Нуждается ли в буферной зоне пластин непрерывная подача чистого воздуха?

Буфер пластин — это место, где пластины ждут и временно хранятся внутри оборудования. Когда оборудование работает, пластина может оставаться здесь некоторое время, прежде чем перейти к следующему процессу. Пластины также могут оставаться в буфере, пока оборудование не работает или находится в режиме ожидания.

Невозможно сделать общий вывод о том, нуждается ли буферная зона в постоянной подаче чистого воздуха. Решение должно основываться на статусе воздействия пластины, времени пребывания, границах корпуса и требованиях к восстановлению. Временное бездействие оборудования не означает, что охрану воздуха можно остановить.

Сначала подтвердите статус воздействия пластины

Чтобы определить, требуется ли непрерывная подача воздуха, сначала проверьте, открыта ли пластина в буферной зоне:

• Помещается ли пластина в закрытый контейнер;

• Имеет ли контейнер фильтр или уплотнительную конструкцию;

• подвергается ли поверхность пластины непосредственному воздействию внутренней среды устройства;

• Зона воздействия и время воздействия.

Если пластина помещена в закрытый контейнер и герметичность контейнера эффективна, потребность в постоянной подаче воздуха может быть ниже. Если пластина подвергается непосредственному воздействию внутренней среды оборудования, обычно требуется постоянная защита. Требования к защите при загрузке, выгрузке и перемещении пластин см. Как станции обработки пластин могут снизить уровень пыли во время воздействия? , понять соображения защиты открытых ссылок.

Время проживания влияет на потребности в защите

Время пребывания пластины в буферной зоне напрямую влияет на вероятность осаждения частиц. Чем дольше пребывание, тем больше потребность в постоянной защите.

При судействе вы должны подтвердить:

• Как долго пластина остается в буфере при нормальной работе;

• Остается ли пластина в буферной зоне во время ожидания и выключения;

• Какова максимальная продолжительность пребывания;

• Стабильна ли окружающая среда во время пребывания.

Если время пребывания длительное, даже если подача воздуха прекращается на короткое время, частицы могут оседать. Соответствующие соображения см. Нуждается ли в буферной зоне пластин непрерывная подача чистого воздуха? При анализе условий воздействия время пребывания учитывается в заключении.

В режиме ожидания все еще может присутствовать загрязнение.

Когда оборудование находится в режиме ожидания, механизм не движется, но поступление загрязнений не обязательно исчезает:

• Фоновые частицы могут проникать через зазоры;

• Частицы могут попасть в результате деятельности соседнего оборудования или персонала;

• Остаточные частицы внутри оборудования могут быть ресуспендированы;

• Изменения температуры и влажности могут повлиять на состояние поверхности.

Если подача воздуха прекращается, границы воздушного потока буферной зоны изменятся, и первоначальный диапазон защиты может перестать действовать. Требования к защите в режиме ожидания см. Как спланировать подачу чистого воздуха в закрытые полости оборудования? , поймите, какое влияние отверстия и зазоры оказывают на поток воздуха.

Снижение нагрузки подлежит проверке статуса

Если проект хочет уменьшить объем подачи воздуха или прекратить подачу воздуха в режиме ожидания, он должен пройти проверку состояния, а не отключаться напрямую.

Содержание проверки должно включать:

• Детальные изменения в буферной области в режиме ожидания;

• Тенденция восстановления частиц после прекращения ветра;

• Изменение зерна при перезапуске;

• Влияет ли состояние поверхности пластины.

Только когда будет подтверждено, что остановка ветра не влияет на состояние пластины, можно перейти к режиму работы со снижением нагрузки. Для проверки восстановления и подтверждения статуса см. Какое оборудование должно находиться в работе при приемке? , понять требования к проверке в различных рабочих состояниях.

Обработка восстановления и перезапуска

При возврате из режима ожидания в активный режим область кэша может подвергнуться процессу восстановления воздушного потока. Должно подтвердить:

• Проверьте, стабилен ли поток воздуха после восстановления подачи воздуха;

• Соответствует ли время восстановления технологическим требованиям;

• Есть ли необходимость отложить удаление пластины;

• Процедуры обработки после аварийного завершения работы.

Должны быть четкие требования к обработке после сбоя, а не замена проверки фиксированным временем ожидания.

Координация местной подачи воздуха и общего воздушного потока машины

Локальная подача воздуха в буферную зону является частью общего воздушного потока оборудования. Непрерывную подачу воздуха необходимо согласовать с потоком воздуха всей машины:

• Влияет ли подача воздуха в буферную зону на прилегающие территории;

• Как работает воздушный поток всей машины в режиме ожидания;

• Необходимо ли независимо контролировать местную подачу воздуха;

• Как связать с запуском и остановкой оборудования.

Частичная защита со стороны оборудования может сочетаться с Конструкция вентиляторного фильтрующего блока со стороны оборудования ЭФУ выбирается исходя из требований к пространству буферной зоны и требованиям к подаче воздуха. Если речь идет об общем потоке воздуха внутри оборудования, см. Как EFU со стороны оборудования и FFU со стороны помещения разделяют свою работу ? Поймите разделение труда по управлению между стороной оборудования и стороной помещения.

Пример оценки проекта

Пластины в буферной зоне определенного проекта обнажены и в режиме ожидания подача воздуха приостанавливается. После возобновления производства было обнаружено наличие частиц на поверхности пластины. Расследование подтвердило, что частицы осели в режиме ожидания. Метод регулировки: поддерживайте подачу воздуха на низкой скорости в режиме ожидания и подтвердите состояние частиц перед возобновлением. После регулировки состояние поверхности пластины стабильное.

Другая пластина кэша проекта помещается в закрытый контейнер, который эффективно запечатан. После оценки было подтверждено, что объем подачи воздуха можно уменьшить в режиме ожидания. Метод настройки: установите режим ожидания и проверьте состояние пластины на основе запечатывания контейнера и времени выдержки. После настройки потребление энергии снижается и на состояние пластины это не влияет.

Эти две ситуации показывают, что необходимость непрерывной подачи воздуха в буферную зону зависит от статуса воздействия, времени пребывания и границ ограждения, и перед принятием решения следует проверить это.

Ключевые моменты при выборе и приемочном контроле

Поддержка промышленного оборудования Aili

Требуется ли в буферной зоне пластины непрерывная подача воздуха, зависит от состояния воздействия пластины, времени пребывания и границ корпуса. Aili Industrial имеет возможности совместной работы в области вентиляторов, двигателей, фильтров, систем управления и комплексных звеньев сборки машин. Он может проверять конфигурацию подачи воздуха, режим ожидания и логику связи на основе условий воздействия области тайника, режима работы оборудования и требований к восстановлению, помогая определить, что больше подходит для реального процесса — непрерывная подача воздуха, работа на низкой скорости или зональное управление, а не отключение подачи воздуха по всем направлениям или работа с полной нагрузкой в ​​течение всего дня.