задействованы технологические остатки, а первоначальный план предусматривает только подачу чистого воздуха. Оценка показала, что остаток требует специальной очистки выхлопных газов. Метод регулировки: Увеличьте меры по вытяжке и изоляции, а подачу чистого воздуха используйте только для защиты чистых деталей. После регулировки одновременно обеспечивается безопасность обслуживания и защита компонентов.

Эти две ситуации иллюстрируют, что подача чистого воздуха в зону технического обслуживания должна быть настроена в соответствии с задачами технического обслуживания и характером загрязнения, а защита чистых частей и обращение с опасными материалами должны быть организованы отдельно.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Подачу чистого воздуха в зону обслуживания оборудования для нанесения тонких пленок необходимо настраивать в соответствии с задачами обслуживания, открытыми частями и характером загрязнения. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и комплексных звеньев сборки машин. Он может проверять конфигурацию EFU, направление подачи воздуха, уровень фильтрации и условия восстановления в зависимости от площади зоны обслуживания, расположения чистящих частей и требований к защите воздушного потока, помогая соединить местные требования защиты и безопасности зоны обслуживания. Поддержка со стороны устройства можно просмотреть Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , см. комплект фильтров. Фильтры HEPA и ULPA , см. подачу воздуха в помещение. Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха。