Как внутренняя защита FEM от очистки защищает путь передачи пластины?

EFEM (передний модуль оборудования) — это переходная зона, где пластины проходят от интерфейса загрузки к технологическому оборудованию. Здесь вафли распаковывают, выбирают, транспортируют и сдают. Время воздействия велико, и путь включает в себя несколько мест. Внутренняя чистая защита должна охватывать этот фактический путь передачи, а не просто проверять определенную фиксированную точку.

Он измеряет только статическое состояние полости или манипулятора и не может указывать чистое состояние во время движения. Следующее начнется с пути передачи, защиты робота, интерфейса загрузки, бита кэша и метода проверки.

Разделите защитные зоны в соответствии с фактическими путями передачи

Пути пластин внутри EFEM обычно включают в себя:

• Интерфейс загрузки и положение открытия коробки;

• Положение захвата роботизированной руки;

• Промежуточное местоположение, через которое проходит передача;

• Бит кэша или место временного хранения;

• Место сопряжения с технологическим оборудованием.

В каждом месте разное время воздействия, окружающие учреждения и разные потребности в защите. Проверьте, охватывает ли поток воздуха поверхность пластины шаг за шагом по пути, а не сосредотачивается только на одном месте.

Движение робота может блокировать подачу воздуха.

Когда манипулятор выдвигается, возвращается и вращается, он меняет путь воздушного потока внутри EFEM. Рукава могут блокировать поверхность подачи воздуха, создавая локальные следы или теневые зоны.

Проверка должна охватывать:

• Манипулятор находится в статическом положении ожидания;

• Акции по съему и выпуску фильмов;

• промежуточное положение при передаче;

• Эффекты пробуждения при быстром возврате.

Информацию о влиянии манипулятора на поток воздуха см. Как роботы, работающие с пластинами, могут быть включены в проверку воздушного потока? , понять метод проверки в движении. Информацию о вмешательстве рабочего рычага в подачу воздуха на верстак см. Как работа манипулятора повлияет на подачу воздуха на верстак? Хотя объекты разные, механизмы обструкции воздушного потока схожи.

Интерфейс загрузки — слабое место границы

Интерфейс загрузки соединяет EFEM с внешней средой и является слабым местом на границе воздушного потока. Когда FOUP открывает дверь, поток воздуха на интерфейсе может изменить направление и может проникнуть наружный воздух.

Необходимо подтвердить:

• Подается ли поток воздуха обратно в EFEM при открытии двери;

• Имеется ли локальный защитный поток воздуха вокруг интерфейса?

• Стабильна ли разница давлений на границе раздела?

• Влияет ли движение корпуса двери на внутренний поток воздуха.

Информацию об устройстве защиты зоны открывания дверей ФОУП см. Как организовать локальный защитный приток воздуха в зоне проема дверей ФОУП? , разобраться в локальных методах защиты интерфейса.

Защита битов кэша и промежуточных мест

Пластина может оставаться в кэше или промежуточном хранилище в течение определенного периода времени. От того, покрывает ли поток воздуха поверхность пластины во время периода выдержки, зависит вероятность осаждения частиц.

Необходимо подтвердить:

• Находится ли местонахождение тайника в зоне действия системы подачи воздуха;

• Стабилен ли поток воздуха во время пребывания?

• Находится ли положение остановки рядом с механизмом пылеобразования;

• Нужна ли локальная усиленная защита.

Требования к постоянной защите буферной зоны пластины см. Требуется ли в буферную зону пластин непрерывную подачу чистого воздуха? , понимать соображения сохранения в состоянии пребывания.

Организация воздушного потока на проемах и границах

Внутренняя и внешняя часть EFEM соединены загрузочными интерфейсами и другими отверстиями. Расположение и размер отверстий будут влиять на организацию внутреннего воздушного потока.

Следует проверить:

• Находится ли открытое положение за потоком защитного воздуха;

• Наличие перегородок или воздушных завес на проеме;

• Стабилен ли внутренний поток воздуха при изменении открытия;

• Сохраняется ли внутренняя разница давления?

Информацию об обработке границ закрытой полости оборудования и границ воздушного потока см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , чтобы понять влияние отверстий на поток воздуха.

Конфигурация подачи воздуха и уровень фильтрации

EFU со стороны оборудования обычно используется внутри EFEM для локальной подачи воздуха. Уровень фильтрации и метод подачи воздуха следует определять с учетом чувствительности пластины и фоновых условий.

Информацию о местной защите со стороны оборудования см. Конструкция вентиляторного фильтра со стороны оборудования EFU выбирается исходя из требований к пространству для оборудования и подаче воздуха. Выбор уровня фильтра можно понять Фильтры HEPA и ULPA , проверьте эффективность, размер и монтажное уплотнение. Пожалуйста, обратите внимание на подачу фонового воздуха в помещение. Продукция ФФУ для подачи чистого воздуха , логика разделения труда между ними такова. разделение труда между EFU на стороне устройства и FFU в помещении . Подробно объясняется

Проверка должна охватывать процесс перемещения.

Проверка эффекта внутренней защиты EFEM должна проводиться во время фактического процесса переноса пластины, а не только при статических измерениях. Содержание проверки должно включать:

• Состояние зерна пластины в каждом открытом месте;

• Поток воздуха меняется во время движения манипулятора;

• Граничное состояние, когда интерфейс загрузки открывает дверь;

• Эффект защиты во время пребывания бита кэша;

• Время восстановления в динамических условиях.

Точка отбора проб должна охватывать фактическое место прохождения пластины, а не прямо под отверстием подачи воздуха. Принцип выбора точки отбора проб можно назвать Почему нельзя расположить точку отбора проб прямо под отверстием подачи воздуха? , пожалуйста, обратитесь к выбору высоты Как изменение рабочей высоты влияет на положение обнаружения?。

Пример оценки проекта

Испытание внутренней полости EFEM прошло испытание, но в процессе переноса пластины иногда попадали частицы. В ходе расследования выяснилось, что при выдвижении манипулятора он блокировал часть поверхности подачи воздуха, а пластина находилась в зоне слабой защиты посередине. Метод регулировки: Отрегулируйте положение EFU и направление подачи воздуха так, чтобы путь пластины всегда находился в пределах эффективного покрытия. Скорректировано динамическое уменьшение зерна.

В другом порту для загрузки предметов внутренние частицы поднимаются при открытии дверцы. Расследование показало, что поток воздуха течет назад на границе раздела. Метод регулировки: увеличить локальный защитный поток воздуха на стыке и оптимизировать последовательность действий двери. После регулировки пиковое значение частиц уменьшается при открытии дверцы.

Эти две ситуации иллюстрируют, что внутренняя защита EFEM должна охватывать фактический путь передачи пластины и не может только проверять полость или фиксированные точки.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Путь передачи пластин в EFEM включает в себя несколько мест движения робота, открывающихся границ и буферных остановок. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и комплексных звеньев сборки машин. Он может проверять конфигурацию EFU, направление подачи воздуха, уровень фильтрации и условия интерфейса на основе фактического пути передачи пластины и пространства оборудования, помогая обеспечить локальную защиту ключевых позиций во время движения, а не просто проверять состояние полости. Вы можете просмотреть комплект оборудования Блок фильтра концевого вентилятора оборудования EFU , см. комплект фильтров. Фильтры HEPA и ULPA , см. подачу воздуха в помещение. Продукты FFU для обеспечения чистого воздуха。